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CVD金刚石膜激光平整化效率和粗糙度 被引量：2
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作者 李世谕 安康 +7 位作者 邵思武 黄亚博 张建军 郑宇亭 陈良贤 魏俊俊 刘金龙 李成明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第1期61-68,共8页
对化学气相沉积(CVD)多晶金刚石膜进行激光平整化的正交试验,使用场发射环境扫描电子显微镜(SEM)进行形貌分析,激光共聚焦扫描显微镜测量线粗糙度R_(a)、面粗糙度S_(a)和切缝锥度,分析激光参数对CVD膜平整化的影响。结果表明:影响切缝... 对化学气相沉积(CVD)多晶金刚石膜进行激光平整化的正交试验,使用场发射环境扫描电子显微镜(SEM)进行形貌分析,激光共聚焦扫描显微镜测量线粗糙度R_(a)、面粗糙度S_(a)和切缝锥度,分析激光参数对CVD膜平整化的影响。结果表明:影响切缝锥度的因素依次为脉冲宽度、脉冲频率、进给速度和激光电流,影响线粗糙度Ra的因素依次为进给速度、激光电流、脉冲频率、脉冲宽度。正交试验优化后,当激光电流为64 A、脉冲宽度为400μs、脉冲频率为275 Hz、进给速度为100 mm/min时,可获得最佳的切槽表面形貌。采用该优化参数进行面扫描,测得面粗糙度S_(a)为11.7μm;进一步增加入射角度至75°时,面粗糙度S_(a)降低至1.9μm,实际去除效率达到1.1 mm^(3)/min。 展开更多
关键词 CVD金刚石膜 激光平整化 面粗糙度 机械研磨
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