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题名基于超声喷涂法的柔性印刷电路制备
被引量：2
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作者
缪灿锋
翟荣安
储成智
汝长海
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机构
江苏省先进机器人技术重点实验室
苏州纳米科学技术协同创新中心
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出处
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第17期917-921,共5页
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基金
国家重大科研仪器设备研制专项(61327811)
国家自然科学基金项目(61174087,61233010)
江苏省杰出青年基金项目(BK2012005)
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文摘
介绍了一种基于超声喷涂的电路印刷方法,适用于各种柔性材质的基体,可以更高效、更环保地完成柔性印刷电路(FPC)的制造。其主要思想是:纳米银导电油墨通过超声喷头雾化,进而喷涂在覆盖有金属掩膜版的聚酰亚胺(PI)膜基体上,低温烧结(125℃×20 min)之后就得到柔性电路。测试结果表明,图案化的导电线路(宽度为500mm)经过多次弯曲后仍能保持良好的导电性,其表面方阻随喷涂层数的增多而稳定地减小,8层涂覆所得线路的方阻为(21±2)mΩ/sq。扫描电镜观察表明,导电线路平整光滑,毛边误差在50mm以内。
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关键词
电路
柔性印刷
聚酰亚胺薄膜
纳米银
导电油墨
超声喷涂
方阻
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Keywords
circuit
flexible printing
polyimide film
nanometer silver
conductive ink
ultrasonic spraying
sheet resistance
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分类号
TM205.1
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名RZJ-304光刻胶压电雾化喷涂工艺及其应用
被引量：1
- 2
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作者
翟荣安
缪灿锋
魏顶
储成智
汝长海
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机构
苏州大学江苏省机器人与微系统研究中心
苏州大学苏州纳米科技协同创新中心
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出处
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第20期1070-1073,共4页
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基金
国家自然科学基金仪器重大专项(61327811)
苏州市科学发展计划纳米技术专项(ZXG201433)
欧盟第七框架国际合作基金(PIRSES-GA-2013-612641)
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文摘
在自主搭建的压电雾化喷涂系统上,以RZJ-304正性光刻胶为研究对象,圆形抛光硅片为基材,研究了稀释体积比、预热温度以及喷涂层数对光刻胶薄膜平均厚度及均匀性的影响,并得到最佳工艺参数。以具有方形结构的抛光硅片为基材,分别进行压电雾化喷涂法和离心旋转法涂胶,并进行图案光刻,结果表明压电雾化喷涂法可以在非圆形形貌上得到清晰完整的图案,克服了传统离心旋转法无法在非圆形面上涂胶的缺陷,验证了压电雾化喷涂法在非圆形形貌应用中的可行性。
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关键词
正性光刻胶
压电雾化喷涂
平均厚度
均匀性
抛光硅片
方形结构
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Keywords
positive photoresist
piezoelectric spraying
average thickness
uniformity
polished silicon wafer
squarestructure
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
TH122
[机械工程—机械设计及理论]
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