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一种新型超宽带小型化U型微带滤波器 被引量:8
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作者 许悦 +1 位作者 鲁国林 世娟 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期291-294,311,共5页
提出了一种新型超宽带(UWB)小型化微带滤波器。这种结构采用多个短路支节并联于主传输线上,短路支节长度为四分之一波长。采用一种新型等效电路对其进行分析、模拟,其中的主传输线、并联支节线以及T型结、拐角、接地孔等不连续处均等效... 提出了一种新型超宽带(UWB)小型化微带滤波器。这种结构采用多个短路支节并联于主传输线上,短路支节长度为四分之一波长。采用一种新型等效电路对其进行分析、模拟,其中的主传输线、并联支节线以及T型结、拐角、接地孔等不连续处均等效为相应的电路元件,并结合适当的U型电路变形。通过精确建模、仿真,使这种新型结构的滤波器具有更小的体积和更宽的通带。采用0.762 mm厚RT Duriod 6002板材实际制作一个通带为3~21 GHz的超宽带微带滤波器,尺寸为12 mm×21 mm×0.762 mm。该滤波器不仅体积小,且性能优良,其带内损耗小于2.1 dB,回波损耗优于-8.2 dB。实做通带2.96~21.01 GHz,带宽达150.6%,与仿真结果较为吻合,可以满足工程应用的需要。 展开更多
关键词 微带滤波器 超宽带 U型 短路支节 新型等效电路
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用于非接触式生命体征检测的雷达技术研究进展 被引量:3
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作者 张宁 李宏军 +2 位作者 于江涛 张韶华 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第1期1-9,17,共10页
通过生命体征判断人体健康状况是医学中重要的诊断手段。基于雷达传感器实现精确的非接触式生命体征检测,可以弥补传统的接触式医疗设备的缺点,并推动医疗保健系统向更便捷、更精确、更智能化的方向迈进。总结了雷达传感系统在生命体征... 通过生命体征判断人体健康状况是医学中重要的诊断手段。基于雷达传感器实现精确的非接触式生命体征检测,可以弥补传统的接触式医疗设备的缺点,并推动医疗保健系统向更便捷、更精确、更智能化的方向迈进。总结了雷达传感系统在生命体征信号检测应用中的研究进展,详细讨论了与系统相关的硬件架构和信号处理技术的发展。研究发现,发展高精度、高灵敏度及小型化的雷达是目前该领域的研究方向,而获取高精度的呼吸信号和心跳信号意味着要实现更高的工作频率、更严谨的硬件架构和更复杂的信号处理算法。最后,总结并探讨了毫米波雷达传感系统在非接触式生命体征检测应用中面临的挑战及未来的发展方向。 展开更多
关键词 非接触式检测 生命体征检测 传感系统 呼吸信号和心跳信号 毫米波雷达
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表面粗糙度对大功率同轴谐振器品质因数的影响
3
作者 小维 张韶华 《电子工艺技术》 2024年第4期25-28,共4页
大功率同轴腔体滤波器在无线通信系统中有重要的作用,同轴谐振器是其核心组成部分。研究了同轴谐振器表面粗糙度对品质因数的影响,通过仿真得出了同轴谐振器品质因数随表面粗糙度变化的曲线,划分了高Q稳定区、Q值快速下降区和低Q缓慢变... 大功率同轴腔体滤波器在无线通信系统中有重要的作用,同轴谐振器是其核心组成部分。研究了同轴谐振器表面粗糙度对品质因数的影响,通过仿真得出了同轴谐振器品质因数随表面粗糙度变化的曲线,划分了高Q稳定区、Q值快速下降区和低Q缓慢变化区,并研究了表面粗糙度对不同频率的谐振器品质因数的影响,最后对生产工艺环节给出控制建议。 展开更多
关键词 同轴腔体滤波器 同轴谐振器 表面粗糙度 品质因数
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1.8GHz AlN薄膜体声波谐振器的研制 被引量:5
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作者 许悦 +1 位作者 郑升灵 韩东 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期146-149,共4页
