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MEMS气体传感器微热板芯片热均匀性设计及性能
被引量：
1
1
作者
田昕
陶继方
+6 位作者
庞子瑞
林
玉
哲
赵佳
袁泓晔
郑春宏
贺帅斌
于泽平
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第11期1834-1841,共8页
基于微电子机械系统(MEMS)技术的气体传感器具有灵敏度高、尺寸小、响应速度快、功耗低等优点,成为下一代半导体气体传感器的重要发展方向,其中敏感氧化物材料的温度均匀性对其探测灵敏度、选择性和可靠性均有重要影响。聚焦MEMS气体传...
基于微电子机械系统(MEMS)技术的气体传感器具有灵敏度高、尺寸小、响应速度快、功耗低等优点,成为下一代半导体气体传感器的重要发展方向,其中敏感氧化物材料的温度均匀性对其探测灵敏度、选择性和可靠性均有重要影响。聚焦MEMS气体传感器中的核心微热板芯片的设计,通过热学分析和物理场有限元仿真,设计了一种等温热区占比90%的微热板芯片,有效解决了MEMS气体传感器中微小芯片内大面积均匀加热问题。在此理论基础上,设计了两款微热板芯片结构并进行了表征。实际测试结果显示温度-功耗曲线与仿真结果一致,在372℃工作温度下,方形薄膜结构的微热板芯片单位面积功耗仅为2.8×10^(-4)mW/μm^(2),但圆形薄膜结构的微热板芯片温度分布更均匀,两种设计的工作温度均可以达到370℃以上。受限于低温成膜工艺,该微热板芯片薄膜的最大应力仅为1500 MPa左右,这为后续优化设计提升工作温度和降低功耗提供了一定参考。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
气体传感器
微热板芯片
有限元仿真
低功耗
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职称材料
阶梯推移活塞双级脉管制冷机的数值方法
被引量：
1
2
作者
朱绍伟
林
玉
哲
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期300-308,共9页
如何提高双级脉管制冷机的效率是脉管制冷机领域一直关注的问题。已有实验证明,使用阶梯推移活塞作为调相机构可以得到高于采用双向进气时的效率,这证明阶梯推移活塞具有很高的研究价值。本文提出了用于分析双级脉管制冷机的节点分析法...
如何提高双级脉管制冷机的效率是脉管制冷机领域一直关注的问题。已有实验证明,使用阶梯推移活塞作为调相机构可以得到高于采用双向进气时的效率,这证明阶梯推移活塞具有很高的研究价值。本文提出了用于分析双级脉管制冷机的节点分析法,该节点分析法是基于双向进气脉管制冷机数值计算的一种改进。该方法有助于从热力学角度更深刻地理解阶梯推移活塞双级脉管制冷机。本文利用该方法讨论了第一级脉管和第二级脉管的匹配问题,以及第二级回热器填充率对制冷性能的影响。
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关键词
节点分析法
双级脉管制冷机
阶梯推移活塞
低温制冷机
回热器
原文传递
多内核操作系统综述
3
作者
林
玉
哲
蒋金虎
张为华
《计算机系统应用》
2022年第5期21-29,共9页
操作系统在现代生活中具有举足轻重的地位.为了服务于不同的硬件环境和多样的应用场景,操作系统需要在保持性能的同时具备良好的扩展性和灵活性.多内核操作系统,作为一种分布式的操作系统,是该问题的解决方案之一.本文分析了多内核操作...
操作系统在现代生活中具有举足轻重的地位.为了服务于不同的硬件环境和多样的应用场景,操作系统需要在保持性能的同时具备良好的扩展性和灵活性.多内核操作系统,作为一种分布式的操作系统,是该问题的解决方案之一.本文分析了多内核操作系统的设计原理,调研了现有的多内核操作系统技术,并对这些技术和一些相关技术进行了比较.最后,本文对多内核操作系统研究的现状与未来方向进行了总结.
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关键词
操作系统
多内核
多核
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职称材料
GPU事务性内存技术研究
被引量：
2
4
作者
林
玉
哲
张为华
《大数据》
2020年第4期3-17,共15页
GPU是并行计算领域重要的体系结构之一,然而在面对高数据竞争的场景时,程序员往往需要设计复杂的并行方案。为了简化这一过程,GPU事务性内存实现了复杂的数据同步和并行,对外则仅提供简单的API。首先介绍了GPU事务性内存的研究背景。其...
