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电晕探测紫外ICCD相机图像噪声分析与处理 被引量:58
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作者 闫丰 于子 +3 位作者 于晓 娄洪伟 隋永新 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期709-713,共5页
分析了日盲电晕探测中探测器紫外ICCD相机噪声的构成特性,利用试验方法统计了PROXITRONIC公司第二代紫外ICCD相机不同增益下的光电阴极暗电子发射散粒噪声水平,提出了基于统计数据的阴极噪声的抑制方法,实现了对紫外ICCD相机散粒噪声的... 分析了日盲电晕探测中探测器紫外ICCD相机噪声的构成特性,利用试验方法统计了PROXITRONIC公司第二代紫外ICCD相机不同增益下的光电阴极暗电子发射散粒噪声水平,提出了基于统计数据的阴极噪声的抑制方法,实现了对紫外ICCD相机散粒噪声的抑制。将此方法应用到电晕探测过程,实验结果证明了该方法对图像噪声的抑制有效,保持了相机的动态范围。 展开更多
关键词 紫外探测 像增强电荷耦合器件 电晕探测 散粒噪声 图像处理
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在均匀颜色空间中实现彩色图像的颜色量化 被引量:17
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作者 任智斌 隋永新 +1 位作者 杨英慧 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第4期340-345,共6页
颜色量化是将原有图像中的多种颜色根据人的视觉效果归类为较少的颜色 ,从而用这些较少种类的颜色重新生成一幅新的图像 ,使量化后的图像与原图像的差别即量化误差最小。采用了将RGB非均匀颜色空间变换到L a b 为基准的均匀颜色空间的方... 颜色量化是将原有图像中的多种颜色根据人的视觉效果归类为较少的颜色 ,从而用这些较少种类的颜色重新生成一幅新的图像 ,使量化后的图像与原图像的差别即量化误差最小。采用了将RGB非均匀颜色空间变换到L a b 为基准的均匀颜色空间的方法 ,在L a b 均匀颜色空间中对彩色图像进行颜色量化 ,从而解决了量化误差相对人眼不均匀的问题。首先将彩色图像的像素数据保存在单链表中 ,然后对链表进行扫描 ,并把本次扫描得到的色差最小的两个节点合并成一个新的节点。经过足够的动态运算后可得到量化处理后的图像调色板。实验结果表明 ,本方法具有普遍性、唯一性 ,可以减小量化误差 。 展开更多
关键词 颜色空间 颜色量化 彩色图像 计算机
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以图像为载体的最大意义位(MSB)信息隐藏技术的研究 被引量:24
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作者 任智斌 隋永新 +1 位作者 杨英慧 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第2期182-187,共6页
加密技术是保障通信安全的一种重要手段 ,然而信息经过加密后容易引起攻击者的好奇和注意 ,容易遭到攻击和破坏。为解决这一问题 ,就要把加密技术与信息隐藏技术结合起来 ,即把经过加密的信息作为待隐藏信息 ,加载到载体文件 (本文采用... 加密技术是保障通信安全的一种重要手段 ,然而信息经过加密后容易引起攻击者的好奇和注意 ,容易遭到攻击和破坏。为解决这一问题 ,就要把加密技术与信息隐藏技术结合起来 ,即把经过加密的信息作为待隐藏信息 ,加载到载体文件 (本文采用网上常用的彩色图像文件 )中传播。只要做到隐藏信息加载前后 ,载体图像的视觉效果的变化不能被人眼察觉即可。目前已知的用于信息保密的信息隐藏技术可分为两种 ,第一种是基于频域的信息隐藏技术 ,如扩频隐藏、DCT隐藏、子波隐藏技术等 ,若以彩色图像为宿主 ,则此类技术主要利用人眼对高空间频率分量上噪声不敏感的特点将待隐藏信息编码到图像的高频分量 ,以实现信息隐藏的目的 ,一般地 ,此类技术较难实现大数据量隐藏 ;第二种技术为空域隐藏技术 ,其典型做法是将待隐藏信息编码隐藏到宿主的最小意义位 (LSB)上 ,由于其信息隐藏位置对图像的影响不大 ,因此安全性不高。本文提供了一种在空域中 ,利用图像像素数据的最高位实现信息隐藏的方法。本方法利用颜色量化技术对图像颜色进行归并 ,然后按照特定的格式存储 ,产生冗余空间 ,最后把待隐藏信息装载入冗余空间。该方法不仅能实现大数据量的信息隐藏 ,而且信息隐藏的位置是图像的最大意义位 。 展开更多
关键词 最大意义位 信息隐藏 颜色量化 载体图像 加密
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基于可Markov分割混沌系统的图像加密算法 被引量:27
