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MOCVD生长中载气H_2对N掺杂ZnO性质的影响 被引量:7
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作者 刘雪冬 顾书林 +9 位作者 李峰 朱顺明 刘伟 叶建东 单正平 刘少波 朱光耀 张荣 郑有炓 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期441-446,共6页
采用MOCVD方法在石英衬底上生长ZnO。实验使用二乙基锌(DEZn)为锌源,N2O作为氧和氮源,H2作为载气。采用PL和Raman光谱方法对ZnO样品进行表征,结果表明H2的加入大幅度减少薄膜中碳的掺入,明显改善了薄膜的光学质量。采用N2O离化技术,可... 采用MOCVD方法在石英衬底上生长ZnO。实验使用二乙基锌(DEZn)为锌源,N2O作为氧和氮源,H2作为载气。采用PL和Raman光谱方法对ZnO样品进行表征,结果表明H2的加入大幅度减少薄膜中碳的掺入,明显改善了薄膜的光学质量。采用N2O离化技术,可以进一步提高其带边峰的强度,抑制带内发光。XRD测量表明,生长的ZnO薄膜具有c轴择优取向。目前生长高质量N掺杂的p型ZnO薄膜是很困难的,而H2作为载气的加入明显改善了ZnO薄膜的光学性质,在生长过程中加入H2将为获得高质量N掺杂的p型ZnO薄膜提供一种途径。 展开更多
关键词 氧化锌 载气 金属有机源化学气相沉积 离化
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多尺度研究铜/金刚石界面电子及热传输特性
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作者 吴孔平 张冷 +5 位作者 王丹蓓 张鹏展 刘飞 叶建东 顾书林 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2023年第7期132-144,共13页
宽带隙半导体金刚石不仅具有突出的电学性质,而且还具有非常高的热导率,使其既可以耐高压又可以快速散热,因此,金刚石基大功率器件受到越来越广泛的关注.本文研究的过渡金属Cu不仅具有较高的功函数,而且在半导体工艺中被广泛使用,并且C... 宽带隙半导体金刚石不仅具有突出的电学性质,而且还具有非常高的热导率,使其既可以耐高压又可以快速散热,因此,金刚石基大功率器件受到越来越广泛的关注.本文研究的过渡金属Cu不仅具有较高的功函数,而且在半导体工艺中被广泛使用,并且Cu与金刚石都具有优异的散热性能.因此,Cu接触金刚石已经超出寻常电极的意义,这种金属-半导体结构既可以实现界面电子特性的裁剪,也可以实现热学设计与管理的功能.在本文中,第一性原理方法被用来研究Cu/金刚石界面的电子特性.结果表明,Cu/金刚石界面的肖特基势垒高度为1.60 eV,原子层分辨的电子态密度与Bader电荷转移分析揭示了在靠近界面一两个原子层内的电子发生了重新排布,说明界面诱导电荷的重构主要是来自金属诱导带隙态.此外,根据密度泛函微扰理论、结合准简谐近似与声子玻尔兹曼输运方程,对金属Cu、金刚石以及Cu/金刚石材料体系的热学特性开展研究.结果表明,室温下金刚石与Cu的热导率分别为2501.3和410.4 W m^(−1) K^(−1),并且在散射失配模型下得到Cu/金刚石界面热导为27.87 MW m^(−2) K^(−1),略低于最近报道的实验值,可能是由于界面附件的电子与声子耦合未加以考虑.另外,根据Hasselman-Johnson模型,得到了室温下Cu/金刚石材料体系的有效热导率、材料体系的尺寸以及金刚石体积占比三者之间的依赖关系.这些理论预测值与实验数据基本一致,说明过渡金属Cu作为表面覆盖层在金刚石基大功率电子器件方面具有重要的应用. 展开更多
关键词 肖特基势垒 静电势平均 边界热阻 有效热导率 密度泛函微扰论
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从阜新地区煤矸石中提取氧化铝的工艺研究 被引量:4
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作者 李景阳 郭宇 +3 位作者 吕兴旺 吴昆 程浩智 《天津化工》 CAS 2017年第3期16-19,共4页
本文以阜新地区的煤矸石为原料,研究利用酸提法从煤矸石中提取氧化铝的工艺。通过考察焙烧温度、焙烧时间、盐酸浓度、提取时间、提取温度和固液比等因素确定了从煤矸石中提取氧化铝的最佳工艺条件。结果表明:焙烧温度为700℃、焙烧时间... 本文以阜新地区的煤矸石为原料,研究利用酸提法从煤矸石中提取氧化铝的工艺。通过考察焙烧温度、焙烧时间、盐酸浓度、提取时间、提取温度和固液比等因素确定了从煤矸石中提取氧化铝的最佳工艺条件。结果表明:焙烧温度为700℃、焙烧时间为1 h、盐酸浓度为7mol·L-1、提取时间2 h、提取温度为80℃、固液比为1:5,氧化铝的提取率可达到35%。 展开更多
关键词 煤矸石 氧化铝 酸提法
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灌砂法检测路基压实度技术要点探讨 被引量:5
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作者 李小松 《山西建筑》 2015年第29期152-153,共2页
介绍了灌砂法的基本原理及适用范围,对量砂的选择与标定进行了研究,从选点及检测频率、试坑开挖、含水率测定等方面提出了灌砂法检测路基压实度的技术要点,以达到提高测试结果精度的目的。
关键词 灌砂法 压实度 路基 检测
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N掺杂ZnO的缺陷识别与物性调控 被引量:3
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作者 姚峥嵘 +4 位作者 许钟华 杜倩倩 朱顺明 叶建东 顾书林 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第25期2708-2720,共13页
