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聚碳酸酯基片超疏水表面的制备与表征
被引量：
5
1
作者
郑正龙
涂
吕
星
+3 位作者
饶欢乐
邱克强
王旭迪
付绍军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期272-277,共6页
超疏水表面改性可以提高聚碳酸酯(PC)的实用性能。采用氧气等离子体刻蚀的方法对PC基片表面进行处理结合表面沉积疏水性涂层制备了超疏水表面。利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪和傅里叶变换红外光谱仪对制备过程中PC基片的表面形...
超疏水表面改性可以提高聚碳酸酯(PC)的实用性能。采用氧气等离子体刻蚀的方法对PC基片表面进行处理结合表面沉积疏水性涂层制备了超疏水表面。利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪和傅里叶变换红外光谱仪对制备过程中PC基片的表面形貌结构和表面化学成分的变化进行了表征。超疏水PC基片表面进行磨损实验后,发现磨损基片表面丧失了超疏水的特性。分析了磨损后PC基片的表面形貌和表面化学组成,表明失效的原因与基片表面形貌以及疏水性涂层的破坏有关。
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关键词
聚碳酸酯
超疏水
表面形貌
表面化学成分
磨损实验
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职称材料
逆向热键合技术制作SU-8胶纳流控通道
2
作者
涂
吕
星
王旭迪
+2 位作者
葛良进
金建
付绍军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期1270-1275,共6页
热键合技术常用于制备纳米通道,但其需要高温高压的工艺条件,因此难以获得大面积和尺寸可控的纳米通道。本文提出一种利用热键合技术制作尺寸可控的SU-8胶纳米通道的方法,该方法利用UV胶带在紫外曝光前后粘附力变化的特点,通过模板浇注...
热键合技术常用于制备纳米通道,但其需要高温高压的工艺条件,因此难以获得大面积和尺寸可控的纳米通道。本文提出一种利用热键合技术制作尺寸可控的SU-8胶纳米通道的方法,该方法利用UV胶带在紫外曝光前后粘附力变化的特点,通过模板浇注获得SU-8胶的图形结构层,并将其转移到UV胶带上,其柔性保证了图形结构层与Si基底上封装胶层的大面积紧密贴合,然后键合完成纳米通道制作。本文分析了界面间粘附能的大小对图形转移和键合过程的影响,并通过改变封装胶层的厚度,获得了不同尺寸的纳米通道,建立起胶层厚度和纳米通道尺寸精确的线性关系。利用有限元模拟SU-8胶填充形成通道的机理,分析了毛细力在键合填充过程中的作用。
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关键词
逆向热键合
SU-8
UV胶带纳米通道
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职称材料
题名
聚碳酸酯基片超疏水表面的制备与表征
被引量：
5
1
作者
郑正龙
涂
吕
星
饶欢乐
邱克强
王旭迪
付绍军
机构
合肥工业大学
中国科学技术大学
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期272-277,共6页
文摘
超疏水表面改性可以提高聚碳酸酯(PC)的实用性能。采用氧气等离子体刻蚀的方法对PC基片表面进行处理结合表面沉积疏水性涂层制备了超疏水表面。利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪和傅里叶变换红外光谱仪对制备过程中PC基片的表面形貌结构和表面化学成分的变化进行了表征。超疏水PC基片表面进行磨损实验后,发现磨损基片表面丧失了超疏水的特性。分析了磨损后PC基片的表面形貌和表面化学组成,表明失效的原因与基片表面形貌以及疏水性涂层的破坏有关。
关键词
聚碳酸酯
超疏水
表面形貌
表面化学成分
磨损实验
Keywords
PC, Superhydrophobicity, Surface morphology, Surface chemical composition, Abrasion test
分类号
TB381 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
逆向热键合技术制作SU-8胶纳流控通道
2
作者
涂
吕
星
王旭迪
葛良进
金建
付绍军
机构
合肥工业大学
中国科技大学
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期1270-1275,共6页
文摘
热键合技术常用于制备纳米通道,但其需要高温高压的工艺条件,因此难以获得大面积和尺寸可控的纳米通道。本文提出一种利用热键合技术制作尺寸可控的SU-8胶纳米通道的方法,该方法利用UV胶带在紫外曝光前后粘附力变化的特点,通过模板浇注获得SU-8胶的图形结构层,并将其转移到UV胶带上,其柔性保证了图形结构层与Si基底上封装胶层的大面积紧密贴合,然后键合完成纳米通道制作。本文分析了界面间粘附能的大小对图形转移和键合过程的影响,并通过改变封装胶层的厚度,获得了不同尺寸的纳米通道,建立起胶层厚度和纳米通道尺寸精确的线性关系。利用有限元模拟SU-8胶填充形成通道的机理,分析了毛细力在键合填充过程中的作用。
关键词
逆向热键合
SU-8
UV胶带纳米通道
Keywords
Reversal thermal bonding, SU-8, UV tape, Nanochannels
分类号
TB381 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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操作
1
聚碳酸酯基片超疏水表面的制备与表征
郑正龙
涂
吕
星
饶欢乐
邱克强
王旭迪
付绍军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
5
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职称材料
2
逆向热键合技术制作SU-8胶纳流控通道
涂
吕
星
王旭迪
葛良进
金建
付绍军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
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职称材料
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