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作者 刘泉 李佩玥 +2 位作者 章明朝 隋永新 杨怀 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第6期1271-1277,共7页
为了设计复杂度高、安全性好而计算代价小的图像密码算法,该文从一类新的具有Markov分割性质的混沌系统出发构造了此算法。首先,通过控制此混沌系统的参数并配合时空混沌系统设计了一个密钥流发生器;然后,利用真随机数发生器产生的随机... 为了设计复杂度高、安全性好而计算代价小的图像密码算法,该文从一类新的具有Markov分割性质的混沌系统出发构造了此算法。首先,通过控制此混沌系统的参数并配合时空混沌系统设计了一个密钥流发生器;然后,利用真随机数发生器产生的随机数来扰动系统的初始密钥,以动态生成图像的置换矩阵和加密密钥流;最后,通过利用不同群中的加法混合运算构造扩散函数以增加破译复杂度,以两轮迭代完成了图像加密过程。实验结果表明,此混沌系统产生的密钥流序列有比较好的统计特征,该算法可以破坏原始图像的特征,使得密文图像难以辨识。进一步分析可知,该算法可以很好地抵抗差分分析等其它已知攻击,效率高于一些基于超混沌系统设计的密码算法。此外,此算法计算简单,安全性高,易于实现,具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 图像加密 混沌 Markov分割 时空混沌
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用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估 被引量:24
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作者 高松涛 隋永新 杨怀 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期102-108,共7页
计算全息图(CGH)作为零位补偿器,越来越广泛地应用于高精度非球面检测领域。CGH的设计、编码、加工和装调等误差,直接限制了非球面的检测精度。提出一种切实可行的检测非球面的流程与方法,完成了对CGH基底的标定、参考镜的绝对标定和CG... 计算全息图(CGH)作为零位补偿器,越来越广泛地应用于高精度非球面检测领域。CGH的设计、编码、加工和装调等误差,直接限制了非球面的检测精度。提出一种切实可行的检测非球面的流程与方法,完成了对CGH基底的标定、参考镜的绝对标定和CGH的畸变校正,实现对非球面的高精度检测。除了采用传统的平方根之和(RSS)误差合成分析方法外,还通过与无像差点法测量结果的对比,从实验上获得了此方法的测量精度。实验结果表明,利用CGH对非球面进行检测的精度可以达到3.9nm[均方根(RMS)值]。 展开更多
关键词 测量 非球面检测 计算全息图 绝对标定
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LabVIEW应用于实时图像采集及处理系统 被引量:14
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作者 于子 娄洪伟 +3 位作者 于晓 闫丰 隋永新 杨怀 《微计算机信息》 北大核心 2007年第05S期98-100,共3页
本文在LabVIEW和NI-IMAQ Vision软件平台下,利用通用图像采集卡开发一种图像实时采集处理虚拟仪器系统。通过调用动态链接库驱动通用图像采集卡完成图像采集,采集图像的帧速率达到25帧每秒。利用NI-IMAQ Vision视频处理模块,进行图像处... 本文在LabVIEW和NI-IMAQ Vision软件平台下,利用通用图像采集卡开发一种图像实时采集处理虚拟仪器系统。通过调用动态链接库驱动通用图像采集卡完成图像采集,采集图像的帧速率达到25帧每秒。利用NI-IMAQ Vision视频处理模块,进行图像处理,以完成光电探测器的标定。该系统具有灵活性强、可靠性高、性价比高等优点。 展开更多
关键词 虚拟仪器 图像处理 LABVIEW 动态链接库
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大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制 被引量:19
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作者 秦硕 巩岩 +1 位作者 袁文全 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期108-114,共7页
