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辉光放电质谱法测定超高纯铜溅射靶材中痕量杂质元素及其相对灵敏度因子的求取
被引量:
3
1
作者
余琼
连危洁
+2 位作者
温
毅
博
马兰
李明利
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期1049-1055,共7页
通过选择合适的同位素及分辨率,提出了辉光放电质谱法(GDMS)测定超高纯铜溅射靶材中39种痕量杂质元素的分析方法。对辉光放电过程中的参数进行了优化,条件如下:放电气体流量为450 mL·min^(-1),放电电流为2.00 mA,预溅射时间为20 mi...
通过选择合适的同位素及分辨率,提出了辉光放电质谱法(GDMS)测定超高纯铜溅射靶材中39种痕量杂质元素的分析方法。对辉光放电过程中的参数进行了优化,条件如下:放电气体流量为450 mL·min^(-1),放电电流为2.00 mA,预溅射时间为20 min。由于高纯铜的GDMS标准样品极难获得,为提高痕量杂质元素的检测准确度,在现有的标准样品条件下,利用高纯铜标准样品只获得了与基体匹配的21种杂质元素的相对灵敏度因子(RSF),其余18种杂质元素的RSF只能按照仪器自带的标准RSF进行计算。参照美国材料与试验协会的标准ASTM F1593-08(2016)的TypeⅢ中的第2种方法计算33种杂质元素的检出限,而其他6种主要杂质元素因其含量高于仪器噪声水平而无法用此法得到检出限。用GDMS对超高纯铜溅射靶材样品进行了检测,主要杂质元素为硅、磷、硫、氯、铁、银,检出量为0.015~0.082μg·g^(-1),杂质总量小于1μg·g^(-1)。除锌、碲、金的检出限在10 ng·g^(-1)级外,其余元素的检出限能够达到ng·g^(-1)级,其中钍、铀的检出限甚至达到了0.1 ng·g^(-1)级,说明方法能够满足GB/T 26017-2010中的6N(99.9999%)超高纯铜溅射靶材的检测要求。
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关键词
辉光放电质谱法
超高纯铜
杂质元素
相对灵敏度因子
下载PDF
职称材料
碳纤维质量分数对Al2O3弥散强化铜复合材料的载流摩擦磨损性能影响
被引量:
6
2
作者
温
毅
博
上官宝
+2 位作者
张永振
宋晨飞
杨正海
《粉末冶金技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期177-181,共5页
通过内氧化法制作出一种Al2O3弥散强化铜–碳纤维复合材料,研究了不同碳纤维质量分数对材料载流摩擦磨损性能的影响。结果表明,碳纤维的加入会影响材料的力学性能,明显降低弥散强化铜材料的摩擦系数和磨损量,提升材料的载流稳定性和载...
通过内氧化法制作出一种Al2O3弥散强化铜–碳纤维复合材料,研究了不同碳纤维质量分数对材料载流摩擦磨损性能的影响。结果表明,碳纤维的加入会影响材料的力学性能,明显降低弥散强化铜材料的摩擦系数和磨损量,提升材料的载流稳定性和载流效率。随着碳纤维质量分数的升高,材料的磨损机制由粘着磨损、熔融堆积变为粘着磨损;随着碳纤维质量分数的进一步增加,材料的磨损形式变为轻微的磨粒磨损,说明碳纤维能够在载流摩擦中起到良好的润滑作用。
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关键词
内氧化法
弥散强化铜
碳纤维
载流
摩擦磨损性能
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职称材料
题名
辉光放电质谱法测定超高纯铜溅射靶材中痕量杂质元素及其相对灵敏度因子的求取
被引量:
3
1
作者
余琼
连危洁
温
毅
博
马兰
李明利
机构
中国兵器科学研究院宁波分院
宁波江丰电子材料股份有限公司
浙江药科职业大学
出处
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期1049-1055,共7页
基金
宁波市关键核心技术应急攻关计划项目(2020G009)。
文摘
通过选择合适的同位素及分辨率,提出了辉光放电质谱法(GDMS)测定超高纯铜溅射靶材中39种痕量杂质元素的分析方法。对辉光放电过程中的参数进行了优化,条件如下:放电气体流量为450 mL·min^(-1),放电电流为2.00 mA,预溅射时间为20 min。由于高纯铜的GDMS标准样品极难获得,为提高痕量杂质元素的检测准确度,在现有的标准样品条件下,利用高纯铜标准样品只获得了与基体匹配的21种杂质元素的相对灵敏度因子(RSF),其余18种杂质元素的RSF只能按照仪器自带的标准RSF进行计算。参照美国材料与试验协会的标准ASTM F1593-08(2016)的TypeⅢ中的第2种方法计算33种杂质元素的检出限,而其他6种主要杂质元素因其含量高于仪器噪声水平而无法用此法得到检出限。用GDMS对超高纯铜溅射靶材样品进行了检测,主要杂质元素为硅、磷、硫、氯、铁、银,检出量为0.015~0.082μg·g^(-1),杂质总量小于1μg·g^(-1)。除锌、碲、金的检出限在10 ng·g^(-1)级外,其余元素的检出限能够达到ng·g^(-1)级,其中钍、铀的检出限甚至达到了0.1 ng·g^(-1)级,说明方法能够满足GB/T 26017-2010中的6N(99.9999%)超高纯铜溅射靶材的检测要求。
关键词
辉光放电质谱法
超高纯铜
杂质元素
相对灵敏度因子
Keywords
glow discharge mass spectrometry
ultra-high purity copper
impurity element
relative sensitivity factor
分类号
O657.63 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
碳纤维质量分数对Al2O3弥散强化铜复合材料的载流摩擦磨损性能影响
被引量:
6
2
作者
温
毅
博
上官宝
张永振
宋晨飞
杨正海
机构
河南科技大学材料科学与工程学院
河南科技大学高端轴承摩擦学技术与应用国家地方联合工程实验室
出处
《粉末冶金技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期177-181,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51375147,51405134)
河南省自然科学基金资助项目(162300410091)
文摘
通过内氧化法制作出一种Al2O3弥散强化铜–碳纤维复合材料,研究了不同碳纤维质量分数对材料载流摩擦磨损性能的影响。结果表明,碳纤维的加入会影响材料的力学性能,明显降低弥散强化铜材料的摩擦系数和磨损量,提升材料的载流稳定性和载流效率。随着碳纤维质量分数的升高,材料的磨损机制由粘着磨损、熔融堆积变为粘着磨损;随着碳纤维质量分数的进一步增加,材料的磨损形式变为轻微的磨粒磨损,说明碳纤维能够在载流摩擦中起到良好的润滑作用。
关键词
内氧化法
弥散强化铜
碳纤维
载流
摩擦磨损性能
Keywords
internal oxidation method
dispersion strengthened copper
carbon fiber
current carrying
friction and wear properties
分类号
TB33 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
辉光放电质谱法测定超高纯铜溅射靶材中痕量杂质元素及其相对灵敏度因子的求取
余琼
连危洁
温
毅
博
马兰
李明利
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2022
3
下载PDF
职称材料
2
碳纤维质量分数对Al2O3弥散强化铜复合材料的载流摩擦磨损性能影响
温
毅
博
上官宝
张永振
宋晨飞
杨正海
《粉末冶金技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018
6
下载PDF
职称材料
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