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绝压式BESOI负压传感器研制
1
作者
李金华
孙慷
+5 位作者
蒋美萍
周倜
冒建军
焦
继
传
陆德仁
王渭源
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995年第2期50-54,共5页
采取BESOI技术形成带真空腔的绝压式结构,利用凸型梁使形变膜的应力放大,研制出在电源电压5V时,具有输出灵敏度为257.4mV/10~5Pa的绝压式负压传感器芯片.其非线性度约0.1%,未加负压时,输出电压的温漂约400×10^(-6)/℃(FS).
关键词
负压传感器
键合
BESOI
传感器
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职称材料
题名
绝压式BESOI负压传感器研制
1
作者
李金华
孙慷
蒋美萍
周倜
冒建军
焦
继
传
陆德仁
王渭源
机构
江苏石油化工学院功能材料实验室
常州半导体厂
中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995年第2期50-54,共5页
基金
中科院传感技术国家实验室资助项目
文摘
采取BESOI技术形成带真空腔的绝压式结构,利用凸型梁使形变膜的应力放大,研制出在电源电压5V时,具有输出灵敏度为257.4mV/10~5Pa的绝压式负压传感器芯片.其非线性度约0.1%,未加负压时,输出电压的温漂约400×10^(-6)/℃(FS).
关键词
负压传感器
键合
BESOI
传感器
Keywords
negative pressure transducer BESOI
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
绝压式BESOI负压传感器研制
李金华
孙慷
蒋美萍
周倜
冒建军
焦
继
传
陆德仁
王渭源
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995
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