为满足高分辨率光刻机控制大时间热响应常数投影物镜温度时响应速度和超高精度的要求,设计了前馈——串级水冷投影物镜温控系统。该系统以物镜为主控对象、冷却循环水为副控对象。针对物镜的慢动态温度变化特征,采用模型预测控制作为外... 为满足高分辨率光刻机控制大时间热响应常数投影物镜温度时响应速度和超高精度的要求,设计了前馈——串级水冷投影物镜温控系统。该系统以物镜为主控对象、冷却循环水为副控对象。针对物镜的慢动态温度变化特征,采用模型预测控制作为外环主控制算法;针对冷却水远传回路的纯时滞特性,采用带Smith预估器的PID控制作为内环副控制算法;为解决光刻机在不同工况下激光光路对物镜温度的严重扰动,引入前馈补偿控制激光热扰动。最后,在不同控制结构和热干扰条件下,进行了模拟物镜温度控制实验。结果显示,物镜温度稳态误差曲线在±0.01℃内波动。实验证明该系统极大地提高了物镜的温度收敛速度,具有较强的抗干扰能力,能满足物镜的超高精度温度控制要求。 展开更多
关键词 投影物镜 温度控制 串级控制 大时滞 模型预测 前馈补偿
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基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制 被引量:18
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作者 李朋志 葛川 +3 位作者 苏志德 闫丰 隋永新 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期394-399,共6页
针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响,对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统(DFS)前馈+PI控制方法进行了研究。介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法;结合直接逆模型控制和迭代学习控... 针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响,对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统(DFS)前馈+PI控制方法进行了研究。介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法;结合直接逆模型控制和迭代学习控制的思想,提出了周期性轨迹跟踪的DFS前馈+PI控制方法。最后,针对20Hz的三角波和正弦波期望轨迹进行了跟踪控制实验。实验结果表明:提出的控制方法对三角波和正弦波期望轨迹的最大跟踪误差分别为0.25%和0.27%,相对于PI控制,跟踪精度分别提高了52倍和64倍,而最大跟踪绝对误差分别降低到5.1nm和5.5nm。结果显示这种控制方法易于实现,周期性轨迹跟踪精度高。 展开更多
关键词 压电陶瓷驱动器(PZT) 迟滞 动态模糊系统 前馈 轨迹跟踪
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电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 被引量:18
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作者 葛川 张德福 +3 位作者 李朋志 郭抗 李佩玥 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2546-2552,共7页
由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提供位移反馈以保... 由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提供位移反馈以保证运动控制精度。采用高阶曲线拟合方法得到拟合系数对传感器线性度进行在线标定;对标定实验中的环境、安装、机构以及控制等进行不确定度分析与评定以保证电容传感器的线性度测量精度;最后进行电容传感器线性度的标定实验。实验结果表明:本文提出的线性度标定方法能够减小各误差项对于测量结果的影响,标定后传感器线性度由0.047 14%提高至0.004 84%,近一个数量级,并且线性度重复性较高,重复性偏差为0.38nm,全行程内线性度的合成不确定度为5.70nm,能够满足光刻物镜中位移控制精度的需求。 展开更多
关键词 电容传感器 位移传感器 标定 线性度 不确定度 光刻投影物镜
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温度变化对胶粘结透镜面形精度的影响 被引量:14
10
作者 王汝冬 田伟 +3 位作者 王平 王立朋 隋永新 杨怀 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期201-206,共6页