GPU是并行计算领域重要的体系结构之一,然而在面对高数据竞争的场景时,程序员往往需要设计复杂的并行方案。为了简化这一过程,GPU事务性内存实现了复杂的数据同步和并行,对外则仅提供简单的API。首先介绍了GPU事务性内存的研究背景。其次,讨论了近年的GPU事务性内存的设计方案与策略,分析了不同设计方案遇到的问题和解决方案,包括硬件和软件上的实现。最后对GPU事务性内存的现状和未来的发展做出了总结和展望。
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关键词
GPU
事务性内存
并行计算
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职称材料
题名
MEMS气体传感器微热板芯片热均匀性设计及性能
被引量：
1
1
作者
田昕
陶继方
庞子瑞
林
玉
哲
赵佳
袁泓晔
郑春宏
贺帅斌
于泽平
机构
山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室
山东大学信息科学与工程学院
西安交通大学材料科学与工程学院金属材料强度国家重点实验室
中国石油天然气股份有限公司天然气销售山东分公司
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第11期1834-1841,共8页
文摘
基于微电子机械系统(MEMS)技术的气体传感器具有灵敏度高、尺寸小、响应速度快、功耗低等优点,成为下一代半导体气体传感器的重要发展方向,其中敏感氧化物材料的温度均匀性对其探测灵敏度、选择性和可靠性均有重要影响。聚焦MEMS气体传感器中的核心微热板芯片的设计,通过热学分析和物理场有限元仿真,设计了一种等温热区占比90%的微热板芯片,有效解决了MEMS气体传感器中微小芯片内大面积均匀加热问题。在此理论基础上,设计了两款微热板芯片结构并进行了表征。实际测试结果显示温度-功耗曲线与仿真结果一致,在372℃工作温度下,方形薄膜结构的微热板芯片单位面积功耗仅为2.8×10^(-4)mW/μm^(2),但圆形薄膜结构的微热板芯片温度分布更均匀,两种设计的工作温度均可以达到370℃以上。受限于低温成膜工艺,该微热板芯片薄膜的最大应力仅为1500 MPa左右,这为后续优化设计提升工作温度和降低功耗提供了一定参考。
关键词
微电子机械系统(MEMS)
气体传感器
微热板芯片
有限元仿真
低功耗
Keywords
micro-electromechanical system(MEMS)
gas sensor
micro-hotplate chip
finite element simulation
low power
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703 [自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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职称材料
题名
阶梯推移活塞双级脉管制冷机的数值方法
被引量：
1
2
作者
朱绍伟
林
玉
哲
机构
同济大学机械与能源工程学院制冷与低温工程研究所
同济大学上海市地面交通工具空气动力与热环境模拟重点实验室
出处
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期300-308,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51476117)。
文摘
如何提高双级脉管制冷机的效率是脉管制冷机领域一直关注的问题。已有实验证明,使用阶梯推移活塞作为调相机构可以得到高于采用双向进气时的效率,这证明阶梯推移活塞具有很高的研究价值。本文提出了用于分析双级脉管制冷机的节点分析法,该节点分析法是基于双向进气脉管制冷机数值计算的一种改进。该方法有助于从热力学角度更深刻地理解阶梯推移活塞双级脉管制冷机。本文利用该方法讨论了第一级脉管和第二级脉管的匹配问题,以及第二级回热器填充率对制冷性能的影响。
关键词
节点分析法
双级脉管制冷机
阶梯推移活塞
低温制冷机
回热器
Keywords
nodal analysis
two-stage pulse tube refrigerator
regenerator
step-displacer
cryocooler
分类号
TK123 [动力工程及工程热物理—工程热物理]
原文传递
题名
多内核操作系统综述
3
作者
林
玉
哲
蒋金虎
张为华
机构
复旦大学软件学院
复旦大学上海市数据科学重点实验室
出处
《计算机系统应用》
2022年第5期21-29,共9页
文摘
操作系统在现代生活中具有举足轻重的地位.为了服务于不同的硬件环境和多样的应用场景,操作系统需要在保持性能的同时具备良好的扩展性和灵活性.多内核操作系统,作为一种分布式的操作系统,是该问题的解决方案之一.本文分析了多内核操作系统的设计原理,调研了现有的多内核操作系统技术,并对这些技术和一些相关技术进行了比较.最后,本文对多内核操作系统研究的现状与未来方向进行了总结.
关键词
操作系统
多内核
多核
Keywords
operating system
multikernel
multicore
分类号
TP316 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
下载PDF
职称材料
题名
GPU事务性内存技术研究
被引量：
2
4
作者
林
玉
哲
张为华
机构
复旦大学软件学院
上海市数据科学重点实验室
出处
《大数据》
2020年第4期3-17,共15页
文摘
GPU是并行计算领域重要的体系结构之一,然而在面对高数据竞争的场景时,程序员往往需要设计复杂的并行方案。为了简化这一过程,GPU事务性内存实现了复杂的数据同步和并行,对外则仅提供简单的API。首先介绍了GPU事务性内存的研究背景。其次,讨论了近年的GPU事务性内存的设计方案与策略,分析了不同设计方案遇到的问题和解决方案,包括硬件和软件上的实现。最后对GPU事务性内存的现状和未来的发展做出了总结和展望。
关键词
GPU
事务性内存
并行计算
Keywords
GPU
transactional memory
parallel computing
分类号
TP302 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS气体传感器微热板芯片热均匀性设计及性能
田昕
陶继方
庞子瑞
林
玉
哲
赵佳
袁泓晔
郑春宏
贺帅斌
于泽平
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023
1
下载PDF
职称材料
2
阶梯推移活塞双级脉管制冷机的数值方法
朱绍伟
林
玉
哲
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
1
原文传递
3
多内核操作系统综述
林
玉
哲
蒋金虎
张为华
《计算机系统应用》
2022
0
下载PDF
职称材料
4
GPU事务性内存技术研究
林
玉
哲
张为华
《大数据》
2020
2
下载PDF
职称材料
已选择
0
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