提出了基于AlN压电薄膜多层结构的1.8 GHz射频薄膜体声波谐振器(FBAR),并进行了研究。采用修正后的MBVD等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用半导体加工工艺制备器件的工艺流程,并实际制做谐振器样品,样品的测试结... 提出了基于AlN压电薄膜多层结构的1.8 GHz射频薄膜体声波谐振器(FBAR),并进行了研究。采用修正后的MBVD等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用半导体加工工艺制备器件的工艺流程,并实际制做谐振器样品,样品的测试结果:器件的串联谐振频率fs和并联谐振频率fp分别为1.781和1.794 GHz,相应的有效机电耦合系数为1.8%;串联谐振频率处和并联谐振频率处的Q值分别为308和246。该谐振器样品实际尺寸为0.45 mm×0.21 mm×0.5 mm,可以用来制备高性能的滤波器、双工器和低相噪射频振荡器等。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器 滤波器 振荡器 Q值 有效机电耦合系数(Keff 2)
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高性能AlN薄膜体声波谐振器的研究 被引量:5
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作者 李丽 郑升灵 +2 位作者 李丰 李宏军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期448-452,共5页
报道了一种空气隙型S波段薄膜体声波谐振器,该谐振器采用一维Mason模型进行仿真,电极材料选用Mo,压电薄膜材料选用AlN,通过对AlN薄膜制备条件的优化,得到了半高宽为3.32°的AlN压电薄膜,并用于研制薄膜体声波谐振器。测试结果表明,... 报道了一种空气隙型S波段薄膜体声波谐振器,该谐振器采用一维Mason模型进行仿真,电极材料选用Mo,压电薄膜材料选用AlN,通过对AlN薄膜制备条件的优化,得到了半高宽为3.32°的AlN压电薄膜,并用于研制薄膜体声波谐振器。测试结果表明,其串联谐振频率和并联谐振频率分别为2 185 MHz和2 217 MHz,有效机电耦合系数(kt2)为3.56%,在串联谐振频率和并联谐振频率处的品质因数(Q)值分别为1 571.89和586.62,kt2Q达到了55.96。根据实测结果提取了MBVD模型的参数,并将实测结果与MBVD拟合结果进行了对比,两者吻合得很好。 展开更多
关键词 一维Mason模型 AlN压电薄膜 有效机电耦合系数 Q值 MBVD模型
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新型双通道滤波器设计 被引量:4
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作者 张韶华 李宏军 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期49-52,共4页
针对双通道腔体滤波器矩形度差、通带插损大的问题,结合带通和带阻滤波器的设计方法,设计了一种新型的双通道滤波器。使用Ansoft设计软件建立拓扑电路和计算耦合系数,使用HFSS软件进行三维结构仿真并制作实物。结果表明,实物测试与仿真... 针对双通道腔体滤波器矩形度差、通带插损大的问题,结合带通和带阻滤波器的设计方法,设计了一种新型的双通道滤波器。使用Ansoft设计软件建立拓扑电路和计算耦合系数,使用HFSS软件进行三维结构仿真并制作实物。结果表明,实物测试与仿真结果能够吻合,其阻带抑制64 d Bc,通带插损0.38 d B。该双通道滤波器调试简单、矩形度高、插损小、体积小、易制作。 展开更多
关键词 双通道 带通滤波器 带阻滤波器 腔体滤波器 插损 带外抑制
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一种高性能X波段GaAs开关滤波器芯片 被引量:4
7
作者 世娟 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第8期592-596,共5页
基于0.25μm GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,研制了一款高性能X波段四路开关滤波器微波单片集成电路(MMIC)芯片。芯片内集成了输入和输出单刀四掷(SP4T)开关、驱动器和带通滤波器,实现了开关滤波功能。输入和输出SP4T开关结构... 基于0.25μm GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,研制了一款高性能X波段四路开关滤波器微波单片集成电路(MMIC)芯片。芯片内集成了输入和输出单刀四掷(SP4T)开关、驱动器和带通滤波器,实现了开关滤波功能。输入和输出SP4T开关结构相同,各支路都采用串-并联混合形式实现。驱动器集成在片内,由一位低电平(0~0.4 V)或高电平(3.3~5.5 V)信号控制SP4T开关中某一支路的导通或关断。带通滤波器采用分布参数梳状线结构,开路端加载金属-绝缘体-金属(MIM)电容,减小滤波器尺寸的同时拓宽了其阻带带宽。该开关滤波器芯片频率覆盖9.85~12.4 GHz,尺寸为4.5 mm×4.5 mm×0.15 mm。探针在片测试结果表明,开关滤波器芯片4个支路的中心插入损耗均小于6.2 dB,通带内回波损耗优于17 dB,典型的带外衰减大于40 dB。 展开更多