为了保证透镜的面形精度受温度影响较小,透镜采用低应力胶粘结要优于采用机械方式装夹。首先对比了胶粘结透镜在16℃,20℃,26℃时透镜轴向应力大小和面形的变化。实验验证了在不同温度下,胶粘结透镜面形的峰谷(PV)值(0.073λ,0.064λ,0.... 为了保证透镜的面形精度受温度影响较小,透镜采用低应力胶粘结要优于采用机械方式装夹。首先对比了胶粘结透镜在16℃,20℃,26℃时透镜轴向应力大小和面形的变化。实验验证了在不同温度下,胶粘结透镜面形的峰谷(PV)值(0.073λ,0.064λ,0.085λ)要优于机械方式装夹的透镜面形PV值(0.204λ,0.108λ,0.105λ)。最后对不同温度下胶粘结透镜面形变化的理论计算、仿真和实验结果的误差进行了分析。实验结果表明在温度变化时,采用胶粘结透镜的面形精度要优于机械装夹的透镜面形精度,并且能有效控制温度变化对透镜面形精度的影响。 展开更多
关键词 光学测量 面形精度 胶粘结透镜 温度变化
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“日盲”紫外电晕探测系统定标 被引量:13
11
作者 章明朝 宋慧营 +4 位作者 周跃 高松涛 闫丰 隋永新 杨怀 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期135-140,146,共7页
"日盲"紫外电晕探测是电力设备检修与维护的主要手段之一。为了提供更为准确和客观的评价依据,需要对"日盲"紫外电晕探测系统进行辐亮度定标,从而确定目标辐亮度与增益控制电压、系统输出灰度值之间的关系。为此构... "日盲"紫外电晕探测是电力设备检修与维护的主要手段之一。为了提供更为准确和客观的评价依据,需要对"日盲"紫外电晕探测系统进行辐亮度定标,从而确定目标辐亮度与增益控制电压、系统输出灰度值之间的关系。为此构建了由高稳定氘灯光源、积分球、光纤光谱仪等组成的定标装置。采用可溯源美国NIST的紫外标准氘灯对光纤光谱仪进行光谱辐照度标定,并以光纤光谱仪作为标准探测器对电晕探测系统进行定标。通过实验拟合出ICCD增益控制电压与系统增益之间的关系曲线,并给出了系统的标定方程。随后进行了三组不同增益的验证实验,实验结果表明在线性区内辐亮度推算值与测量值之间的最大相对误差为6.11%,均方根为3.22%。经分析,文中所采用的系统定标方案的不确定度为9.1%,基本可以满足了"日盲"紫外电晕探测系统的需求。此外,不同增益条件下的系统响应特性可以为"电晕"探测过程中进行自动增益调整算法的设计提供参考依据。 展开更多
关键词 “日盲”紫外 电晕探测 系统定标 ICCD
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基于变换的子孔径拼接新算法 被引量:13
12
作者 陈一巍 王飞 +2 位作者 王高文 隋永新 杨怀 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期160-165,共6页
拼接干涉仪存在机械定位误差,各子孔径间存在相对定位误差,给拼接结果带来影响,需要通过子孔径拼接算法进行补偿。为了提高子孔径拼接算法的补偿能力,提出了有别于基于原始图像计算补偿量的子孔径拼接新算法。将待拼接的图像变换成利于... 拼接干涉仪存在机械定位误差,各子孔径间存在相对定位误差,给拼接结果带来影响,需要通过子孔径拼接算法进行补偿。为了提高子孔径拼接算法的补偿能力,提出了有别于基于原始图像计算补偿量的子孔径拼接新算法。将待拼接的图像变换成利于计算补偿量的图像,用变换后的图像进行计算并得到子孔径的相对位置关系,利用得到的相对位置关系将原图像拼好。针对拼接干涉仪机械定位精度较高的情况,设计了一种将原图变换成其梯度的幅值图和方向图,用幅值图作为权重,通过将方向图吻合计算补偿量的新算法。仿真结果表明,该算法相比于用原图计算补偿量的算法,更好地补偿了机械定位误差的影响。以全口径直接测量结果为标准,实验结果进一步验证了这个算法的有效性。说明了根据实际情况选取恰当的变换,基于变换的子孔径拼接算法能提高拼接精度。 展开更多
关键词 测量 干涉仪 光学检测 子孔径拼接算法 变换 梯度
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大口径光学元件重力变形补偿的设计分析 被引量:13
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作者 王汝冬 王平 +3 位作者 田伟 王立朋 隋永新 杨怀 《中国光学》 EI CAS 2011年第3期259-263,共5页
根据弹性板壳理论,建立了大口径光学元件的几种理论模型。提出了一种补偿大口径光学元件重力变形的方法,该方法通过在透镜镜框边缘施加作用力,使透镜产生与重力变形反向的挠性变形,抵消重力变形的影响。建立了带镜框的大口径透镜的分析... 根据弹性板壳理论,建立了大口径光学元件的几种理论模型。提出了一种补偿大口径光学元件重力变形的方法,该方法通过在透镜镜框边缘施加作用力,使透镜产生与重力变形反向的挠性变形,抵消重力变形的影响。建立了带镜框的大口径透镜的分析模型,证明了通过优化施加力的大小和支撑点位置使透镜产生挠性变形的方法能有效消除重力变形的影响。 展开更多
关键词 重力变形 挠性补偿 板壳理论 有限元法