ZnO由于其室温下激子稳定存在,因此是一种具备高效发光性能的宽禁带半导体材料.然而,由于ZnO材料本征缺陷种类繁多、性质复杂,且缺乏合适的p型掺杂剂,其出色的光电性能一直未得到应用.近年来,越来越多的研究工作指出,ZnO的材料性质极大... ZnO由于其室温下激子稳定存在,因此是一种具备高效发光性能的宽禁带半导体材料.然而,由于ZnO材料本征缺陷种类繁多、性质复杂,且缺乏合适的p型掺杂剂,其出色的光电性能一直未得到应用.近年来,越来越多的研究工作指出,ZnO的材料性质极大程度依赖于其中杂质缺陷的组成,因此对ZnO中缺陷的种类识别和调控手段的研究成为ZnO材料走向应用前待解决的重要问题.本文结合近年来的研究进展,介绍了ZnO中各类本征缺陷的性质和调控手段,指出了N掺杂ZnO体系中受主的主要来源,获得了抑制补偿施主和诱导浅受主的一系列有效方法.在此基础上,提出了等价元素-受主共掺技术,实现了ZnO纳米材料的p型掺杂及同质结LED,并进一步拓展了ZnO纳米材料应用于存储器和宽频光探测器. 展开更多
关键词 氧化锌 氮掺杂 本征缺陷 P型掺杂 光探测器
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沥青路面车辙病害分析与处治措施 被引量:4
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作者 李小松 《科技视界》 2016年第6期300-301,共2页
通过对国内某公路沥青路面车辙病害的调查,从车辙产生的机理角度对车辙产生的原因进行了分析,最后给出了处治该路段车辙病害的具体措施。
关键词 沥青路面 车辙 成因分析 处治措施
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Cd对纤锌矿ZnO极化特性的影响以及Zn_(0.75)Cd_(0.25)O/ZnO界面能带偏差的第一性原理研究 被引量:2
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作者 吴孔平 慈能达 +3 位作者 叶建东 朱顺明 顾书林 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2577-2582,共6页
基于第一性原理GGA+U方法研究了Zn1-xCdxO合金的晶格常数以及自发极化随Cd组分x的变化关系,其中极化特性的计算采用Berry-phase方法,同时计算了禁带宽度随Cd组分x的变化关系,并得到了能隙弯曲参数0.69。此外,通过计算宏观平均静电势的... 基于第一性原理GGA+U方法研究了Zn1-xCdxO合金的晶格常数以及自发极化随Cd组分x的变化关系,其中极化特性的计算采用Berry-phase方法,同时计算了禁带宽度随Cd组分x的变化关系,并得到了能隙弯曲参数0.69。此外,通过计算宏观平均静电势的方法得到了(5+3)Cd0.25Cd0.75O/Zn O超晶格界面处的价带偏差为0.13 e V,导带偏差与价带偏差的比值为4/13,并且Zn1-xCdxO/Zn O界面两侧能带呈现I型排列,这些研究结果将对Zn1-x CdxO/Zn O界面二维电子气的设计与优化起到重要作用。 展开更多
关键词 自发极化 静电势平均 能带偏差 锌镉氧合金
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p型N掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长与电学性质 被引量:1
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作者 顾书林 朱顺明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期341-344,共4页
通过采用O2与N2O按照一定的流量比作为反应气源,利用MOCVD方法实现了较低电阻率的N掺杂ZnO薄膜。实验分别研究了改变O2与N2O流量比和改变衬底温度对于薄膜电学性质的影响,并利用Raman光谱与Hall测试结果的比较分析了MOCVD系统中非故意... 通过采用O2与N2O按照一定的流量比作为反应气源,利用MOCVD方法实现了较低电阻率的N掺杂ZnO薄膜。实验分别研究了改变O2与N2O流量比和改变衬底温度对于薄膜电学性质的影响,并利用Raman光谱与Hall测试结果的比较分析了MOCVD系统中非故意掺杂碳元素及其相关杂质对薄膜的作用。实验结果和讨论为解决ZnO的p型掺杂难题提供了一条途径。 展开更多
关键词 氧化锌 金属有机物化学气相沉积 P型 氮掺杂
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N掺杂ZnO薄膜的接触特性 被引量:1
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作者 单正平 顾书林 +6 位作者 朱顺明 刘伟 刘少波 刘雪冬 张荣 郑有炓 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期503-507,共5页
氧化锌(ZnO)是一种直接带隙半导体材料,室温下带隙为3.37eV,激子束缚能为60meV。ZnO因其优越的光电特性在高亮度蓝紫光发光器件、紫外探测器件和短波长激子型激光器等方面具有广阔的应用前景。而要实现大功率的光电器件,稳定可靠的欧姆... 氧化锌(ZnO)是一种直接带隙半导体材料,室温下带隙为3.37eV,激子束缚能为60meV。ZnO因其优越的光电特性在高亮度蓝紫光发光器件、紫外探测器件和短波长激子型激光器等方面具有广阔的应用前景。而要实现大功率的光电器件,稳定可靠的欧姆接触是必需的。研究了氮气氛条件下,不同温度快速退火对氮掺杂ZnO样品的电学性质以及Ni/Au与其接触特性的影响。原生样品表现为弱的肖特基接触,适当温度退火后,由肖特基转成了欧姆接触,650℃退火后得到最小比接触电阻率8×10-4Ω·cm2。霍尔测量表明550℃快速退火后,样品的导电类型由p型转变成了n型。采用AES和GXRD分别研究了不同退火温度下Au、Ni、Zn、O的深度分布变化及退火后所生成的合金相。实验结果表明,退火所导致的薄膜电学性质的变化以及界面态和表面态的增加是接触特性变化的原因。 展开更多
关键词 N掺杂ZnO NI/AU 快速退火 欧姆接触
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金刚石(001)面在Cu多种覆盖度下的稳定构型与电子特性 被引量:1
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作者 吴孔平 张冷 +8 位作者 王丹蓓 肖柳 陈泽龙 张靖晨 张鹏展 刘飞 叶建东 顾书林 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第9期1640-1647,共8页