关键词 GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT) 单刀四掷(SP4T)开关 带通滤波器 开关滤波器 微波单片集成电路(MMIC)
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基于GaAs PHEMT工艺的超宽带多通道开关滤波器组MMIC
8
作者 +3 位作者 李丽 于江涛 张仕强 李宏军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第1期48-53,共6页
基于0.25μm GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,研制了一款超宽带7路开关滤波器组单片微波集成电路(MMIC)芯片。芯片内集成了开关、驱动电路和带通滤波器,实现了开关滤波功能。开关采用反射式串-并联混合结构;译码器和驱动电路控... 基于0.25μm GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,研制了一款超宽带7路开关滤波器组单片微波集成电路(MMIC)芯片。芯片内集成了开关、驱动电路和带通滤波器,实现了开关滤波功能。开关采用反射式串-并联混合结构;译码器和驱动电路控制某一支路开关的导通或关断;带通滤波器由集总电感和电容组成。该开关滤波器组芯片通带频率覆盖0.8~18 GHz。探针测试结果表明,开关滤波器组芯片各个支路的中心插入损耗均小于8.5 dB,通带内回波损耗小于10 dB,典型带外衰减大于40 dB。为后续研发尺寸更小、性能更优的开关滤波器组提供了参考。 展开更多
关键词 GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT) 超宽带 多通道滤波器 带通滤波器 开关滤波器组 单片微波集成电路(MMIC)
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Si基薄膜体声波谐振器(FBAR)技术研究 被引量:4
9
作者 韩东 胡顺欣 +3 位作者 冯彬 邓建国 许悦 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期456-459,469,共5页
介绍了目前国际上主流的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术,分析了FBAR谐振器的结构设计和压电薄膜选取方案。依托Si基半导体工艺平台,采用牺牲层技术完成了空气腔的制作,利用磁控反应溅射技术制备的高质量(002)AlN薄膜作为压电材料,基于FBAR... 介绍了目前国际上主流的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术,分析了FBAR谐振器的结构设计和压电薄膜选取方案。依托Si基半导体工艺平台,采用牺牲层技术完成了空气腔的制作,利用磁控反应溅射技术制备的高质量(002)AlN薄膜作为压电材料,基于FBAR多层立体结构,实现了空气腔型FBAR谐振器的制作工艺,实际制作了FBAR谐振器样品。实测FBAR谐振器样品典型指标:Q值≥300,谐振频率为1.46 GHz,谐振频率覆盖L波段。测试结果验证了设计方案及工艺路径的正确性与可行性,为后续产品的研发提供了技术基础。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器 氮化铝薄膜 空气腔 牺牲层技术 谐振器
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基于异构集成技术的FBAR开关滤波器组芯片 被引量:3
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作者 郭松林 李丽 +2 位作者 钱丽勋 李宏军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第4期263-267,共5页
