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微通道板分辨力提高研究 被引量:13
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作者 李晓峰 常乐 +3 位作者 曾进能 李廷涛 赵恒 汤文梅 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期114-120,共7页
在微通道板输出端镀制一层逸出功更高的金属膜以覆盖原有的镍铬电极,从而减小微通道板输出电子的动能以及在荧光屏上的弥散,提高微通道板的分辨力.实验结果表明,在微通道板的输出端镀制一层20 nm厚的银层(逸出功为4.3 eV)后,微光像增强... 在微通道板输出端镀制一层逸出功更高的金属膜以覆盖原有的镍铬电极,从而减小微通道板输出电子的动能以及在荧光屏上的弥散,提高微通道板的分辨力.实验结果表明,在微通道板的输出端镀制一层20 nm厚的银层(逸出功为4.3 eV)后,微光像增强器的分辨力从60 lp/mm提高到64 lp/mm,提高了6.6%;而镀制一层20 nm厚的铂层(逸出功为6.4 eV)后,超二代像增强器的分辨力从60 lp/mm提高到68 lp/mm,提高13%.在分辨力提高的同时,微通道板的增益会下降,镀银和镀铂后的微通道板,增益分别下降到原有值的74%和33%.金属膜的逸出功越高,分辨力提高的百分比越高,增益下降的百分比也越高.所以采用该方法来提高微通道板分辨力时,需要采用高增益的微通道板,从而使微通道板的增益下降以后仍能满足使用要求. 展开更多
关键词 微通道板 像增强器 分辨力 逸出功 二次电子发射系数 原子层沉积
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