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航空发动机叶片用陶瓷型芯的光固化增材制造研究现状 被引量：3
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作者 陈超越 殷宇豪 +4 位作者 徐松哲 帅三三 胡涛 王江 任忠鸣 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2022年第1期67-76,共10页
随着对高推重比和高效率航空发动机日益增长的需求,发动机叶片正朝着复杂空心结构的方向发展,而这对高性能复杂结构的陶瓷型芯提出了更高的要求。与此同时,基于光固化原理的增材制造技术可以实现无模具条件下的高精度、快速以及综合性... 随着对高推重比和高效率航空发动机日益增长的需求,发动机叶片正朝着复杂空心结构的方向发展,而这对高性能复杂结构的陶瓷型芯提出了更高的要求。与此同时,基于光固化原理的增材制造技术可以实现无模具条件下的高精度、快速以及综合性能优异的陶瓷型芯制备。然而,目前基于光固化增材制造的陶瓷型芯制备工艺依旧面临控制尺寸精度、优化脱脂烧结工艺和控制裂纹变形等问题。因此,在介绍适用于陶瓷零件制备的光固化增材制造技术原理和特点的基础上,探讨了光固化陶瓷浆料制备及烧结工艺的研究进展,并着重介绍光固化陶瓷型芯的综合性能。最后,介绍了光固化型芯/型壳在航空发动机叶片精密铸造中的应用实例,并对进一步的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 光固化增材制造 陶瓷型芯 浆料 矿化剂 陶瓷烧结
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TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN铁电电容器的原位生长与表征
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作者 殷宇豪 沈阳 +5 位作者 王虎 陈肖 邵林 华文宇 王娟 崔义 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2022年第5期89-96,共8页
HfO;基铁电电容器,特别是TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN金属-绝缘体-金属电容器,由于其良好的稳定性、高性能和互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容性,在新一代非易失性存储器中有着广阔的应用前景。由于TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN电容器... HfO;基铁电电容器,特别是TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN金属-绝缘体-金属电容器,由于其良好的稳定性、高性能和互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容性,在新一代非易失性存储器中有着广阔的应用前景。由于TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN电容器的电性能与Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)铁电薄膜与TiN电极层界面质量相关,因此控制TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN异质结构的制备和表征至关重要。本文报道了一种三明治结构:Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)铁电薄膜夹在两个TiN电极之间的新的制备方法,通过超高真空系统互连的原子层沉积(ALD)和磁控溅射设备实现。原位生长和表征结果表明,ZrO_(2)掺杂浓度和快速热退火温度可以调节TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN异质结的铁电性能,并能很好地被互连系统监控。在该体系中,通过在HfO2中掺杂50%(molar fraction,x)ZrO_(2)并且在600℃下快速热退火(RTA),获得了21.5μC·cm^(-2)的高剩余极化率和1.35 V的低矫顽电压。 展开更多
关键词 铁电 表面 界面 HFO 真空互联 原位
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