金刚石表面的电子特性很容易受到其表面覆盖物的影响,而目前表面稳定、性能优良的表面覆盖层依然处于研究与寻找中。本文研究的过渡金属Cu不仅在半导体微加工中被广泛使用,更由于过渡金属Cu与金刚石都具有优异的散热性能,因此Cu覆盖金... 金刚石表面的电子特性很容易受到其表面覆盖物的影响,而目前表面稳定、性能优良的表面覆盖层依然处于研究与寻找中。本文研究的过渡金属Cu不仅在半导体微加工中被广泛使用,更由于过渡金属Cu与金刚石都具有优异的散热性能,因此Cu覆盖金刚石已经超出寻常电极使用的意义,其金属-半导体结构更具有表面修饰剪裁电子特性的功能。文中通过使用密度泛函模拟方法,研究了Cu的不同覆盖度(0.25 ML、0.5 ML和1 ML)下金刚石(001)表面的单原子吸附能、稳定构型以及稳定体系的能带结构特性。结果表明,各种覆盖度下的Cu原子在金刚石(001)表面具有较稳定的表面吸附构型,并且过渡金属Cu的覆盖使得金刚石(001)表面产生了约为-0.5~-0.3 eV的负电子亲和势,肖特基势垒高度约为-0.16~0.04 eV,这些理论结果与实验结果基本一致。因此过渡金属Cu作为表面覆盖层在金刚石基电子发射器方面具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 金刚石表面 覆盖度 负电子亲和势 电子结构 第一性原理计算
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纤锌矿Zn_(1-x)Mg_xO极化特性的第一性原理GGA+U方法研究 被引量:1
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作者 吴孔平 王智 +4 位作者 陈昌兆 叶建东 朱顺明 顾书林 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期497-501,共5页
高迁移率的二维电子气在纤锌矿结构Zn1-xMgxO/Zn O异质结构中被发现,二维电子气的产生很可能是由于这两种材料界面上存在不连续性极化。本文基于第一性原理GGA+U方法研究了Zn1-xMgxO合金的自发极化随Mg组分x的变化关系,其中极化特性的... 高迁移率的二维电子气在纤锌矿结构Zn1-xMgxO/Zn O异质结构中被发现,二维电子气的产生很可能是由于这两种材料界面上存在不连续性极化。本文基于第一性原理GGA+U方法研究了Zn1-xMgxO合金的自发极化随Mg组分x的变化关系,其中极化特性的计算采用Berry-phase方法。我们将极化分为3个部分:电子极化、晶格极化以及压电极化,结果表明压电极化在总极化中起着主要作用。 展开更多
关键词 氧化锌 氧化镁锌 自发极化 Berry-phase方法
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Theoretical optoelectronic analysis of intermediate-band photovoltaic material based on ZnY_(1-x) O_x(Y = S,Se,Te) semiconductors by first-principles calculations 被引量:2
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作者 吴孔平 顾书林 +6 位作者 叶建东 朱顺明 周孟然 黄友锐 张荣 郑有炓 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第10期463-468,共6页
The structural, energetic, and electronic properties of lattice highly mismatched ZnY1-xOx (Y = S, Se, Te) ternary alloys with dilute O concentrations are calculated from first principles within the density function... The structural, energetic, and electronic properties of lattice highly mismatched ZnY1-xOx (Y = S, Se, Te) ternary alloys with dilute O concentrations are calculated from first principles within the density functional theory. We demonstrate the formation of an isolated intermediate electronic band structure through diluted O-substitute in zinc-blende ZnY (Y = S, Se, Te) at octahedral sites in a semiconductor by the calculations of density of states (DOS), leading to a significant absorption below the band gap of the parent semiconductor and an enhancement of the optical absorption in the whole energy range of the solar spectrum. It is found that the intermediate band states should be described as a result of the coupling between impurity O 2p states with the conduction band states. Moreover, the intermediate bands (IBs) in ZnTeO show high stabilization with the change of O concentration resulting from the largest electronegativity difference between O and Te compared with in the other ZnSO and ZnSeO. 展开更多
关键词 intermediate band (IB) electronic band structure optical properties ELECTRONEGATIVITY
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基于PATSNAP的贵州省内天麻专利信息分析 被引量:1
