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小型相机自动对焦用光电位置传感器 被引量：1
1
作者 谢会开 王爵树 《传感器技术》 CSCD 1992年第4期21-25,共5页
采用新颍的PIN结构研制的光电位置传感器,主要用于小型相机的自动对焦系统。文中阐述了PSD器件的工作原理以及为获得高反向击穿电压、高极间表面电阻和好的红外灵敏度在结构上和工艺上所作的改进。并对PSD器件进行了测试,得到符合设计... 采用新颍的PIN结构研制的光电位置传感器,主要用于小型相机的自动对焦系统。文中阐述了PSD器件的工作原理以及为获得高反向击穿电压、高极间表面电阻和好的红外灵敏度在结构上和工艺上所作的改进。并对PSD器件进行了测试,得到符合设计要求的结果。 展开更多
关键词 相机 小型 对焦 传感器 光电位置
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MNOS存贮管存贮栅的工艺控制技术 被引量：2
2
作者 张新 邢昆山 +1 位作者 王爵树 杨维成 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期49-53,共5页
介绍一种军用专用集成电路的核心器件──ＭＮＯＳ管。存贮栅是该存贮管的制作关键，存贮栅由薄二氧化硅层和氮化硅复合膜组成。着重论述了复合膜中较难制作的薄二氧化硅即薄栅（２．１５±０．１５ｎｍ）的工艺控制。
关键词 MNOS管 薄栅 工艺 控制 二氧化硅
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