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基于GRA微细铣削单晶硅工艺参数优化及试验研究
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作者 译文 曹自洋 +1 位作者 徐文杰 杨凯 《机床与液压》 北大核心 2024年第14期59-64,共6页
为满足实际应用中对单晶硅微槽底部的表面粗糙度、上口尺寸精度以及材料去除率的需求,选择微细铣削的加工方法,并利用灰色关联度分析法对以上3种评价指标进行参数优化。通过设计正交试验获得评价指标的预测值,并分析了各个指标与工艺参... 为满足实际应用中对单晶硅微槽底部的表面粗糙度、上口尺寸精度以及材料去除率的需求,选择微细铣削的加工方法,并利用灰色关联度分析法对以上3种评价指标进行参数优化。通过设计正交试验获得评价指标的预测值,并分析了各个指标与工艺参数之间的关系;运用灰色关联法计算试验序列中各评价指标的灰色关联系数,并对各个试验序列的灰色关联度进行了排序,从而得到了最佳的工艺参数组合,并通过多次试验来验证其可行性,加工出了表面粗糙度为71.2 nm的微槽,提高其加工质量与加工精度。 展开更多
关键词 微细铣削 单晶硅 灰色关联度分析 参数优化
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CFRP/Ti叠层材料超声辅助螺旋铣孔的轴向力研究
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作者 潘杰 曹自洋 +3 位作者 许威 倪家伟 译文 杨凯 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2023年第6期6-11,共6页
针对CFRP/Ti叠层材料在一体化制孔过程中轴向力过大而引起的分层损伤和出口毛刺等制孔问题,从降低叠层制孔轴向力的角度出发,采用螺旋铣孔的方式,结合超声辅助加工技术应用于CFRP/Ti叠层材料叠层制孔。设计系列加工试验,对比研究了有无... 针对CFRP/Ti叠层材料在一体化制孔过程中轴向力过大而引起的分层损伤和出口毛刺等制孔问题,从降低叠层制孔轴向力的角度出发,采用螺旋铣孔的方式,结合超声辅助加工技术应用于CFRP/Ti叠层材料叠层制孔。设计系列加工试验,对比研究了有无超声辅助条件下叠层材料螺旋铣孔的轴向力,以及主轴转速、螺距、切向每齿进给量、偏心距和振幅对轴向力的影响规律,并初步得到工艺参数优化结论。结果表明,在超声辅助条件下CFRP/Ti叠层材料螺旋铣孔的轴向力明显减小。其他工艺参数对轴向力的影响程度大小顺序为偏心距>螺距>切向每齿进给量>振幅>主轴转速。 展开更多
关键词 CFRP/Ti叠层材料 螺旋铣孔 振动辅助加工
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单晶硅表面纳米结构润湿行为的分子动力学模拟
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作者 王浩杰 曹自洋 +1 位作者 张洋精 译文 《苏州科技大学学报(工程技术版)》 2022年第4期68-73,共6页
通过在单晶硅100晶面上去除不同数量的硅原子,构建出不同形貌的表面纳米结构以及二级结构;同时,采用分子动力学模拟的技术,研究单晶硅不同表面纳米结构润湿行为。模拟结果得出,具有纳米结构的单晶硅表面疏水性优于平整单晶硅表面。经过... 通过在单晶硅100晶面上去除不同数量的硅原子,构建出不同形貌的表面纳米结构以及二级结构;同时,采用分子动力学模拟的技术,研究单晶硅不同表面纳米结构润湿行为。模拟结果得出,具有纳米结构的单晶硅表面疏水性优于平整单晶硅表面。经过模拟,未去除硅原子的单晶硅结构表观接触角为72.02,呈亲水性;光栅结构表观接触角为103.45,方柱结构表观接触角为123.17,梯形结构表观接触角为150.4,二级结构表观接触角为152.25,其中二级结构的疏水性能最优。此外,具有纳米结构的单晶硅粗糙表润湿行为更为接近于Cassie-Baxter模型,接触模式为空气柱模型。 展开更多
关键词 单晶硅 疏水性 分子动力学 纳米表面结构
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