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高性能高温压力传感器 被引量:5
1
作者 刘艳艳 姚素英 +3 位作者 张生才 张维新 曲宏伟 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期13-16,共4页
研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿。通过研 究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况,确定了制作高质量硅杯的工艺 条件。通过优化掺杂浓度,改善了传感... 研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿。通过研 究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况,确定了制作高质量硅杯的工艺 条件。通过优化掺杂浓度,改善了传感器的温度特性,基本上实现自补偿。测试结果表明,多晶硅压力传感器 综合精度达0.l%~0.2%FS,灵敏度温度系数绝对值小于3 × 10-4/℃,有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 TMAH 各向异性腐蚀 温度自补偿 高温压力传感器
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新型集成压力传感器的研究 被引量:3
2
作者 张维新 +2 位作者 曲宏伟 姚素英 李建文 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期435-439,共5页
本文介绍一种新型集成压力传感器.它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合,将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起,制作触发器型集成压力传感器.文章对该类传感器的工作原理,电路结构进行了理论分析,并对实验结果进... 本文介绍一种新型集成压力传感器.它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合,将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起,制作触发器型集成压力传感器.文章对该类传感器的工作原理,电路结构进行了理论分析,并对实验结果进行了讨论.重点分析了噪声对传感器特性的影响,在测试电路中加入调控三角波电压,可以改善传感器的特性. 展开更多
关键词 集成压力传感器 传感器 集成电路 压力传感器
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新型多晶硅压力传感器 被引量:6
3
作者 姚素英 +1 位作者 曲宏伟 李永生 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1997年第6期767-770,共4页
论述了一种新型多晶硅压力传感器.它采用矩形双岛硅膜结构,多晶硅作应变电阻,二氧化硅介质膜作隔离,用集成电路工艺和微机械加工技术制作.因而,传感器具有灵敏度高和工作温度高等特点.利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模... 论述了一种新型多晶硅压力传感器.它采用矩形双岛硅膜结构,多晶硅作应变电阻,二氧化硅介质膜作隔离,用集成电路工艺和微机械加工技术制作.因而,传感器具有灵敏度高和工作温度高等特点.利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模拟计算,实验结果与理论分析一致. 展开更多
关键词 压力传感器 双岛结构 多晶硅 灵敏度
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多晶硅压力传感器 被引量:4
4
作者 张维新 +1 位作者 姚素英 曲宏伟 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1996年第3期466-468,共3页
研制一种多晶硅压力传感器.它采用一氧化硅介质膜隔离代替p-n结隔离,提高了工作温度;通过控制掺杂浓度,改善了温度特性.实验表明,该传感器灵敏度高,工作温限高,温度漂移小.
关键词 多晶硅 压力传感器 压阻效应
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新型半导体集成磁敏传感器的研究 被引量:1
5
作者 姚素英 曲宏伟 《电子测量与仪器学报》 CSCD 1996年第4期19-23,共5页
本文论述了一种新颖的集成磁敏传感器。它是以互补三漏MOS晶体管为磁敏器件,采用半导体集成电路技术,将放大电路,偏置电路与磁敏元件集成在同一芯片上。该传感器具有灵敏度高、功耗低和体积小等特点。本文详细地分析了传感器的磁敏... 本文论述了一种新颖的集成磁敏传感器。它是以互补三漏MOS晶体管为磁敏器件,采用半导体集成电路技术,将放大电路,偏置电路与磁敏元件集成在同一芯片上。该传感器具有灵敏度高、功耗低和体积小等特点。本文详细地分析了传感器的磁敏原理和电路结构,并对传感器的磁敏特性进行了测量和讨论。实验结果基本符合理论设计。 展开更多
关键词 磁敏 传感器 MOS晶体管 集成电路
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TMAH在压力传感器制作中的应用 被引量:1
6
作者 刘洪 姚素英 +3 位作者 曲宏伟 张生才 张维新 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期609-612,共4页
介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。
关键词 四甲基氢氧化铵 压力传感器 溶液
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掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响 被引量:2
7
作者 石争 《传感器技术》 CSCD 1990年第6期10-12,共3页
本文对多晶硅电阻的温度系数进行了研究,随着掺杂浓度的增大,多晶硅电阻的温室系数从负值变到正值。实验结果可用Seto模型进行解释。
关键词 掺杂浓度 多晶硅电阻 温度系数
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多晶硅双岛压力传感器应力分布的模拟计算 被引量:1
8
作者 姚素英 曲宏伟 +2 位作者 张维新 李永生 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期68-70,共3页
本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律,优化多晶硅应变电阻的设计,弥补了多晶硅压阻系数低于单晶硅的缺点,研制出了双岛结构多晶硅压力传感器.传感器具有高灵敏度和高的工... 本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律,优化多晶硅应变电阻的设计,弥补了多晶硅压阻系数低于单晶硅的缺点,研制出了双岛结构多晶硅压力传感器.传感器具有高灵敏度和高的工作温度. 展开更多
关键词 双岛结构 有限元方法 多晶硅 灵敏度 压力传感器
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半导体高温压力传感器的研究 被引量:2
9
作者 姚素英 +1 位作者 曲宏伟 张维新 《测控技术》 CSCD 北大核心 1996年第2期16-17,共2页
介绍多晶硅压力传感器,由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离,因而提高了传感器的工作温度。实验表明,该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。
关键词 压阻效应 多晶硅 压力传感器 传感器
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双岛结构多晶硅压力传感器削角补偿技术的研究 被引量:1
