期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
4
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究
被引量：
5
1
作者
刘玉岭
李嘉席
+1 位作者
檀柏梅
梁
存
龙
《电子工业专用设备》
2007年第10期17-21,共5页
提出了在碱性浆料中ULSI多层布线导体铜化学机械抛光的模型,对铜CMP所需达到的平面化、选择性、抛光速率控制、浆料的稳定及洁净度、抛光液成分的优化选择进行了实验研究。
关键词
化学机械抛光
多层布线
甚大规模集成电路
铜浆料(抛光液)
下载PDF
职称材料
ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究
被引量：
2
2
作者
刘玉岭
李嘉席
+1 位作者
檀柏梅
梁
存
龙
《半导体情报》
2000年第5期41-45,61,共6页
提出了在碱性浆料中 UL SI多层布线导体铜化学机械抛光的模型 ,对铜 CMP所需达到的平面化、选择性、抛光速率控制、浆料的稳定及洁净度、抛光液成分的优化选择进行了实验研究。
关键词
多层布线
甚大规模集成电路
浆料
抛光液
导体铜
下载PDF
职称材料
镶嵌钨的化学机械抛光的研究
被引量：
2
3
作者
刘玉岭
杨鸿波
+1 位作者
檀柏梅
梁
存
龙
《半导体杂志》
2000年第4期40-45,50,共7页
研究的是ULSI镶嵌钨CMP的选择性 ,化学与机械作用匹配 ,浆料的悬浮及存放和后清洗等问题。
关键词
ULSI
化学机械抛光
钨
集成电路
下载PDF
职称材料
守住你的“精灵”——浅议中小企业实施客户关系管理(CRM)
4
作者
梁
存
龙
陆彤
《河北企业》
2002年第8期21-23,共3页
麦道航空公司CEO Dorald JCarty有句至理名言'自由市场竞争的精灵就是客户,是他们决定了谁输谁赢'。基于这种理念,自从1997年Gartnet Grarp提出Cus-tomer Relationship Management(客户关系管理,简作CRM)以来,全球的CRM市场呈...
麦道航空公司CEO Dorald JCarty有句至理名言'自由市场竞争的精灵就是客户,是他们决定了谁输谁赢'。基于这种理念,自从1997年Gartnet Grarp提出Cus-tomer Relationship Management(客户关系管理,简作CRM)以来,全球的CRM市场呈现爆炸性成长。有资料显示,2000年和2001年的全球的CRM市场增长了100%,预示了CRM的旺盛生机和在现代市场竞争中的巨大作用。然而,'CRM热'仅局限在一个小范围内和新闻媒体的圈子里。
展开更多
关键词
中小企业
客户关系管理
CRM
下载PDF
职称材料
题名
ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究
被引量：
5
1
作者
刘玉岭
李嘉席
檀柏梅
梁
存
龙
机构
河北工业大学
河北冀雅电子有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2007年第10期17-21,共5页
文摘
提出了在碱性浆料中ULSI多层布线导体铜化学机械抛光的模型,对铜CMP所需达到的平面化、选择性、抛光速率控制、浆料的稳定及洁净度、抛光液成分的优化选择进行了实验研究。
关键词
化学机械抛光
多层布线
甚大规模集成电路
铜浆料(抛光液)
Keywords
CMP
Multilayerwiring
ULSI
Copper
Slurry
分类号
TN405.97 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究
被引量：
2
2
作者
刘玉岭
李嘉席
檀柏梅
梁
存
龙
机构
河北工业大学
河北冀雅电子有限公司
出处
《半导体情报》
2000年第5期41-45,61,共6页
文摘
提出了在碱性浆料中 UL SI多层布线导体铜化学机械抛光的模型 ,对铜 CMP所需达到的平面化、选择性、抛光速率控制、浆料的稳定及洁净度、抛光液成分的优化选择进行了实验研究。
关键词
多层布线
甚大规模集成电路
浆料
抛光液
导体铜
Keywords
CMP Multilayer wiring ULSI Copper Slurry
分类号
TN470.2 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
镶嵌钨的化学机械抛光的研究
被引量：
2
3
作者
刘玉岭
杨鸿波
檀柏梅
梁
存
龙
机构
河北工业大学天津
河北冀雅电子有限公司
出处
《半导体杂志》
2000年第4期40-45,50,共7页
基金
国家自然科学重大基金资助项目!( 698762 60 )
文摘
研究的是ULSI镶嵌钨CMP的选择性 ,化学与机械作用匹配 ,浆料的悬浮及存放和后清洗等问题。
关键词
ULSI
化学机械抛光
钨
集成电路
Keywords
ULSI CMP
Global planarization
Post CMP cleaning
Tungsten
分类号
TN470.52 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
守住你的“精灵”——浅议中小企业实施客户关系管理(CRM)
4
作者
梁
存
龙
陆彤
出处
《河北企业》
2002年第8期21-23,共3页
文摘
麦道航空公司CEO Dorald JCarty有句至理名言'自由市场竞争的精灵就是客户,是他们决定了谁输谁赢'。基于这种理念,自从1997年Gartnet Grarp提出Cus-tomer Relationship Management(客户关系管理,简作CRM)以来,全球的CRM市场呈现爆炸性成长。有资料显示,2000年和2001年的全球的CRM市场增长了100%,预示了CRM的旺盛生机和在现代市场竞争中的巨大作用。然而,'CRM热'仅局限在一个小范围内和新闻媒体的圈子里。
关键词
中小企业
客户关系管理
CRM
分类号
F276.3 [经济管理—企业管理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究
刘玉岭
李嘉席
檀柏梅
梁
存
龙
《电子工业专用设备》
2007
5
下载PDF
职称材料
2
ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究
刘玉岭
李嘉席
檀柏梅
梁
存
龙
《半导体情报》
2000
2
下载PDF
职称材料
3
镶嵌钨的化学机械抛光的研究
刘玉岭
杨鸿波
檀柏梅
梁
存
龙
《半导体杂志》
2000
2
下载PDF
职称材料
4
守住你的“精灵”——浅议中小企业实施客户关系管理(CRM)
梁
存
龙
陆彤
《河北企业》
2002
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
