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感应耦合等离子体干法刻蚀锑化铟薄膜研究 被引量：2
1
作者 陈俊芳 吴先球 +4 位作者 孙番典 赵智昊 樊双利 符斯列 黄钊洪 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期386-389,共4页
应用感应耦合等离子体技术首次实现了对锑化铟薄膜的干法刻蚀。朗缪尔探针诊断结果表明 :射频电源功率为 2 0 0 W时 ,在刻蚀样品附近的等离子体离子密度最大达 6.71 70× 1 0 1 0 cm- 3。以 CCl F2 为刻蚀气体 ,进气流量 2 m L/min... 应用感应耦合等离子体技术首次实现了对锑化铟薄膜的干法刻蚀。朗缪尔探针诊断结果表明 :射频电源功率为 2 0 0 W时 ,在刻蚀样品附近的等离子体离子密度最大达 6.71 70× 1 0 1 0 cm- 3。以 CCl F2 为刻蚀气体 ,进气流量 2 m L/min,RF功率 2 0 0 W,等离子体反应刻蚀运行气压 7.98Pa时 ,对 In Sb-In薄膜进行了感应耦合等离子体干法刻蚀 ,获得刻蚀图形 ,宽深比为 展开更多
关键词 干法刻蚀 等离子体 锑化铟薄膜
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中药预防草酸钙尿路结石复发对照观察 被引量：3
2
作者 樊双利 《实用中医内科杂志》 2012年第13期49-50,共2页
[目的]观察草酸钙尿路结石采用中药预防复发疗效。[方法]选择我院2010年2月至2012年2月收治的100例草酸钙尿路结石患者,分为治疗组和对照组,每组50例。对照组实施常规治疗,治疗组采取中药对结石复发进行防控。治疗60d,随访6个月判定疗效... [目的]观察草酸钙尿路结石采用中药预防复发疗效。[方法]选择我院2010年2月至2012年2月收治的100例草酸钙尿路结石患者,分为治疗组和对照组,每组50例。对照组实施常规治疗,治疗组采取中药对结石复发进行防控。治疗60d,随访6个月判定疗效。[结果]治疗组有效率优于对照组(P<0.05),治疗组复发率低于对照组(P<0.05)。治疗组尿液指标尿草酸、尿酸、尿钙值水平明显低于对照组(P<0.05)。[结论]草酸钙尿路结石采用中药辨证加减应用,可显著提高临床效果,降低疾病复发率,改善临床症状,提高患者生存质量。 展开更多
关键词 草酸钙尿路结石 中药 复发
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温胃舒配合三联疗法治疗脾胃虚寒型消化性溃疡随机对照临床研究 被引量：3
3
作者 樊双利 《实用中医内科杂志》 2012年第12S期26-27,共2页
[目的]探讨温胃舒配合三联疗法治疗脾胃虚寒型消化性溃疡的临床效果。[方法]选取64例在我院诊治的脾胃虚寒型消化性溃疡患者,随机分成两组,治疗组32例采用温胃舒配合三联疗法进行治疗,对照组32例采用单纯的三联疗法进行治疗,跟踪观察两... [目的]探讨温胃舒配合三联疗法治疗脾胃虚寒型消化性溃疡的临床效果。[方法]选取64例在我院诊治的脾胃虚寒型消化性溃疡患者,随机分成两组,治疗组32例采用温胃舒配合三联疗法进行治疗,对照组32例采用单纯的三联疗法进行治疗,跟踪观察两组患者的治疗过程,同时记录所有的实验数据。[结果]治疗组治愈15例,显效8例,好转6例,无效3例,治疗有效率为90.60%;对照组治愈12例,显效5例,好转6例,无效9例,治疗有效率为71.90%。[结论]临床上治疗采用温胃舒配合三联疗法治疗脾胃虚寒型消化性溃疡效果显著,值得在临床推广应用。 展开更多
关键词 消化性溃疡 温胃舒 三联疗法 随机对照 临床研究
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氮化硅钝化膜的制备和应用
4
作者 陈俊芳 吴先球 +2 位作者 樊双利 王鑫 任兆杏 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期102-105,共4页
利用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积技术在超高频大功率晶体管芯片表面沉积Si3N4钝化膜,实现了芯片的Si3N4薄膜钝化。对钝化前后的芯片测试表明,芯片经钝化后电特性有较好地改善,提高了反向击穿电压,降低了反向漏电流,提高了芯... 利用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积技术在超高频大功率晶体管芯片表面沉积Si3N4钝化膜,实现了芯片的Si3N4薄膜钝化。对钝化前后的芯片测试表明,芯片经钝化后电特性有较好地改善,提高了反向击穿电压,降低了反向漏电流,提高了芯片的成品率。 展开更多
关键词 光电子学 ECR—PECVD 氮化硅钝化膜 芯片
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