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STEM朗奇图和电子束斑模拟插件
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作者 朱倩 王毅 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期473-478,共6页
在扫描透射电子显微镜(STEM)中,实现原子级分辨率的关键在于精确的像差校正,这通常依赖于朗奇图的测量和优化。对于STEM的新手而言,理解和优化朗奇图是一项极具挑战性的任务,往往需要长时间的实践积累才能掌握。本研究介绍了一种朗奇图... 在扫描透射电子显微镜(STEM)中,实现原子级分辨率的关键在于精确的像差校正,这通常依赖于朗奇图的测量和优化。对于STEM的新手而言,理解和优化朗奇图是一项极具挑战性的任务,往往需要长时间的实践积累才能掌握。本研究介绍了一种朗奇图及电子束斑模拟分析插件,用户可直接调整各种像差参数(包括像散、球差、慧差等),实时观察这些参数变化如何影响朗奇图,从而更直观地理解各种像差对朗奇图和电子束斑的影响。此外,插件还提供focus wobble功能,动态显示不同焦距下的朗奇图和电子束斑,模拟实际实验过程中在正焦附近循环调焦时的朗奇图和电子束斑。该插件不仅为初学者理解像差方程提供了直观图像演示,进而更加便捷和迅速地掌握球差校正电镜的调节和使用,也为研究人员提供了一种展示像差方程、朗奇图和电子束斑的图形化工具。 展开更多
关键词 朗奇图 电子束斑 像差校正 图像模拟
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