基于异构集成技术,研制了一款各通道中心频率分别为1.5,1.8,1.9和2.0 GHz的四通道高性能开关滤波器组芯片。使用了金锡凸点焊接的组装工艺,与键合线工艺相比,其互连强度更高,寄生参数更小。薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片与微波单片... 基于异构集成技术,研制了一款各通道中心频率分别为1.5,1.8,1.9和2.0 GHz的四通道高性能开关滤波器组芯片。使用了金锡凸点焊接的组装工艺,与键合线工艺相比,其互连强度更高,寄生参数更小。薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片与微波单片集成电路(MMIC)开关电路芯片采用自主可控的FBAR工艺、 0.35μm GaAs工艺研制。为满足窄带、高矩形度、低插入损耗开关滤波器组的需求,FBAR滤波器电路采用阶梯型拓扑结构。开关电路使用串-并联混合结构,兼顾低插入损耗和高隔离度。经探针台测试结果显示,各通道中心插入损耗小于3 dB,矩形系数比约为2.0,带外抑制大于45 dBc。开关滤波器组芯片面积为4 mm×4 mm,高度约为0.4 mm。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片 微波单片集成电路(MMIC) 开关电路 异构集成 开关滤波器组芯片
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无源LC滤波器磁环电感元件可靠性研究 被引量:2
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作者 许悦 刘晓红 +1 位作者 杜银波 《电子产品可靠性与环境试验》 2013年第1期44-48,共5页
无源滤波器是现代通信、电子对抗和航空航天等系统中的关键器件之一。LC滤波器因其特有的优势而得到广泛的应用。在实际的使用过程中,经常会出现由于电感原因导致的产品失效现象,给系统带来困扰。介绍了LC滤波器的工作原理和电感元件的... 无源滤波器是现代通信、电子对抗和航空航天等系统中的关键器件之一。LC滤波器因其特有的优势而得到广泛的应用。在实际的使用过程中,经常会出现由于电感原因导致的产品失效现象,给系统带来困扰。介绍了LC滤波器的工作原理和电感元件的作用,针对最常见的磁环电感所致的失效问题进行了分析。就磁环电感的关键部件——磁环与漆包线,分别给出几种不同的失效模式及相应的具体事例,并针对不同的失效模式提出了解决办法和提升可靠性的措施。 展开更多
关键词 无源滤波器 电感 失效 磁环 漆包线
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一种新型的窄带远寄生小型化微带滤波器 被引量:2
12
作者 许悦 世娟 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期470-473,共4页
设计了一种新型的窄带远寄生小型化微带滤波器,其远寄生特性通过在带通滤波器之后级联低通来实现。其中带通部分采用两阶带有调节支节的含源-负载非相邻耦合新型电路结构,文中给出其相应的拓扑与耦合系数矩阵,并分析了调节支节的作用;... 设计了一种新型的窄带远寄生小型化微带滤波器,其远寄生特性通过在带通滤波器之后级联低通来实现。其中带通部分采用两阶带有调节支节的含源-负载非相邻耦合新型电路结构,文中给出其相应的拓扑与耦合系数矩阵,并分析了调节支节的作用;对于用于抑制远端寄生信号的低通滤波器,给出其集总参数原型等效电路。基于此,进行建模与仿真,设计了一款工作于S波段的微带滤波器,实测结果与仿真值、理论值有很好的吻合度,实现指标为中心频率3.93 GHz下的相对带宽8%,寄生远于12 GHz,体积27 mm×10.16 mm×7.45 mm,可以满足实际工程应用的需要。该电路结构新颖,产品尺寸小,设计方法简洁实用,适于推广应用。 展开更多
关键词 微带滤波器 源-负载之间非相邻耦合 窄带 宽阻带 小型化
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一款S波段双通道FBAR滤波器 被引量:2
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作者 李丽 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第9期675-679,共5页
研制了一款S波段双通道薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器,其两个通带频率分别为(2000±45)MHz和(2800±45)MHz,在两个通道的输入、输出端分别加入匹配电路。FBAR滤波器芯片采用阶梯型电路结构设计,采用声电磁协同仿真方法对各个通... 研制了一款S波段双通道薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器,其两个通带频率分别为(2000±45)MHz和(2800±45)MHz,在两个通道的输入、输出端分别加入匹配电路。FBAR滤波器芯片采用阶梯型电路结构设计,采用声电磁协同仿真方法对各个通道的FBAR滤波器分别进行了仿真设计。匹配电路采用由低通滤波器和高通滤波器构成的双工器方案实现。对印制电路板、FBAR滤波器芯片和匹配电路进行了一体化仿真。FBAR滤波器芯片采用自主的FBAR标准工艺实现,双通道FBAR滤波器采用微波混合集成电路工艺实现,其体积为12.2 mm×12.2 mm×4.8 mm。滤波器采用陶瓷外壳进行了气密封装,具有免调试、参数一致性好的特点,拓宽了FBAR滤波器的应用范围。 展开更多
