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题名MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析
被引量:6
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作者
马文英
姚军
任豪
王大甲
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第5期296-300,共5页
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基金
中科院国际创新实验室基金(CXJJ-O9-S05)
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文摘
给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和Y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点。推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应。利用POL YMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分析了关键工艺步骤。结合有限元分析软件,对微扫描镜的频率特性以及静态旋转特性进行了分析和研究。分析结果表明,在120V和160V的电压下,扫描镜可分别产生沿X轴方向的±5.0°和沿Y轴方向±4.4°的偏转角。优化后的扫描镜能够工作在单频率状态下,具有较高的响应速度。
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关键词
MEMS
二维扫描镜
模态
动态响应
偏转角
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Keywords
MEMS
2D scanning mirror
operating modes l dynamic response
deflection angle
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
TP211.6
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究
被引量:5
- 2
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作者
王大甲
胡放荣
姚军
邱传凯
王爱娜
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1333-1336,共4页
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基金
中科院光电技术研究所“百人计划”科研基金资助
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文摘
基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算,获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外,通过静态模式下的有限元计算,发现各种梁自由端的偏移量相同,表明它们的静态灵敏度与形状无关。最后,对三角形梁在不同测量模式下结构参数的优化设计进行了分析。
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关键词
化学传感器灵敏度
三角形微悬臂梁
动态模式
静态模式
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Keywords
sensitivities of chemical sensors
triangular microcantilever beam
dynamic mode
static mode
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分类号
TP212.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名高隔离度X波段RF MEMS电容式并联开关
被引量:1
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作者
张理
姚军
王大甲
饶青
钟洪声
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机构
中国科学院光电技术研究所
电子科技大学
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2008年第6期342-346,共5页
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基金
中科院“百人计划”创新基金资助项目
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文摘
研究了一种新型的、应用于X波段的高隔离度RF MEMS电容式并联开关结构。相比于普通的并联结构,该开关通过共面波导(CPW)传输线与地平面之间的衬底刻槽结构将隔离度提高了7dB,关态时在13.5GHz谐振频率处的隔离度为-54.6dB,执行电压为26V。弹簧梁结构开关的执行电压下降为14V,在11GHz处其隔离度为-42.8dB。通过两个并联开关级联与开关间的高阻传输线构成的π型调谐开关电路,在11.5GHz处的隔离度为-81.6dB。
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关键词
射频微机电系统
开关
隔离度
X波段
衬底刻槽
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Keywords
RF MEMS
switch
isolation
X band
groove
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
TM534.1
[机械工程—精密仪器及机械]
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