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DY－5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题被引量：1: 1; 作者武丰煜唐文剑 +1 位作者张福安安秉谦《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1995年第2期48-53,共6页; 本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束曝光机电子光学柱所做的工作。最后给出了一组试验结果。; 关键词电子束曝光电子光学柱试验; 下载PDF 职称材料

DY－5型亚微米电子束曝光机多座标系重合的调校技术: 2; 作者武丰煜唐文剑张福安《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1994年第4期31-36,共6页; 在电子束曝光机中，工件传动台、电磁偏转场及标记三者相对应的座标轴是否重合，是影响图形拼接精度的重要因素之一。本文概要地介绍了调校三座标系相互重合的方法，并给出了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机调校结果。; 关键词电子束曝光机微电子束座标轴; 下载PDF 职称材料

电子束曝光系统中的校正技术: 3; 作者武丰煜《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1995年第3期42-47,共6页; 电子束曝光系统中采用了多项校正技术，才得以便之渐臻完善，成为微细加工领域中一种非常重要的工艺装备。本文概要地介绍了这些校正技术的原理、适用范围以及校正方法的要点。; 关键词电子束曝光系统场畸变校正半导体器件; 下载PDF 职称材料

DY－5型亚微米电子束曝光机偏转系统: 4; 作者唐文剑武丰煜 +1 位作者唐辉陈建平《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1996年第3期38-42,53,共6页; 本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束曝光机的偏转系统的构成、特点及结果。; 关键词电子束暴光机偏转系统亚微米; 下载PDF 职称材料

DY－5型亚微米电子束曝光机: 5; 作者武丰煜顾文琪《微细加工技术》 1996年第1期1-6,共6页; 本文介绍了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机的主要技术性能：最细特征线宽０．４μｍ；图形位置精度及拼接精度优于±０．１５μｍ；扫描场尺寸１×１ｍｍ２和２×２ｍｍ２；最高扫描速度１ＭＨｚ；可加工１００×１００... 展开更多; 关键词电子束曝光机光刻曝光机半导体器件; 下载PDF 职称材料

电子束曝光机用背散射电子检测装置的研制及应用: 6; 作者武丰煜张福安《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1989年第2期46-50,共5页; 在电子束曝光系统中,背散射电子检测器是重要部件之一。本文简要地介绍了该装置的工作原理、功能及检测系统概况,并给出了多种应用举例。; 关键词电子束曝光机背散射电子检测装置; 下载PDF 职称材料

电子束曝光机用背散射电子检测装置的研制及应用被引量：1: 7; 作者武丰煜张福安《LSI制造与测试》 1989年第4期27-31,共5页; 关键词电子束曝光机电子检测装置散射; 下载PDF 职称材料

书画作品: 8; 作者耿立文吴思章 +9 位作者原健田洪兰邱忠兴周晓云王洪武余力武丰煜刘桂云白素菊游云《老同志之友（下半月）》 2023年第1期64-64,共1页; 原文传递

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