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柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究
1
作者
王明明
张连清
+2 位作者
李
营
张书练
李
湘
培
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期409-411,共3页
分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P(Fabry-Perot)滤波器失谐。设计了一种柔性铰链式微位移机构,由压电陶瓷驱动,采用平行四连杆机构进行传动导向。采用该机构驱动F-P腔镜扫描克服了直接使用压电陶瓷带来的腔镜倾斜问题。该机构已应...
分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P(Fabry-Perot)滤波器失谐。设计了一种柔性铰链式微位移机构,由压电陶瓷驱动,采用平行四连杆机构进行传动导向。采用该机构驱动F-P腔镜扫描克服了直接使用压电陶瓷带来的腔镜倾斜问题。该机构已应用于可调谐F-P滤波器中,输出信号多周期峰值幅度均匀,重复性好。
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关键词
可调谐F-P滤波器
柔性铰链
微位移机构
压电陶瓷致动器
原文传递
题名
柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究
1
作者
王明明
张连清
李
营
张书练
李
湘
培
机构
清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
韩国科学技术研究院
出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期409-411,共3页
文摘
分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P(Fabry-Perot)滤波器失谐。设计了一种柔性铰链式微位移机构,由压电陶瓷驱动,采用平行四连杆机构进行传动导向。采用该机构驱动F-P腔镜扫描克服了直接使用压电陶瓷带来的腔镜倾斜问题。该机构已应用于可调谐F-P滤波器中,输出信号多周期峰值幅度均匀,重复性好。
关键词
可调谐F-P滤波器
柔性铰链
微位移机构
压电陶瓷致动器
Keywords
tunable F-P filters
flexible hinge
micro-displacement mechanism
piezoelectric actuator
分类号
TH112 [机械工程—机械设计及理论]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
柔性铰链微位移机构在可调谐F-P滤波器中的应用研究
王明明
张连清
李
营
张书练
李
湘
培
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
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