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纳米Pt膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响
被引量:
4
1
作者
曹炳阳
张清光
+4 位作者
张兴
高桥厚史
声田龙也
乔文明
滕
井
丕
夫
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期1207-1211,共5页
采用电子束-物理气相沉积法(EB-PVD)制备了6个厚度为15-62 nm的铂薄膜,研究了纳米薄膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响规律.当薄膜厚度小于30 nm时,晶粒平均尺寸接近于薄膜的厚度;晶粒尺寸随着薄膜厚度的增加而增大并趋于定值;当薄膜厚...
采用电子束-物理气相沉积法(EB-PVD)制备了6个厚度为15-62 nm的铂薄膜,研究了纳米薄膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响规律.当薄膜厚度小于30 nm时,晶粒平均尺寸接近于薄膜的厚度;晶粒尺寸随着薄膜厚度的增加而增大并趋于定值;当薄膜厚度大于30 nm时,晶粒尺寸约为20 nm.受薄膜的表面和内部晶界的综合影响,铂纳米薄膜的热导率大大低于体材料的值,并且纳米薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而增大并趋于一个低于体材料热导率的值.
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关键词
Pt纳米薄膜
热导率
晶粒尺寸
晶界效应
尺寸效应
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职称材料
题名
纳米Pt膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响
被引量:
4
1
作者
曹炳阳
张清光
张兴
高桥厚史
声田龙也
乔文明
滕
井
丕
夫
机构
清华大学工程力学系热科学与动力工程教育部重点实验室
Graduate School of Engineering
华东理工大学化学工程联合国家重点实验室
Institute for Materials Chemistry and Engineering
出处
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期1207-1211,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目50606018~~
文摘
采用电子束-物理气相沉积法(EB-PVD)制备了6个厚度为15-62 nm的铂薄膜,研究了纳米薄膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响规律.当薄膜厚度小于30 nm时,晶粒平均尺寸接近于薄膜的厚度;晶粒尺寸随着薄膜厚度的增加而增大并趋于定值;当薄膜厚度大于30 nm时,晶粒尺寸约为20 nm.受薄膜的表面和内部晶界的综合影响,铂纳米薄膜的热导率大大低于体材料的值,并且纳米薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而增大并趋于一个低于体材料热导率的值.
关键词
Pt纳米薄膜
热导率
晶粒尺寸
晶界效应
尺寸效应
Keywords
Pt nanofilm, thermal conductivity, grain size, grain boundary effect, size effect
分类号
TG146.3 [一般工业技术—材料科学与工程]
TK124 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米Pt膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响
曹炳阳
张清光
张兴
高桥厚史
声田龙也
乔文明
滕
井
丕
夫
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
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