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大直径硅晶片化学机械抛光及其终点检测技术的研究与应用 被引量:10
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作者 余庆 康仁科 +1 位作者 郭东明 金洙吉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期24-29,37,共7页
化学机械抛光是硅片全局平坦化的核心技术,然而在实用阶段上,这项技术还受限于一些制造系统整合上的问题,其中有效的终点检测系统是影响抛光成效的重要关键。若未能有效地监测抛光运作,便无法避免硅片产生抛光过度或不足的缺陷。本文在... 化学机械抛光是硅片全局平坦化的核心技术,然而在实用阶段上,这项技术还受限于一些制造系统整合上的问题,其中有效的终点检测系统是影响抛光成效的重要关键。若未能有效地监测抛光运作,便无法避免硅片产生抛光过度或不足的缺陷。本文在介绍CMP机制与应用的基础上,系统分析了CMP终点检测技术的研究现状及存在的问题。 展开更多
关键词 大直径硅晶片 化学机械抛光 终点检测 平坦化
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Universal,predominant exciton transfer in perovskite nanocrystal solids
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作者 Yuqing Luo Zhiya Dang +7 位作者 Lingchen Meng Zelong Chen Zihao Li Tongtong Lu Xiaobin Rao Shuyuan Zhao Qi Sun Pingqi Gao 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第9期2818-2827,共10页
Perovskite nanocrystal(PNC)solids are promising materials for optoelectronic applications.Recent studies have shown that exciton diffusion in PNC solids occurs via alternate exciton hopping(EH)and photon recycling(PR)... Perovskite nanocrystal(PNC)solids are promising materials for optoelectronic applications.Recent studies have shown that exciton diffusion in PNC solids occurs via alternate exciton hopping(EH)and photon recycling(PR).The energy disorder induced by the size distribution is a common factor in PNC solids,and the impact of this energy disorder on the exciton diffusion remains unclear.Here,we investigated the exciton diffusion in CsPbBr3 NC solids with a Gaussian size distribution of 11.2±6.8 nm via steady and time-resolved photoluminescence(PL)spectroscopy with multiple detection bands in transmission mode.Our results indicated that exciton diffusion was controlled by a downhill transfer among the different energy sites through the disordered energy landscape,as confirmed by the accompanying low-temperature PL analysis.A detailed examination revealed that the acceptor distribution in tandem with the reabsorption coefficient determined the contribution of EH and PR to exciton transfer between different energy sites.Consequently,the exciton diffusion mechanism varied in PNC solids of different thicknesses:in a thin solid with a thickness of several hundred nanometers,the exciton transfer was dominated by efficient EH and PR from the high-energy sites to the lower-energy sites;in a few-micrometer-thick solid,transfer from the medium-energy sites toward the lower-energy sites also became prominent and occurred mainly through PR.These findings enhance the understanding of the vital role that the acceptor distribution plays in the exciton diffusion process in PNC solids,providing important insights for optoelectronic applications based on PNC solids.Our work also exploits the use of commonly available tools for in-depth exciton diffusion studies,which reveals the interior diffusion information that is usually hidden in surface sensitive PL imaging methods. 展开更多
关键词 photoluminescence spectroscopy exciton diffusion exciton transfer perovskite nanocrystals photon recycling exciton hopping REABSORPTION