10
作者 曲宏伟 张为 +3 位作者 姚素英 张维新 喻白莹 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 2000年第2期244-246,共3页
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术 .传感器采用的材料是双面抛光的 (1 0 0 )晶面硅片 ,制作中还利用了半导体集成电路平面工艺 .研制这种传感器遇到的主要问题是硅各向异性腐蚀的凸角削角问题 .为削... 详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术 .传感器采用的材料是双面抛光的 (1 0 0 )晶面硅片 ,制作中还利用了半导体集成电路平面工艺 .研制这种传感器遇到的主要问题是硅各向异性腐蚀的凸角削角问题 .为削角补偿设计了两种特殊形状的掩膜结构 ,在实验中获得了满意的效果 。 展开更多
关键词 削角补偿 双岛结构 多晶硅 压力传感器
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等离子体增强CVD氧化硅和氮化硅 被引量:3
11
作者 刘凌 田瑞芬 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1995年第4期563-566,共4页
利用红外吸收谱等微观分析对氧化硅和氨化硅薄膜的成分和结构进行了研究.采用高频C-V测试和准静态离子电流法测量了氧化硅、氯化硅及其复合膜的界面特性,结果表明PECVDSiO2-SiN双层结构的复合膜对半导体器件表面有良... 利用红外吸收谱等微观分析对氧化硅和氨化硅薄膜的成分和结构进行了研究.采用高频C-V测试和准静态离子电流法测量了氧化硅、氯化硅及其复合膜的界面特性,结果表明PECVDSiO2-SiN双层结构的复合膜对半导体器件表面有良好的钝化效果. 展开更多
关键词 氧化硅 氮化硅 CVD 半导体薄膜 等离子沉积
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多晶硅压力传感器温度自补偿性能研究 被引量:3
12
作者 姚素英 +1 位作者 曲宏伟 张维新 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1997年第3期294-298,共5页
介绍了多晶硅压力传感器的温度特性.重点研究了LPCVD·Poly-Si膜的掺杂浓度对传感器温度特性的影响.通过理论分析和实验研究,找到了实现传感器温度自补偿的最佳掺杂浓度值.获得了工作温度高、温度特性好的压力传感... 介绍了多晶硅压力传感器的温度特性.重点研究了LPCVD·Poly-Si膜的掺杂浓度对传感器温度特性的影响.通过理论分析和实验研究,找到了实现传感器温度自补偿的最佳掺杂浓度值.获得了工作温度高、温度特性好的压力传感器.实验结果与理论分析相符. 展开更多
关键词 多晶硅 温度特性 自补偿 压力传感器
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NOISE EFFECT ON CHARACTERISTICS OF FLIP FLOP SENSOR
13
作者 姚素英 +1 位作者 曲宏伟 张维新 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 1998年第1期84-87,共4页
This paper presents a new class of semiconductor integrated sensor which consists of sensitive components and flip flop circuit. The sensors have high sensitivity and digital output. This paper describes the operatin... This paper presents a new class of semiconductor integrated sensor which consists of sensitive components and flip flop circuit. The sensors have high sensitivity and digital output. This paper describes the operating principle and structure of the sensor. And noise effect on characteristics of the sensor is analysed in detail. The modulated effect of the triangular wave voltage is quantified. As an example, an integrated pressure sensor is introduced and the experimental results agree with the theoretical analyses. 展开更多
关键词 flip flop sensor semiconductor integrated noise digital output
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高温压力传感器温度特性的改善
14
作者 姚素英 +2 位作者 曲宏伟 张维新 张荣 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期326-330,共5页
分析研究了多晶硅电阻对半导体高温压力传感器温度特性的影响,找到了改善传感器温度性能的最佳途径。研制出工作温度为250°C、压力量程为0~1MPa、灵敏度大于40mV/mAMPa的传感器。
关键词 传感器 固体电路 多晶硅 压力传感器
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集成三漏CMOS磁敏传感器
15
作者 张维新 楼利民 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第9期588-590,共3页
本文介绍了一种新颖的集成三漏CMOS磁敏传感器。报道了该传感器的电路原理、版图设计及其研制结果。它具有结构简单、磁灵敏度高和使用方便等特点,且制造工艺与标准铝栅CMOS工艺完全兼容,成本低、易于批量生产,具有高的性能/价格比。
关键词 磁敏传感器 传感器 CMOS MOSFET
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触发器型压力传感器的研究
16
作者 张维新 王建华 《电子测量与仪器学报》 CSCD 1996年第2期47-51,共5页
本文报道了一种触发器型压力传感器,对这类传感器的电路结构和工作原理进行了理论分析。详细讨论了影响传感器特性的四种因素。定量地分析了调控三角波电压对传感器测量灵敏度和线性范围的影响。对实验结果进行了讨论,理论分析与实验... 本文报道了一种触发器型压力传感器,对这类传感器的电路结构和工作原理进行了理论分析。详细讨论了影响传感器特性的四种因素。定量地分析了调控三角波电压对传感器测量灵敏度和线性范围的影响。对实验结果进行了讨论,理论分析与实验结果基本一致。 展开更多
关键词 压力传感器 双稳态触发器 灵敏度
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MOS触发器型集成压力传感器
17
作者 曲宏伟 +2 位作者 姚素英 张维新 王建华 《微电子学》 CAS CSCD 1996年第4期240-243,共4页
触发器型压力传感器具有灵敏度高、压力测量线性范围可调和能输出数字量等特点。论述了这类新型传感器的工作原理和特性,并重点分析了噪声对传感器特性的影响。为了改善传感器的特性,实验采用三角波调控电压,可以有效地调节传感器的... 触发器型压力传感器具有灵敏度高、压力测量线性范围可调和能输出数字量等特点。论述了这类新型传感器的工作原理和特性,并重点分析了噪声对传感器特性的影响。为了改善传感器的特性,实验采用三角波调控电压,可以有效地调节传感器的测量灵敏度和线性范围。 展开更多
关键词 传感器 压力传感器 触发器 三角波电压
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