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激光光斑及束腰光斑尺寸的测量研究 被引量:11
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作者 李文成 谷晋骐 《应用光学》 CAS CSCD 2002年第3期30-33,共4页
激光光斑尺寸和激光束腰光斑尺寸是衡量激光器性能的重要参数。本文探讨用 CCD作为探测传感器精确地测出激光光斑尺寸和束腰光斑尺寸 ,克服了传统测量的繁杂过程 [1] ,并用计算机进行控制及数据处理 ,大大提高了测量精度和效率 。
关键词 激光光斑尺寸 束腰光斑尺寸 测量 激光器 性能参数
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激光光斑及束腰光斑尺寸的测量研究 被引量:9
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作者 李文成 谷晋骐 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期358-361,共4页
激光光斑尺寸和激光束腰光斑尺寸是标志激光器性能的重要参数 ,也是激光器在应用中的重要参量 .用 CCD作为探测传感器 ,可以更精确地测出激光器的光斑尺寸和束腰光斑尺寸 ,克服了传统测量的繁杂过程 ,并用计算机控制及数据处理 ,测量精... 激光光斑尺寸和激光束腰光斑尺寸是标志激光器性能的重要参数 ,也是激光器在应用中的重要参量 .用 CCD作为探测传感器 ,可以更精确地测出激光器的光斑尺寸和束腰光斑尺寸 ,克服了传统测量的繁杂过程 ,并用计算机控制及数据处理 ,测量精度由原来的 10μm提高到 2μm。 展开更多
关键词 束腰光斑尺寸 测量 激光光斑尺寸 CCD传感器 激光器
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四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用 被引量:6
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作者 张为 姚素英 +4 位作者 刘艳艳 阎富兰 田莉 牛秀文 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期422-424,共3页
通过各向异性腐蚀硅杯实验 ,研究了四甲基氢氧化铵 ( TMAH)腐蚀液的特性 ,包括硅( 1 0 0 )面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系 ,不同腐蚀条件下硅杯的表面状况 ,并确定了制作硅杯的最佳工艺条件。通过测试硅杯结构多晶硅压力传感器的输... 通过各向异性腐蚀硅杯实验 ,研究了四甲基氢氧化铵 ( TMAH)腐蚀液的特性 ,包括硅( 1 0 0 )面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系 ,不同腐蚀条件下硅杯的表面状况 ,并确定了制作硅杯的最佳工艺条件。通过测试硅杯结构多晶硅压力传感器的输出特性 ,证明了 展开更多
关键词 各向异性腐蚀 微机电系统 四甲基氢氧化铵
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双光束干涉条纹间距的在线测量 被引量:4
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作者 李文成 谷晋骐 《大学物理》 北大核心 2003年第8期28-30,共3页
双光束干涉是物理光学中的重要内容 ,也是全息光栅制作的光学原理 .本文采用CCD光电传感器[1] 在线测量双光束干涉条纹间距的方法 ,来确定全息光栅常量的实验原理及实验装置 。
关键词 双光束干涉 全息光栅 光栅常量 CCD传感器
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霍耳效应测量磁场实验中的副效应及温度对测量结果的影响 被引量:4
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作者 李文成 《大学物理》 北大核心 1995年第5期36-38,共3页
讨论了霍耳效应测量磁场实验中的一些副效应及温度对测量结果的影响,分析了产生系统误差的原因及处理方法。
关键词 霍耳效应 温度效应 磁场
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激光束参数测量新方法的研究
6
作者 李文成 秦绮雯 +1 位作者 道克刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期423-426,共4页
激光束参数测量新方法的研究李文成,秦绮雯(天津大学物理系)王涌萍,道克刚(天津大学电子工程系)0引言激光束横向能量分布,光斑尺寸和激光方向漂移以及发散角,束腰光斑尺寸,共焦参数等激光束参数[1],是衡量激光器性能的重... 激光束参数测量新方法的研究李文成,秦绮雯(天津大学物理系)王涌萍,道克刚(天津大学电子工程系)0引言激光束横向能量分布,光斑尺寸和激光方向漂移以及发散角,束腰光斑尺寸,共焦参数等激光束参数[1],是衡量激光器性能的重要物理量。这些激光束参数目前国内外... 展开更多
关键词 激光束 参数测量 激光器
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一种多晶硅高温压力传感器
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作者 张荣 曲宏伟 +4 位作者 阎富兰 崔金标 田莉 张维新 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1998年第6期437-439,共3页
制作压力传感器时,在二氧化硅层上淀积多晶硅膜,既可利用硅优良的机械特性,又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性,由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明,这类传感器具有灵敏... 制作压力传感器时,在二氧化硅层上淀积多晶硅膜,既可利用硅优良的机械特性,又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性,由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明,这类传感器具有灵敏度好、精度高等特点,电路工作范围为0~250°C,且具有良好的温度稳定性。 展开更多
关键词 传感器 压力传感器 多晶硅 介质隔离
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