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题名压电微泵的特性测试与分析
被引量：1
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作者
韩熠
毛明健
李廷华
陈李
吴俊
朱东来
徐溢
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机构
云南中烟工业有限责任公司技术中心
重庆大学新型微纳器件与系统重点学科实验室
光电技术及系统教育部重点实验室
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出处
《电子器件》
CAS
北大核心
2019年第1期37-40,共4页
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基金
新型烟草产品开发前沿技术研究及应用项目(2017XY01)
中央高校基本科研项目(106112017CDJPT120002)
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文摘
本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试,利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵,采用高精度电子秤测量固定时间(10 s)内微泵输送液体的质量大小;并对工作特性进行相关分析,总结了压电微泵的输送流量随液体黏度、驱动电压和驱动频率之间的关系。结果表明,在相同的驱动条件下,液体黏度越大,压电微泵输送的流量越小;在固定的驱动电压下,当驱动频率为泵膜的谐振频率时压电微泵输送的流量最大,高于或低于驱动频率时输送的流量越来越小;在固定的驱动频率下(谐振频率),压电微泵输送的流量随驱动电压的升高而增加。研究结果为压电微泵的优化设计和实际应用提供了依据。
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关键词
微机电系统
微泵
流量测试
压电
黏度
有阀
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Keywords
MEMS
micropump
flux test
piezoelectric
viscosity
valvate
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分类号
TH137
[机械工程—机械制造及自动化]
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