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作者 肖兴娟 陈梦兰 +4 位作者 杨洪 吴仙柳 刘丽萍 卢永仲 《中国科技信息》 2022年第8期11-14,共4页
对天然药用资源专利状况分析对其开发应用有着指导性的作用,通过对2020年之前申请的所有与天麻相关的贵州省专利数据信息进行统计分析,从专利的角度客观地反映出贵州省内的天麻开发利用的知识产权状况,并揭示开发利用天麻的产业方向。
关键词 药用资源 统计分析 专利信息分析 专利数据 知识产权状况 天麻 开发利用 贵州省
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Recent progress of the native defects and p-type doping of zinc oxide 被引量:2
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作者 顾书林 +3 位作者 叶建东 朱顺明 张荣 郑有炓 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第4期27-49,共23页
Zinc oxide(ZnO) is a compound semiconductor with a direct band gap and high exciton binding energy.The unique property,i.e.,high efficient light emission at ultraviolet band,makes ZnO potentially applied to the shor... Zinc oxide(ZnO) is a compound semiconductor with a direct band gap and high exciton binding energy.The unique property,i.e.,high efficient light emission at ultraviolet band,makes ZnO potentially applied to the short-wavelength light emitting devices.However,efficient p-type doping is extremely hard for ZnO.Due to the wide band gap and low valence band energy,the self-compensation from donors and high ionization energy of acceptors are the two main problems hindering the enhancement of free hole concentration.Native defects in ZnO can be divided into donor-like and acceptorlike ones.The self-compensation has been found mainly to originate from zinc interstitial and oxygen vacancy related donors.While the acceptor-like defect,zinc vacancy,is thought to be linked to complex shallow acceptors in group-VA doped ZnO.Therefore,the understanding of the behaviors of the native defects is critical to the realization of high-efficient p-type conduction.Meanwhile,some novel ideas have been extensively proposed,like double-acceptor co-doping,acceptor doping in iso-valent element alloyed ZnO,etc.,and have opened new directions for p-type doping.Some of the approaches have been positively judged.In this article,we thus review the recent(2011-now) research progress of the native defects and p-type doping approaches globally.We hope to provide a comprehensive overview and describe a complete picture of the research status of the p-type doping in ZnO for the reference of the researchers in a similar area. 展开更多
关键词 zinc oxide native defects p-type doping ACCEPTOR
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基于ZnTe_(1-x)Y_x(Y=O,S,Se)中间带光伏材料光电性能的第一性原理研究
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作者 吴孔平 鲁开林 +4 位作者 蒋建彗 顾书林 叶建东 朱顺明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第24期129-135,共7页
采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理方法计算了高失配三元合金ZnTe1-xYx(Y=O,S,Se)的能带结构、电子特性与光学性能。通过对半导体态密度的计算证实了在闪锌矿结构的ZnTe中掺杂O、S或Se原子可能得到独立的中间带结构,该结构可提高... 采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理方法计算了高失配三元合金ZnTe1-xYx(Y=O,S,Se)的能带结构、电子特性与光学性能。通过对半导体态密度的计算证实了在闪锌矿结构的ZnTe中掺杂O、S或Se原子可能得到独立的中间带结构,该结构可提高光伏材料对能量低于母体半导体带隙光子的吸收效率。研究结果表明,中间带在ZnTe1-xOx中是由掺杂的O原子的2p态与处于导带的Zn原子的4s态耦合而成,符合能带反交叉模型。另外,与ZnTe1-xSx和ZnTe1-xSex相比,随着掺杂O浓度的变化,ZnTe1-xOx的中间带表现出较高的稳定性主要是因为O与Te之间存在最大的电负性差。 展开更多