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PLC船舶辅助机械控制系统的可靠性研究分析 被引量:3
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作者 余庆 《舰船科学技术》 北大核心 2019年第2期79-81,共3页
传统的系统可靠性分析方法存在着分析精准度低的缺陷,无法满足需求,为此提出PLC船舶辅助机械控制系统可靠性分析方法。依据系统载荷应力与强度之间的干涉情况得到系统的可靠度积分公式,采用高斯积分方法对上述公式进行求解,得到可靠度... 传统的系统可靠性分析方法存在着分析精准度低的缺陷,无法满足需求,为此提出PLC船舶辅助机械控制系统可靠性分析方法。依据系统载荷应力与强度之间的干涉情况得到系统的可靠度积分公式,采用高斯积分方法对上述公式进行求解,得到可靠度值。设计故障树分析算法,将得到的可靠度值引入,计算系统的故障发生概率,实现PLC船舶辅助机械控制系统的可靠性分析。实验结果显示,提出的系统可靠性分析方法分析精准度平均值比传统高出33%。说明提出的系统可靠性分析方法具备极高的有效性。 展开更多
关键词 PLC 船舶 控制系统 可靠性 可靠度 故障概率
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PLC在轮船辅助机构自动化控制系统中的应用 被引量:1
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作者 余庆 《船舶物资与市场》 2019年第1期43-44,共2页
传统的轮船辅助机构自动化控制系统存在智能化程度低的缺陷,为此提出PLC技术在轮船辅助机构自动化控制系统中的应用研究。首先对PLC的具体应用进行阐述,主要介绍其在顺序控制、开关量控制、存储器与处理器中的应用;利用顺序功能图来编... 传统的轮船辅助机构自动化控制系统存在智能化程度低的缺陷,为此提出PLC技术在轮船辅助机构自动化控制系统中的应用研究。首先对PLC的具体应用进行阐述,主要介绍其在顺序控制、开关量控制、存储器与处理器中的应用;利用顺序功能图来编制轮船微处理器和存储器程序运行步骤,PLC会根据PC端的操作发出相应的操作指令,对开关进行控制,保障系统运行安全同时节省人力,同时PLC控制轮船步进各个组件,使脉冲信号、频率、脉冲数控制更加方便快捷;其次根据PLC在轮船辅助机构自动化控制系统中的具体应用提出相应的应用措施,为轮船的稳定航行提供保障。 展开更多
关键词 PLC 轮船辅助机构 自动化控制 应用
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关于高职院校招标档案资料信息化管理的思考 被引量:1
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作者 余庆 《科技风》 2019年第21期201-202,共2页
随着高职院校的快速发展,高职院校的招标采购活动日益增多。在新形势下,高职院校招标档案管理工作的重要性更加突出。本文对目前高职院校招标档案管理工作中存在的问题进行了分析,对招标档案的信息化管理进行了探讨,以期提高招标档案的... 随着高职院校的快速发展,高职院校的招标采购活动日益增多。在新形势下,高职院校招标档案管理工作的重要性更加突出。本文对目前高职院校招标档案管理工作中存在的问题进行了分析,对招标档案的信息化管理进行了探讨,以期提高招标档案的归档效率,为高职院校招标档案管理提供参考。 展开更多
关键词 高职院校 招标档案管理
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硅片CMP终点检测技术现状与发展趋势 被引量:1
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作者 余庆 《四川水利》 2016年第4期87-90,共4页
化学机械抛光是硅片表面全面平坦化的核心技术之一,其中准确有效的终点检测是影响抛光效果的重要关键。若未能有效地监测抛光工艺过程,便无法避免硅片产生抛光过度或不足的缺陷。本文在介绍CMP机制的基础上,着重阐述了当前几种CMP终点... 化学机械抛光是硅片表面全面平坦化的核心技术之一,其中准确有效的终点检测是影响抛光效果的重要关键。若未能有效地监测抛光工艺过程,便无法避免硅片产生抛光过度或不足的缺陷。本文在介绍CMP机制的基础上,着重阐述了当前几种CMP终点检测技术的原理及优缺点,最后讨论了CMP终点检测技术的发展趋势。 展开更多
关键词 化学机械抛光 终点检测 硅片
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钙化性腱膜纤维瘤7例临床病理分析 被引量:1
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作者 孟雪 李瑶 +3 位作者 黄香 余庆 王进京 《肿瘤学杂志》 CAS 2022年第11期968-971,共4页
[目的]探讨钙化性腱膜纤维瘤(calcifying aponeurotic fibroma,CAF)的临床病理特征与鉴别诊断。[方法]回顾性分析7例CAF的临床病理学特征、免疫表型、诊断及鉴别诊断等。[结果] 7例CAF中女性5例,男性2例,年龄4~60岁。肿瘤直径4~40 mm,... [目的]探讨钙化性腱膜纤维瘤(calcifying aponeurotic fibroma,CAF)的临床病理特征与鉴别诊断。[方法]回顾性分析7例CAF的临床病理学特征、免疫表型、诊断及鉴别诊断等。[结果] 7例CAF中女性5例,男性2例,年龄4~60岁。肿瘤直径4~40 mm,发生在四肢远端、腰部、臀部、腘窝等体表部位。肿块多为圆形或类圆形,切面灰白,有沙砾感,形态学镜下大致相同,均表现为化生性软骨灶,伴或不伴钙化,间质弥漫分布增生的成纤维细胞,核卵圆形或梭形,细胞之间分布着致密胶原间质。免疫组织化学示Vimentin(+),CD68、CD34、CK等均阴性。[结论] CAF是一种少见的良性肿瘤,多发生于儿童及青少年,表现为无痛进行性增大的肿块,诊断需结合形态学特点及免疫组化。手术切除可治愈,但术后常见复发。 展开更多
关键词 钙化性腱膜纤维瘤 临床病理特征 诊断与鉴别诊断
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《PLC及其在水电站的应用》云教材的制作初探
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作者 余庆 《科技风》 2019年第17期39-40,共2页
随着移动互联网的飞速发展,信息化技术在教学领域中起到的作用越来越大,蓝墨云教材就是在此背景下出现的可移动数字化学习资源。本文结合《PLC及其在水电站应用》云教材的设计制作,对云教材的选题,组成结构,在开发中应注意的问题进行了... 随着移动互联网的飞速发展,信息化技术在教学领域中起到的作用越来越大,蓝墨云教材就是在此背景下出现的可移动数字化学习资源。本文结合《PLC及其在水电站应用》云教材的设计制作,对云教材的选题,组成结构,在开发中应注意的问题进行了探讨,以期提升PLC教学质量,为PLC信息化教学改革提供借鉴。 展开更多
