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测定薄膜厚度的基片X射线衍射法 被引量:6
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作者 姜传海 吴建生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期1045-1047,共3页
基于 X射线衍射与吸收理论 ,建立了一种薄膜厚度测量方法 ,即基片多级衍射法 .利用 X射线衍射仪测量高速钢表面的 Ti N薄膜厚度 ,由于膜下基片的衍射强度较高及衍射峰形良好 ,可以确保薄膜厚度的测量精度 .
关键词 薄膜材料 X射线衍射 薄膜厚度
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材料复杂残余应力的高温松弛行为 被引量:6
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作者 姜传海 吴建生 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期57-59,共3页
介绍了材料表面应力状态的X射线测量方法 ,研究了低碳钢交叉焊缝残余应力状态及其热松弛行为。结果表明 ,焊缝表面残余应力状态比较复杂 ,加热处理不但可有效降低应力幅度 ,对应力状态也产生一定影响。加热温度及时间是决定应力松弛的... 介绍了材料表面应力状态的X射线测量方法 ,研究了低碳钢交叉焊缝残余应力状态及其热松弛行为。结果表明 ,焊缝表面残余应力状态比较复杂 ,加热处理不但可有效降低应力幅度 ,对应力状态也产生一定影响。加热温度及时间是决定应力松弛的关键因素。在加热退火期间 ,Mises等效残余应力按幂指数方式松弛 ,并遵循蠕变机制。 展开更多
关键词 复杂残余应力 X射线应力测量 应力松弛
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CoSi_2薄膜二维X射线衍射线形分析与表征 被引量:2
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作者 姜传海 吴建生 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期487-490,共4页
利用二维X射线衍射线形分析方法,分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形.结果表明,薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异,主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关,其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大,同时该方向的显微畸变最小.
关键词 CoSi2薄膜材料 二维X射线衍射 线形分析
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双相材料中相间内应力的X射线测量与表征 被引量:2
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作者 姜传海 吴建生 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期351-354,共4页
基于X射线应力测量原理,建立了一种双相材料相间内应力的测量与表征方法.利用衍射谱线上两相的衍射峰位差, 有效地消除了仪器的系统误差.测量了实际材料SiCp/6061Al中的相间内应力,证实该方法具有较高的测量精度.
关键词 双相材料 相间内应力 X射线应力测量
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Zr对非晶Co-Si薄膜晶化和相变的影响
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作者 吴海凤 +1 位作者 董显平 吴建生 《真空》 CAS 北大核心 2005年第4期26-28,共3页
利用X射线衍射分析技术结合差示扫描量热仪,研究了Z r在Co-S i合金非晶薄膜晶化和相变过程中的作用。结果表明:溅射态非晶Co-S i薄膜和Co-S i-Z r薄膜在加热到950℃的过程中,均主要析出Co-S i和Co-S i2两种晶化相;Z r的加入增大了晶化... 利用X射线衍射分析技术结合差示扫描量热仪,研究了Z r在Co-S i合金非晶薄膜晶化和相变过程中的作用。结果表明:溅射态非晶Co-S i薄膜和Co-S i-Z r薄膜在加热到950℃的过程中,均主要析出Co-S i和Co-S i2两种晶化相;Z r的加入增大了晶化激活能,抑制了晶化相的形核和长大,使薄膜能够在更高的温度范围保持稳定,但在高温800℃以上加热时,却使晶化相Co-S i向Co-S i2的转变加快。 展开更多
关键词 钴硅薄膜 晶化 相变 微观结构
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制备参数对磁控溅射CoSi_2薄膜织构的影响
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作者 常继 姜传海 +1 位作者 吴建生 《理化检验(物理分册)》 CAS 2005年第4期163-165,190,共4页
采用射频磁控溅射法溅射CoSi2合金靶材制备CoSi2薄膜,研究了制备参数对薄膜织构的影响。结果表明,CoSi2薄膜中存在(111)或(220)织构。织构的形成受溅射参数的影响。溅射功率越大,溅射气压越低,(111)织构越强烈。当基底温度增加时,织构... 采用射频磁控溅射法溅射CoSi2合金靶材制备CoSi2薄膜,研究了制备参数对薄膜织构的影响。结果表明,CoSi2薄膜中存在(111)或(220)织构。织构的形成受溅射参数的影响。溅射功率越大,溅射气压越低,(111)织构越强烈。当基底温度增加时,织构经历了先增强后减弱的过程。 展开更多
关键词 织构 CoSi2薄膜 X射线衍射 磁控溅射
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