关键词 中间带(IB) 电负性差 电子能带结构 光学性质
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离子注入对ZnTe:O中间带光伏材料的微观结构及光学特性的影响
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作者 甄康 顾然 +9 位作者 叶建东 顾书林 任芳芳 朱顺明 黄时敏 唐东明 杨燚 张荣 郑有炓 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第23期267-273,共7页
II-VI和III-V族高失配合金半导体是新型高效中间带太阳电池的优选材料体系,但中间带的形成及其能带调控等关键问题仍未得到有效解决.采用氧离子注入方式,在非平衡条件下对碲化锌(Zn Te)单晶材料实现了等电子掺杂,深入研究了离子注入对Zn... II-VI和III-V族高失配合金半导体是新型高效中间带太阳电池的优选材料体系,但中间带的形成及其能带调控等关键问题仍未得到有效解决.采用氧离子注入方式,在非平衡条件下对碲化锌(Zn Te)单晶材料实现了等电子掺杂,深入研究了离子注入对Zn Te:O材料的微观结构和光学特性的影响.研究表明:注入合适浓度的氧离子(2.5×1018cm-3)将会形成晶格应变,并诱导1.80 e V(导带下0.45 e V)中间带的产生;而较高浓度(2.5×1020cm-3)的氧离子会导致Zn Te注入层表面非晶化,并增强与锌空位相关的深能级(~1.6 e V)发光.时间分辨光致发光结果显示,离子注入诱导形成的中间带主要是和氧等电子陷阱束缚的局域激子发光有关,载流子衰减寿命较长(129 ps).因此,需要降低晶格紊乱度和合金无序,实现电子局域态向扩展态的转变,从而有效调控中间带能带结构. 展开更多
关键词 中间带 离子注入 高失配合金 II-VI族半导体
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第一性原理的广义梯度近似+U方法的纤锌矿Zn(1-x)MgxO极化特性与Zn(0.75)Mg(0.25)O/ZnO界面能带偏差研究
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作者 吴孔平 齐剑 +4 位作者 彭波 叶建东 朱顺明 顾书林 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第18期432-438,共7页
在纤锌矿结构Zn_(1-x)Mg_xO/ZnO异质结构中发现了高迁移率的二维电子气(2DEG),2DEG的产生很可能是由于界面上存在不连续极化,而且2DEG通常也被认为是由极化电荷产生的结果.为了探索2DEG的形成机理及其产生的根源,研究Zn_(1-x)MgxO合金... 在纤锌矿结构Zn_(1-x)Mg_xO/ZnO异质结构中发现了高迁移率的二维电子气(2DEG),2DEG的产生很可能是由于界面上存在不连续极化,而且2DEG通常也被认为是由极化电荷产生的结果.为了探索2DEG的形成机理及其产生的根源,研究Zn_(1-x)MgxO合金的极化特性与ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO超晶格的能带排列是非常必要的.基于第一性原理广义梯度近似+U方法研究了Zn_(1-x)Mg_xO合金的自发极化随Mg组分x的变化关系,其中极化特性的计算采用Berry-phase方法.由于ZnO与Zn_(1-x)Mg_xO面内晶格参数大小相当,ZnO与Zn_(1-x)Mg_xO的界面匹配度优良,所以ZnO/Zn_(1-x)Mg_xO超晶格模型较容易建立.计算了Mg_(0.25)Zn_(0.75)O/ZnO超晶格静电势的面内平均及其沿着Z(0001)方向上的宏观平均.(5+3)Mg_(0.25)Zn_(0.75)O/ZnO超晶格拥有较大的尺寸,确保远离界面的Mg_(0.25)Zn_(0.75)O与ZnO区域与块体计算情况一致.除此之外,基于宏观平均为能量参考,计算得到Mg_(0.25)Zn_(0.75)O/ZnO超晶格界面处价带偏差为0.26 eV,并且导带偏差与价带偏差的比值处于合理区间,这与近来实验上报道的结果相符.除了ZnO在[0001]方向上产生自发极化外,由于在ZnO中引入Mg杂质会产生应变应力,导致Mg_xZn_(1-x)O层产生额外的极化值.这样必然会在Mg_(0.25)Zn_(0.75)O/Zn界面处产生非连续极化现象,促使单极性电荷在界面处积累,从而在Mg_(0.25)Zn_(0.75)O/Zn超晶格中产生内在电场.此外,计算了Mg_(0.25)Zn_(0.75)O/ZnO超晶格的能带排列,由于价带偏差△Ev=0.26 eV与导带偏差△Ec=0.33 eV,表明能带遵循I型排列.Mg_(0.25)Zn_(0.75)O/ZnO的这种能带排列方式足以让电子与空穴在势阱中产生禁闭作用.2DEG在电子学与光电子学领域都有重要应用,本文的研究结果将对Mg_(0.25)Zn_(0.75)O/ZnO界面2DEG的设计与优化中起到重要作用,并且可以作为研究其他Mg组分的Mg_xZn_(1-x)O/ZnO超晶格界面电子气特性的参考依据. 展开更多
关键词 氧化镁锌 自发极化 静电势平均 能带偏差
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Effect of oxygen on regulation of properties of moderately boron-doped diamond films
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作者 Dong-Yang Liu Li-Cai Hao +7 位作者 Wei-Kang Zhao Zi-Ang Chen Kun Tang Shun-Ming Zhu Jian-Dong Ye Rong Zhang You-Dou Zheng Shu-Lin Gu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期591-597,共7页