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基于神经网络的点目标多光谱信息融合识别方法 被引量:11
14
作者 冯志庆 杨英慧 +3 位作者 郭景富 隋永新 梁士利 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第4期412-415,共4页
为了解决动态红外点目标多光谱模式识别问题,提出了一种利用神经网络并行子网作为前级处理,证据理论于后级融合的多周期模式识别推理模型。由于并行子网的引入,该模型避开了识别过程中采用单一神经网络所带来的大样本训练问题,用带有加... 为了解决动态红外点目标多光谱模式识别问题,提出了一种利用神经网络并行子网作为前级处理,证据理论于后级融合的多周期模式识别推理模型。由于并行子网的引入,该模型避开了识别过程中采用单一神经网络所带来的大样本训练问题,用带有加性噪声的点目标红外光谱作为识别模型的目标数据源进行了算法验证,计算结果表明该算法对多周期不确定性证据有很强的证据聚焦能力。 展开更多
关键词 神经网络 信息融合 模式识别 证据理论 点目标 红外光谱
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高精度曲率半径测量研究 被引量:13
15
作者 彭石军 苗二龙 +3 位作者 史振广 陈华 隋永新 杨怀 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2014年第1期101-107,共7页
由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析了影响曲率半径检测... 由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析了影响曲率半径检测精度的主要因素,并给出了在曲率半径测量过程中减小测量误差的方法以及相应的补偿方式。基于此分析,在高精度实验室中采用菲佐干涉仪结合高精度测长干涉仪的干涉测量方式,分别对典型的凸球面和凹球面光学元件进行了曲率半径检测。实验结果表明:通过环境补偿和提高对准精度的方法,曲率半径检测的复现性优于0.2μm,实际测得的相对误差分别为0.67×10^(-6)(2σ)和0.60×10^(-6)(2σ),实现了高精度曲率半径测量。 展开更多
关键词 测量 曲率半径 轴向对准误差 环境补偿 菲佐干涉仪
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旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 被引量:13
16
作者 王平 田伟 +3 位作者 王汝冬 王立朋 隋永新 杨怀 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期126-134,共9页
为实现对光学元件的高精度面形测量,建立了一种旋转支撑结构的高精度测量方法。对该方法的理论原理、数值仿真和误差分析等进行了研究。首先根据元件夹持工况仿真分析了支撑变形的特性。接着用泽尼克多项式拟合波面,建立了旋转支撑法的... 为实现对光学元件的高精度面形测量,建立了一种旋转支撑结构的高精度测量方法。对该方法的理论原理、数值仿真和误差分析等进行了研究。首先根据元件夹持工况仿真分析了支撑变形的特性。接着用泽尼克多项式拟合波面,建立了旋转支撑法的理论模型,并推导出光学元件去除支撑影响后的面形公式。用仿真分析的方式验证了理论模型,对计算的面形结果与理论面形进行了比较分析。最后,分析了影响旋转支撑法测量精度的误差项。仿真分析结果表明,通过两次旋转支撑结构的方式,可以有效地去除元件支撑造成的面形误差,计算值与真实值之间的误差为支撑误差的泽尼克多项式的高阶对称项,满足元件面形的高精度检测要求。 展开更多
关键词 测量 元件夹持 测量误差 夹持误差 旋转支撑法
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干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析 被引量:12
17
作者 陈华 史振广 +1 位作者 隋永新 杨怀 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期135-139,共5页
在达到1nm量级的光学元件表面面形干涉检验时,被检元件由温度变化引起的面形偏差是不能忽略的。分析了干涉检验时存在的各种环境温度情况,对不同情况下被检元件内外温度分布进行了仿真,并将温度场作为静力学分析的载荷条件,进行了镜面... 在达到1nm量级的光学元件表面面形干涉检验时,被检元件由温度变化引起的面形偏差是不能忽略的。分析了干涉检验时存在的各种环境温度情况,对不同情况下被检元件内外温度分布进行了仿真,并将温度场作为静力学分析的载荷条件,进行了镜面温度变形分析。计算出了带支撑的直径为300mm凸球面透镜在不同温度分布下的镜面变形量,并通过球面拟合计算出面形的峰谷(PV)值和均方根(RMS)值,得出要保证1nm精度的面形测量就需要保证环境温度水平漂移不超过±0.1℃,镜子轴向温度差不超过±0.05℃,直径方向温度差不超过±0.1℃的结论,为高精度面形检测的实施提供了参考。 展开更多
