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题名激光位移传感器设计与标定测试
被引量：14
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作者
周宇
李粤
李维平
杜勉珂
邓然
邵文挺
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机构
北京卓立汉光仪器有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第11期92-95,共4页
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文摘
为了降低激光位移传感器试制成本,并且更加方便地进行线性度测试,研发了一种激光位移传感器。使用ZEMAX软件对光学系统进行优化设计,得到合适的收光镜头,再选取光电元件,成功研制了一种工作距离为100 mm,量程为±25 mm,线性度为±0. 28%,分辨率为20μm的激光位移传感器。该传感器具有测量范围宽,线性度好,分辨率高的特点,满足了在工业场景中对精密测量的使用要求。
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关键词
激光位移传感器
线性度
光学系统
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Keywords
laser displacement sensor
linearity
optical system
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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