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微纳世界的音乐之声——用低维纳米机电器件探索微观世界
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作者 朱健凯 徐博 王曾晖 《物理》 CAS 北大核心 2024年第2期89-98,共10页
纳米机电器件是具有机械运动自由度的纳米电子器件。特别有趣的是,纳米机电器件同时也构成了微纳世界的各种乐器,能够演奏出独特的音乐之声。如同宏观世界中的乐器各有各的特色,这类微纳器件在研究低维及纳米尺度的物理现象时,也展现出... 纳米机电器件是具有机械运动自由度的纳米电子器件。特别有趣的是,纳米机电器件同时也构成了微纳世界的各种乐器,能够演奏出独特的音乐之声。如同宏观世界中的乐器各有各的特色,这类微纳器件在研究低维及纳米尺度的物理现象时,也展现出一些独到的潜力和优势,例如研究低维体系中的独特相变过程以及纳米材料中的力学各向异性效应等。在这些工作中,通过精密测量低维纳米材料的机械振动,即仔细倾听这些乐器所奏出的音乐之声,能够帮助研究者们观察到一些原来不易被测量的现象,进而探索新的低维物理过程和材料体系,带来新的科学发现。 展开更多
关键词 纳米机电器件 低维纳米材料 音乐
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二硫化钼反相器的高效干法转移与性能测试
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作者 梁亚春 邓晴阳 +5 位作者 焦陈寅 徐博 朱健凯 肖飞 夏娟 王曾晖 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期438-443,共6页
提出了一种利用干法转移制备的二硫化钼反相器并对其进行了性能研究。其中,反相器的核心结构由二硫化钼异质结晶体管和电阻串联组成,石墨烯则作为该器件的电极材料。为了提高二硫化钼晶体管和反相器的电学性能,利用热蒸镀金法优化石墨... 提出了一种利用干法转移制备的二硫化钼反相器并对其进行了性能研究。其中,反相器的核心结构由二硫化钼异质结晶体管和电阻串联组成,石墨烯则作为该器件的电极材料。为了提高二硫化钼晶体管和反相器的电学性能,利用热蒸镀金法优化石墨烯电极与基底测试电极(Pad)之间的接触特性。研究发现,器件经过优化之后得到的二硫化钼晶体管的开关比(ION/IOFF)最大超过105;二硫化钼反相器的增益大于6,展示出典型的逻辑反相特性。结果表明,干法转移技术在二维晶体管、反相器及逻辑电路的制备和应用中极具潜力。 展开更多
关键词 干法转移 二硫化钼反相器 二硫化钼晶体管 二维材料
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基于一种多功能系统的二维纳米器件高效制备 被引量：1
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作者 梁亚春 焦陈寅 +10 位作者 肖飞 朱健凯 徐博 文婷 伍松 任子明 韦学勇 陈滢 贾浩 夏娟 王曾晖 《中国科学：信息科学》 CSCD 北大核心 2022年第2期348-357,共10页
原子级厚度的二维层状晶体材料具有丰富的物理特性,在新型微纳米器件领域展现出重要的发展潜力,相关的器件制备和性能研究也引起了广泛的关注.二维材料微纳米器件的制备需要经过二维材料的转移及金属电极的淀积等一系列过程.然而,在传... 原子级厚度的二维层状晶体材料具有丰富的物理特性,在新型微纳米器件领域展现出重要的发展潜力,相关的器件制备和性能研究也引起了广泛的关注.二维材料微纳米器件的制备需要经过二维材料的转移及金属电极的淀积等一系列过程.然而,在传统的制备流程中所涉及多步工艺需要用到诸多不同设备,如二维材料转移对准系统、电子束曝光系统,或是光刻系统,而且往往在一些步骤中涉及有机溶液处理,有可能会对样品带来一些不利的影响.本文设计展示了一种能够实现二维材料微纳米器件制备的多功能系统,该系统不仅可以实现二维材料的高效转移,而且可以直接进行金属电极的准确淀积,并且整个加工流程不涉及溶液处理,具有操作方便、效率高、样品污染少等优点.基于该多功能系统,我们成功制备出了MoS;场效应晶体管并对器件进行了光学表征和电学性能测试,展现了这一系统在高效制备微纳器件方面的潜力. 展开更多
关键词 二维晶体材料 多功能制备系统 材料干法转移 金属电极淀积 MOS 场效应晶体管
原文传递
二维纳米机电谐振器高效制备 被引量：1
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作者 梁亚春 朱健凯 +4 位作者 肖飞 焦陈寅 徐博 夏娟 王曾晖 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期452-457,共6页
设计并实现了一种二维纳米器件多功能制备系统,该系统不仅能够完成二维材料的高效转移,还能够实现金属电极的准确淀积,从而实现二维器件的高效、一体化制备。利用该系统,成功制备了基于二维半导体的纳米机电谐振器,并对器件进行了机电... 设计并实现了一种二维纳米器件多功能制备系统,该系统不仅能够完成二维材料的高效转移,还能够实现金属电极的准确淀积,从而实现二维器件的高效、一体化制备。利用该系统,成功制备了基于二维半导体的纳米机电谐振器,并对器件进行了机电谐振幅频特性的测试。研究结果表明,设计的二维纳米器件多功能制备系统在纳米谐振器制备与研究中极具潜力。 展开更多
关键词 干法转移 纳米器件制备 纳机电谐振器 金属电极制备
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