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题名短波段光学薄膜
被引量：3
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作者
李懋廉
卢春光
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出处
《薄膜科学与技术》
1995年第1期1-12,共12页
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文摘
本文对真空紫外－软Ｘ光短波段区域的多种极为重要的光学元件如高反射膜镜、光谱色散器件和光谱滤光片等作了较全面地介绍。除较详细的介绍了他们的制备技术外，对于他们光谱透射与反射性能的测量方法与结果也作了较全面地叙述。
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关键词
光学薄膜
真空紫外薄膜
薄膜
光学元件
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分类号
TB43
[一般工业技术]
TH74
[机械工程—光学工程]
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题名高速钢上TiN镀层的硬度和粘附性能
被引量：2
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作者
柴卫平
张瑞林
余瑞璜
李懋廉
姜志刚
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机构
吉林大学材料科学研究所
中国科学院长春光学精密机械研究所
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出处
《吉林大学自然科学学报》
CAS
CSCD
1991年第3期51-54,共4页
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基金
国家自然科学基金
吉林省科学技术委员会的资助
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文摘
本文利用显微硬度和划痕粘附性测量技术,对采用HCD方法涂镀在高速钢上的TiN镀层的力学性能进行了研究。结果表明,TiN镀层的显微硬度(Hv)、超显微硬度(UMH)和临界载荷(L_c),受基体偏压、氮气分压和镀层厚度的影响,镀层的择优取向强烈地影响着镀层的显微硬度,在一定的值域内,镀层内应力增加,临界载荷下降。 讨论了影响临界载荷的各种因素,确定了制备具有优良力学性能的TiN镀层的工艺参数。
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关键词
高速钢
镀层
TIN
硬度
粘附性能
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Keywords
microhardness, ultra-microhardness, scratch adhesion, critical load, preferred orientation
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分类号
TG115.213
[金属学及工艺—物理冶金]
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题名磁控溅射和电子束蒸发制备软X光多层膜镜
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作者
李懋廉
王哲
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出处
《薄膜科学与技术》
1992年第2期35-43,共9页
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关键词
多层膜
磁控溅射
制备
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分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
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