关键词 PLC 云教材 信息化教学
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激光-线阵CCD技术的热轧机辊形检测系统
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作者 李文华 余庆 唐文 《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2003年第3期397-399,共3页
应用激光—线阵CCD成像技术,提出了一种高速、高精度热轧机辊形检测方法,阐述了激光—线阵CCD工作原理及CCD视频信号图像处理技术,介绍了激光—线阵CCD热轧机辊形检测系统,采用新的自适应快速边缘聚焦法,有效地降低了噪音对成像质量的影... 应用激光—线阵CCD成像技术,提出了一种高速、高精度热轧机辊形检测方法,阐述了激光—线阵CCD工作原理及CCD视频信号图像处理技术,介绍了激光—线阵CCD热轧机辊形检测系统,采用新的自适应快速边缘聚焦法,有效地降低了噪音对成像质量的影响,提高了处理数据的速度,使图像得到有效增强,成功地解决了除噪、边缘检测和特征信息提取等关键技术,并通过实验进行了验证。 展开更多
关键词 热轧机 辊形检测系统 激光-线阵CCD成像 电荷耦合器件 图像处理 传感器
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脂肪纤维瘤病7例临床病理分析
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作者 黄香 +3 位作者 孟雪 余庆 李瑶 王进京 《临床与实验病理学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1366-1368,共3页
目的探讨脂肪纤维瘤病(lipofibromatosis,LPF)的临床病理特征、诊断、鉴别诊断及预后。方法收集7例LPF患者临床资料,采用HE和免疫组化EnVision两步法染色,分析其临床病理特征,并复习相关文献。结果男性4例,女性3例,年龄10个月~20岁(中... 目的探讨脂肪纤维瘤病(lipofibromatosis,LPF)的临床病理特征、诊断、鉴别诊断及预后。方法收集7例LPF患者临床资料,采用HE和免疫组化EnVision两步法染色,分析其临床病理特征,并复习相关文献。结果男性4例,女性3例,年龄10个月~20岁(中位年龄8岁);瘤体最大径1~8 cm,平均2.8 cm;发生于上肢、腰背部、额部、肩部及大阴唇,表现为局部界限不清的缓慢生长的无痛性肿块。肿块多为不规则形,无明确包膜,切面灰白、灰黄色。镜下形态学大致相同,均表现为大量成熟的脂肪组织被条束状增生的梭形纤维母细胞及肌纤维母细胞分割成分叶状或不规则形,增生的纤维母细胞无明显异型,核分裂象罕见(<1个/10 HPF)。免疫组化标记梭形细胞vimentin均强阳性,SMA、CD34、BCL-2、CD99不同程度阳性,β-catenin、desmin、S-100、HMB-45、NSE等均阴性,Ki-67增殖指数均<3%。结论LPF好发于婴幼儿的中间型软组织肿瘤,掌握其临床病理特征有利于诊断及鉴别诊断,患者行手术切除后仍可复发。 展开更多
关键词 脂肪纤维瘤病 临床病理特征 鉴别诊断 预后 免疫组织化学
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河砂价格上涨的原因与对策 被引量:1
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作者 何国开 余庆 赖卫红 《市场经济与价格》 2010年第7期13-16,共4页
河砂是基础设施建设的重要用材,其价格高低直接影响建设成本的变化。随着近年来韶关区域内重要工程的开工,河砂需求量大增,加上其他因素的影响,导致河砂销售价格普遍上扬。本文对河砂价格上涨原因进行初步的探讨和分析。
关键词 河砂 价格 调研
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Electron-beam-induced degradation of halide-perovskite-related semiconductor nanomaterials
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作者 Zhiya Dang Yuqing Luo +2 位作者 Xue-Sen Wang Muhammad Imran Pingqi Gao 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第3期8-12,共5页
The instability of lead halide perovskites in various application-related conditions is a key challenge to be resolved. We investigated the formation of metal nanoparticles during transmission electron microscopy(TEM)... The instability of lead halide perovskites in various application-related conditions is a key challenge to be resolved. We investigated the formation of metal nanoparticles during transmission electron microscopy(TEM) imaging of perovskite-related metal halide compounds. The metal nanoparticle formation on these materials originates from stimulated desorption of halogen under electron beams and subsequent aggregation of metal atoms. Based on shared mechanisms,the TEM-based degradation test can help to evaluate the material stability against light irradiation. 展开更多
关键词 halide perovskite TEM DEGRADATION electronic transition stimulated desorption
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