Regulation of oxygen on properties of moderately boron-doped diamond films is fully investigated.Results show that,with adding a small amount of oxygen(oxygen-to-carbon ratio<5.0%),the crystal quality of diamond is... Regulation of oxygen on properties of moderately boron-doped diamond films is fully investigated.Results show that,with adding a small amount of oxygen(oxygen-to-carbon ratio<5.0%),the crystal quality of diamond is improved,and a suppression effect of residual nitrogen is observed.With increasing ratio of O/C from 2.5%to 20.0%,the hole concentration is firstly increased then reduced.This change of hole concentration is also explained.Moreover,the results of Hall effect measurement with temperatures from 300 K to 825 K show that,with adding a small amount of oxygen,boron and oxygen complex structures(especially B_(3)O and B_(4)O)are formed and exhibit as shallow donor in diamond,which results in increase of donor concentration.With further increase of ratio of O/C,the inhibitory behaviors of oxygen on boron leads to decrease of acceptor concentration(the optical emission spectroscopy has shown that it is decreased with ratio of O/C more than 10.0%).This work demonstrates that oxygen-doping induced increasement of the crystalline and surface quality could be restored by the co-doping with oxygen.The technique could achieve boron-doped diamond films with both high quality and acceptable hole concentration,which is applicable to electronic level of usage. 展开更多
关键词 moderately boron doped diamond crystal quality suppression effect boron and oxygen complex structures
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Origin,characteristics,and suppression of residual nitrogen in MPCVD diamond growth reactor
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作者 Yan Teng Dong-Yang Liu +10 位作者 Kun Tang Wei-Kang Zhao Zi-Ang Chen Ying-Meng Huang Jing-Jing Duan Yue Bian Jian-Dong Ye Shun-Ming Zhu Rong Zhang You-Dou Zheng Shu-Lin Gu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期606-611,共6页
Unintentional nitrogen incorporation has been observed in a set of microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD)-grown samples.No abnormality has been detected on the apparatus especially the base pressure and fee... Unintentional nitrogen incorporation has been observed in a set of microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD)-grown samples.No abnormality has been detected on the apparatus especially the base pressure and feeding gas purity.By a comprehensive investigation including the analysis of the plasma composition,we found that a minor leakage of the system could be significantly magnified by the thermal effect,resulting in a considerable residual nitrogen in the diamond material.Moreover,the doping mechanism of leaked air is different to pure nitrogen doping.The dosage of several ppm of pure nitrogen can lead to efficient nitrogen incorporation in diamond,while at least thousands ppm of leaked air is required for detecting obvious residual