-
题名STEM朗奇图和电子束斑模拟插件
- 1
-
-
作者
朱倩
曲先林
王毅
-
机构
南京航空航天大学
南京航空航天大学
-
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期473-478,共6页
-
基金
国家自然科学基金优秀青年科学基金项目(海外)
江苏省杰出青年基金(No.BK20231532)
+1 种基金
中央高校基本科研业务费项目(No.NE2023005)
科工局稳定支持国防特色学科基础研究项目(No.ILF23010-2A23).
-
文摘
在扫描透射电子显微镜(STEM)中,实现原子级分辨率的关键在于精确的像差校正,这通常依赖于朗奇图的测量和优化。对于STEM的新手而言,理解和优化朗奇图是一项极具挑战性的任务,往往需要长时间的实践积累才能掌握。本研究介绍了一种朗奇图及电子束斑模拟分析插件,用户可直接调整各种像差参数(包括像散、球差、慧差等),实时观察这些参数变化如何影响朗奇图,从而更直观地理解各种像差对朗奇图和电子束斑的影响。此外,插件还提供focus wobble功能,动态显示不同焦距下的朗奇图和电子束斑,模拟实际实验过程中在正焦附近循环调焦时的朗奇图和电子束斑。该插件不仅为初学者理解像差方程提供了直观图像演示,进而更加便捷和迅速地掌握球差校正电镜的调节和使用,也为研究人员提供了一种展示像差方程、朗奇图和电子束斑的图形化工具。
-
关键词
朗奇图
电子束斑
像差校正
图像模拟
-
Keywords
Ronchigram
electron probe
aberration corrector
image simulation
-
分类号
TG115.215.3
[金属学及工艺—物理冶金]
TP391.9
[金属学及工艺—金属学]
TN16
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
-