关键词 双通道 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片 S波段 匹配电路 插入损耗 带外抑制
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一种基于信号干扰技术的谐波滤波器设计
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作者 曹力元 李宏军 +1 位作者 张韶华 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期64-68,共5页
采用信号干扰技术原理设计了一种微带线结构的微波滤波器,将目标频率的二次、三次谐波进行了一定程度的抑制。滤波器以厚度为0.381 mm的高工艺精度陶瓷材料作为基板,依托薄膜工艺进行金属层的制作。为达到宽阻带的抑制效果以及使过渡带... 采用信号干扰技术原理设计了一种微带线结构的微波滤波器,将目标频率的二次、三次谐波进行了一定程度的抑制。滤波器以厚度为0.381 mm的高工艺精度陶瓷材料作为基板,依托薄膜工艺进行金属层的制作。为达到宽阻带的抑制效果以及使过渡带更为陡峭,滤波器的电路结构上采用了两个信号干扰单元级联,并添加耦合环增加陷波点的方式。滤波器对1.2~1.3 GHz频段信号的二倍频、三倍频进行了有效的抑制,实现了二次谐波抑制度大于30 dB、三次谐波抑制度大于20 dB的抑制效果。滤波器通带内的插入损耗小于0.38 dB,带内回波损耗大于16 dB。滤波器外形尺寸为20.4 mm×10 mm×0.381 mm。该滤波器整体结构较为简单,易于工艺制作,能够有效地降低生产成本,利于批量制造。 展开更多
关键词 微波滤波器 谐波抑制 信号干扰技术 陶瓷 薄膜工艺
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一种新型超宽带滤波器的设计
15
作者 张韶华 李宏军 《数字通信世界》 2020年第5期4-6,共3页
由于宽带滤波器实现困难,传统工程中使用高通加低通滤波器的设计方法,缺点是体积大,指标差。创新地在罗杰斯版上应用管状电路,精确控制谐振枝节间容值,成功实现一款超宽带滤波器;实物测试与仿真结果能够拟合,滤波器相对带宽超过67%。该... 由于宽带滤波器实现困难,传统工程中使用高通加低通滤波器的设计方法,缺点是体积大,指标差。创新地在罗杰斯版上应用管状电路,精确控制谐振枝节间容值,成功实现一款超宽带滤波器;实物测试与仿真结果能够拟合,滤波器相对带宽超过67%。该滤波器具备带宽宽、矩形度高、插损小、体积小、易制作、免调试等优点,实物已在工程中使用。 展开更多
关键词 超宽带 带通滤波器 腔体滤波器 耦合矩阵 带外抑制 插损
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温室绿芦笋高产栽培技术 被引量:2
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作者 郭继标 盛桂兰 +3 位作者 杨军 张同海 葛汝峰 《中国农技推广》 2001年第2期20-20,共1页
关键词 绿芦笋 温室栽培 高产栽培 栽培技术 播种 苗床管理 采收
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温室绿芦笋定植及管理
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作者 郭继标 盛桂兰 +3 位作者 杨军 张同海 葛汝峰 《农业知识》 2001年第7期20-20,共1页
定植定植前,要先清除干净前茬作物的残枝落叶,施足基肥。一般每1/15公顷(亩)施农家肥7500千克以上,三元复合肥50~70千克,尿素20千克,氯化钾30千克。把土壤深耕20厘米,整平地面。
关键词 绿芦笋 三元复合肥 嫩茎 磷酸二钱 中耕松土 查苗补苗 速效化肥 茎枯病 再生力 顶土
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温室水果型黄瓜的栽培管理
18
作者 陈建国 成业 《现代农业》 2006年第6期34-34,共1页
关键词 栽培管理 水果型黄瓜 温室 愈伤组织形成 夜间温度 室内湿度 黄瓜子叶 嫁接苗 光照强度 霜霉病
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