关键词 光学检测 凸透镜 热变形 环境温度 有限元法
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压电驱动器的开闭环迭代学习控制 被引量:11
18
作者 李朋志 闫丰 +3 位作者 葛川 李佩玥 隋永新 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期414-419,共6页
由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差,本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度。首先,提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律,并且给出了基于该学习律的收敛性条件。然后... 由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差,本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度。首先,提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律,并且给出了基于该学习律的收敛性条件。然后,设计了用于PZT系统的离散开闭环迭代学习控制器。最后,针对50Hz单频和25Hz+50Hz复频三角波轨迹进行了跟踪控制实验。实验结果表明:所提出的迭代学习控制器对上述2种轨迹的最大跟踪误差分别为10.6nm和12.5nm,相对于PID控制器,分别降低了96.25%和95.62%。结果显示:提出的控制方法易于实现,无需准确的PZT迟滞和系统模型就可以获得很高的跟踪精度,能有效地满足高频和复频轨迹跟踪的精度要求。 展开更多
关键词 压电驱动器 PZT 开闭环 迭代学习控制 迟滞
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用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法 被引量:11
19
作者 张敏 隋永新 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期934-940,共7页
针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab软件仿真模拟实验,... 针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab软件仿真模拟实验,分析了机械定位误差对拼接检测精度的影响。实验表明:拟合出的平移定位系数精度高于旋转定位系数精度,与理论分析一致;相对于一般算法,该算法对机械误差有较强的免疫力。在搭建的拼接检测装置上检测了口径为150mm的平面镜,结果显示:拼接结果与干涉仪直接检测的全口径相位残差的分布峰谷值(PV)为0.015 30λ,均方根值(RMS)为0.001 570λ,得到的结果十分接近,验证了该算法稳定可靠,能够合理有效地补偿机械精度引起的子孔径定位误差。 展开更多
关键词 拼接干涉检测 子孔径拼接 机械定位误差 补偿算法 大口径平面镜
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“日盲”紫外增强型CCD的自动增益控制 被引量:10
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作者 章明朝 周跃 +2 位作者 闫丰 隋永新 杨怀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期496-502,共7页
为使"日盲"紫外增强型电荷耦合器件(SBUV-ICCD)适用于不同辐亮度目标的探测,并避免由于长时间高亮度照射引起的器件损害,提出了适用于SBUV-ICCD的自动增益控制(AGC)算法。应用连续N帧图像直方图求和作为分析对象,将其分为背... 为使"日盲"紫外增强型电荷耦合器件(SBUV-ICCD)适用于不同辐亮度目标的探测,并避免由于长时间高亮度照射引起的器件损害,提出了适用于SBUV-ICCD的自动增益控制(AGC)算法。应用连续N帧图像直方图求和作为分析对象,将其分为背景段、目标段、明亮段及饱和段,使用明亮段与目标段的比例系数及饱和段与明亮段的比例系数为控制参量,完成了AGC算法,并设计实验对其进行了验证。实验结果表明,通过控制饱和系数<0.2,明亮系数在0.4~0.8内,当目标辐亮度突变或缓慢变化时该算法均能够在1~3s内实现增益的调节,在保护相机的同时使图像具有较好的分辨率。 展开更多
关键词 日盲紫外增强型ICCD 自动增益控制
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