期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到6篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
基于MEMS技术的微波滤波器研究进展 被引量：4
1
作者 欧阳炜霞 张永华 +2 位作者 王超 郭兴龙 赖宗声 《微纳电子技术》 CAS 2008年第4期214-218,234,共6页
基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结... 基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结,综述了近几年MEMS滤波器的研究进展,包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要,具有重要的现实意义。 展开更多
关键词 MEMS技术 硅体微加工 UGA技术 微波滤波器 可调滤波器
下载PDF
MEMS集成滤波器技术 被引量：4
2
作者 张永华 欧阳炜霞 +3 位作者 刘蕾 郭兴龙 赖宗声 王硕 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第7期5-8,共4页
滤波器是频率转换系统(如,调谐电路、接收器)的基本构成模块。借助于MEMS技术实现的滤波器不仅带来插入损耗、功耗、线性等性能的改善,也有利于将整个通信前端集成到单一芯片上。综述了MEMS可调滤波器的研究进展。与单一利用MEMS电容的... 滤波器是频率转换系统(如,调谐电路、接收器)的基本构成模块。借助于MEMS技术实现的滤波器不仅带来插入损耗、功耗、线性等性能的改善,也有利于将整个通信前端集成到单一芯片上。综述了MEMS可调滤波器的研究进展。与单一利用MEMS电容的调变实现频率可调的滤波器相比,分形可调MEMS滤波技术有更小的插入损耗和更宽的调频范围。 展开更多
关键词 微电子机械系统 开关 变容器 可调滤波器 可重构滤波器
下载PDF
一种MEMS复合牺牲层工艺的研究 被引量：1
3
作者 王超 张永华 +2 位作者 郭兴龙 欧阳炜霞 赖宗声 《电子工艺技术》 2009年第3期125-127,136,共4页
以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果... 以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果,减小了刻蚀的时间。此研究应用在表面微细加工工艺中,对MEMS加工工艺具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 射频微机械开关 牺牲层 聚酰亚胺 正胶 刻蚀
下载PDF
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作 被引量：1
4
作者 张永华 欧阳炜霞 +3 位作者 汪红 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 《微细加工技术》 2007年第5期56-60,共5页
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难。对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究。经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材... 电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难。对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究。经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材料和多元结构形式的一体化集成加工。 展开更多
关键词 微机电系统 射频开关 双稳态 电磁驱动 集成加工
下载PDF
基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
5
作者 刘蕾 郭兴龙 +1 位作者 欧阳炜霞 赖宗声 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1020-1024,共5页
介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小... 介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小取决于MEMS开关的状态。实验结果表明,当MEMS开关受到激励时,低通滤波器的3-dB截止频率从12.5GHz转换至6.1GHz,带内纹波小于0.5dB,带外抑制大于40dB,开关的驱动电压在25V左右。 展开更多
关键词 微机械系统(MEMS) 可调滤波器 共平面波导(CPW)结构 多触点MEMS开关
下载PDF
无线通讯用硅基微小天线
6
作者 郭兴龙 金妍 +2 位作者 刘蕾 欧阳炜霞 赖宗声 《中国科学（E辑）》 CSCD 北大核心 2008年第8期1348-1352,共5页
采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对... 采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对天线的制作工艺进行了详细的介绍,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容. 展开更多
关键词 微小天线 高电阻率硅片 IC工艺
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部