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用深能级瞬态谱方法研究多晶硅薄膜的晶粒界面态
被引量：
2
1
作者
舒畅
包宗明
桑野
博
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第5期263-270,共8页
本文发展了一个改进的深能级瞬态谱方法——C^2DLTS方法,并将该方法应用于硅离于注入再结晶法处理的多晶硅薄膜的晶粒界面态的研究。实验结果表明:多晶硅薄膜的晶粒界面态和硅离子注入后多晶硅薄膜的晶粒组成结构是密切相关的。
关键词
晶粒界面态
多晶硅
薄膜
C^2DLTS法
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职称材料
分次硅离子注入再结晶多晶硅薄膜
2
作者
舒畅
包宗明
桑野
博
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期344-348,共5页
本文提出了用分次硅离子注入再结晶法来处理多晶硅薄膜,并用透射电镜(TEM)和X射线衍射技术观察分析了处理后的多晶硅薄膜的晶粒尺寸和薄膜组成结构。结果表明:分次注入法确实有助于获得晶粒尺寸。大,同时晶粒晶向一致性好的多晶硅薄膜。
关键词
硅
离子注入
再结晶
多晶硅薄膜
晶向
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职称材料
人乳头瘤病毒感染的食道癌发病意义
3
作者
桑野
博
行
《日本医学介绍》
1999年第5期214-215,共2页
人乳头瘤病毒（ｈｕｍａｎｐａｐｉｌｏｍａｖｉｒｕｓ，ＨＰＶ）可为宫颈癌和肛门生殖器癌等鳞状上皮癌的原因这一事实业已确定。１９８２年Ｓｙｒｉａｎｅｎ首先报告占鳞状上皮癌大部分的食道癌具有ＨＰＶ感染特征的组织学改变以来，...
人乳头瘤病毒（ｈｕｍａｎｐａｐｉｌｏｍａｖｉｒｕｓ，ＨＰＶ）可为宫颈癌和肛门生殖器癌等鳞状上皮癌的原因这一事实业已确定。１９８２年Ｓｙｒｉａｎｅｎ首先报告占鳞状上皮癌大部分的食道癌具有ＨＰＶ感染特征的组织学改变以来，陆续报告了许多有关这方面的文献。作...
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关键词
人乳头瘤病毒
感染
食道癌
病理
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职称材料
题名
用深能级瞬态谱方法研究多晶硅薄膜的晶粒界面态
被引量：
2
1
作者
舒畅
包宗明
桑野
博
机构
复旦大学
日本庆应义塾大学
出处
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第5期263-270,共8页
文摘
本文发展了一个改进的深能级瞬态谱方法——C^2DLTS方法,并将该方法应用于硅离于注入再结晶法处理的多晶硅薄膜的晶粒界面态的研究。实验结果表明:多晶硅薄膜的晶粒界面态和硅离子注入后多晶硅薄膜的晶粒组成结构是密切相关的。
关键词
晶粒界面态
多晶硅
薄膜
C^2DLTS法
Keywords
Deep level transient spectroscopy, Grain-boundary states, Polysilicon films, Silicon ion implantation and
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
分次硅离子注入再结晶多晶硅薄膜
2
作者
舒畅
包宗明
桑野
博
机构
复旦大学
日本庆应义塾大学
出处
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期344-348,共5页
基金
上海市青年科学基金
文摘
本文提出了用分次硅离子注入再结晶法来处理多晶硅薄膜,并用透射电镜(TEM)和X射线衍射技术观察分析了处理后的多晶硅薄膜的晶粒尺寸和薄膜组成结构。结果表明:分次注入法确实有助于获得晶粒尺寸。大,同时晶粒晶向一致性好的多晶硅薄膜。
关键词
硅
离子注入
再结晶
多晶硅薄膜
晶向
Keywords
Fractionally implanted by sillicon ion and recrystallized
Polysilicon films
Grain sizes
Orientation
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
人乳头瘤病毒感染的食道癌发病意义
3
作者
桑野
博
行
出处
《日本医学介绍》
1999年第5期214-215,共2页
文摘
人乳头瘤病毒（ｈｕｍａｎｐａｐｉｌｏｍａｖｉｒｕｓ，ＨＰＶ）可为宫颈癌和肛门生殖器癌等鳞状上皮癌的原因这一事实业已确定。１９８２年Ｓｙｒｉａｎｅｎ首先报告占鳞状上皮癌大部分的食道癌具有ＨＰＶ感染特征的组织学改变以来，陆续报告了许多有关这方面的文献。作...
关键词
人乳头瘤病毒
感染
食道癌
病理
分类号
R735.102 [医药卫生—肿瘤]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用深能级瞬态谱方法研究多晶硅薄膜的晶粒界面态
舒畅
包宗明
桑野
博
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991
2
下载PDF
职称材料
2
分次硅离子注入再结晶多晶硅薄膜
舒畅
包宗明
桑野
博
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991
0
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职称材料
3
人乳头瘤病毒感染的食道癌发病意义
桑野
博
行
《日本医学介绍》
1999
0
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