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非晶态碳薄膜对金属二次电子发射的影响
1
作者
胡笑钏
刘样溪
+1 位作者
楚坤
段
潮
锋
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期291-299,共9页
非晶态碳薄膜由于具有极低的二次电子发射系数(secondary electron yield,SEY),在真空微波器件与设备异常放电领域引起了广泛关注.然而,非晶态碳薄膜对二次电子发射影响的动态过程及微观机理仍缺乏了解.本文采用Monte Carlo方法,建立了C...
非晶态碳薄膜由于具有极低的二次电子发射系数(secondary electron yield,SEY),在真空微波器件与设备异常放电领域引起了广泛关注.然而,非晶态碳薄膜对二次电子发射影响的动态过程及微观机理仍缺乏了解.本文采用Monte Carlo方法,建立了Cu表面非晶态碳薄膜的二次电子发射数值模拟模型,能够精确地模拟电子与薄膜及基底材料的散射及二次电子发射的微观物理过程.结果表明,随着薄膜厚度从0 nm增加至1.5 nm时,SEY峰值下降了大约20%;继续增大厚度,SEY峰值不再下降.然而,当薄膜厚度大于0.9 nm时,SEY曲线呈现出双峰形态,但随着薄膜厚度增加至3 nm,第二峰逐渐减弱甚至消失.电子散射轨迹和二次电子能量分布结果,表明这种双峰现象是由于电子在两种材料中散射所致.相比以往模型,所提模型考虑了功函数的变化以及界面势垒对电子散射路径的影响.该模型从微观层面上解释了SEY曲线双峰现象形成的原因,相关的计算结果为非晶态碳薄膜对SEY的抑制规律提供了理论预测.
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关键词
二次电子发射
非晶态碳薄膜
金属
Monte
Carlo模拟
下载PDF
职称材料
题名
非晶态碳薄膜对金属二次电子发射的影响
1
作者
胡笑钏
刘样溪
楚坤
段
潮
锋
机构
长安大学能源与电气工程学院
西安交通大学医学部
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期291-299,共9页
基金
中国博士后科学基金(批准号:2021M702629)
陕西省自然科学基础研究计划(批准号:2023-JC-YB-004)
中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:300102383103,300102383203)资助的课题.
文摘
非晶态碳薄膜由于具有极低的二次电子发射系数(secondary electron yield,SEY),在真空微波器件与设备异常放电领域引起了广泛关注.然而,非晶态碳薄膜对二次电子发射影响的动态过程及微观机理仍缺乏了解.本文采用Monte Carlo方法,建立了Cu表面非晶态碳薄膜的二次电子发射数值模拟模型,能够精确地模拟电子与薄膜及基底材料的散射及二次电子发射的微观物理过程.结果表明,随着薄膜厚度从0 nm增加至1.5 nm时,SEY峰值下降了大约20%;继续增大厚度,SEY峰值不再下降.然而,当薄膜厚度大于0.9 nm时,SEY曲线呈现出双峰形态,但随着薄膜厚度增加至3 nm,第二峰逐渐减弱甚至消失.电子散射轨迹和二次电子能量分布结果,表明这种双峰现象是由于电子在两种材料中散射所致.相比以往模型,所提模型考虑了功函数的变化以及界面势垒对电子散射路径的影响.该模型从微观层面上解释了SEY曲线双峰现象形成的原因,相关的计算结果为非晶态碳薄膜对SEY的抑制规律提供了理论预测.
关键词
二次电子发射
非晶态碳薄膜
金属
Monte
Carlo模拟
Keywords
secondary electron emission
amorphous carbon film
metal
Monte Carlo simulation
分类号
O462.2 [理学—电子物理学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非晶态碳薄膜对金属二次电子发射的影响
胡笑钏
刘样溪
楚坤
段
潮
锋
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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