nitrogen.The difference of the dosage has been ascribed to the suppression effect of oxygen that consumes nitrogen.As the unintentional impurity is basically detrimental to the controllable fabrication of diamond for electronic application,we have provided an effective way to suppress the residual nitrogen in a slightly leaked system by modifying the susceptor geometry.This study indicates that even if a normal base pressure can be reached,the nitrogen residing in the chamber can be“activated”by the thermal effect and thus be incorporated in diamond material grown by a MPCVD reactor. 展开更多
关键词 microwave plasma chemical vapor deposition DIAMOND residual nitrogen system leakage
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Significant suppression of residual nitrogen incorporation in diamond film with a novel susceptor geometry employed in MPCVD
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作者 Weikang Zhao Yan Teng +7 位作者 Kun Tang Shunming Zhu Kai Yang Jingjing Duan Yingmeng Huang Ziang Chen Jiandong Ye Shulin Gu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第11期593-598,共6页
This work proposed to change the structure of the sample susceptor of the microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD)reaction chamber,that is,to introduce a small hole in the center of the susceptor to study its... This work proposed to change the structure of the sample susceptor of the microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD)reaction chamber,that is,to introduce a small hole in the center of the susceptor to study its suppression effect on the incorporation of residual nitrogen in the MPCVD diamond film.By using COMSOL multiphysics software simulation,the plasma characteristics and the concentration of chemical reactants in the cylindrical cavity of MPCVD system were studied,including electric field intensity,electron number density,electron temperature,the concentrations of atomic hydrogen,methyl,and nitrogenous substances,etc.After introducing a small hole in the center of the molybdenum support susceptor,we found that no significant changes were found in the center area of the plasma,but the electron state in the plasma changed greatly on the surface above the susceptor.The electron number density was reduced by about 40%,while the electron temperature was reduced by about 0.02 eV,and the concentration of atomic nitrogen was decreased by about an order of magnitude.Moreover,we found that if a specific lower microwave input power is used,and a susceptor structure without the small hole is introduced,the change results similar to those in the surface area of the susceptor will be obtained,but the spatial distribution of electromagnetic field and reactant concentration will be changed. 展开更多
关键词 plasma simulation DIAMOND microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD) residual nitrogen
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