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题名集成式陶瓷压力传感器结构设计与测试分析
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作者
李鑫标
夏如艇
林树森
杨礼康
徐晨
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机构
浙江科技学院机械与能源工程学院
台州学院航空工程学院
浙江沃德尔科技集团股份有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第4期75-78,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51905364)
台州市科技计划资助项目(20ny19)。
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文摘
本文设计并制备了一种集成式陶瓷压力传感器。首先基于电容式压力传感器工作原理和薄板变形理论,对传感器敏感结构进行建模和仿真分析。将设计的信号调理电路集成在印刷电路板(PCB)上,PCB通过导电结构PIN针与敏感结构紧贴在一起,采用压缩弹簧实现针脚连接。同时设计了传感器敏感结构工艺制备流程,并对封装后的传感器进行研究分析。测试结果表明:传感器在0~1.4 MPa量程内,常温下其灵敏度达到0.571 V/V/MPa,非线性度小于0.325%FS,在-40~150℃温度范围内,整体测量误差精度为±0.245%RH,传感器在振动和冲击的环境中工作稳定。
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关键词
陶瓷
电容式压力传感器
集成
灵敏度
振动冲击
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Keywords
ceramic
capacitive pressure sensor
integrated
sensitivity
vibration and shock
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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