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题名干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势
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作者
张丕显
张以忱
战春鸣
晋伟达
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机构
沈阳真空技术研究所有限公司
东北大学机械工程与自动化学院
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出处
《真空》
CAS
2024年第3期1-8,共8页
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文摘
干式真空泵作为一种机械真空泵,具有抽速范围宽、抽气腔内无油、元件无摩擦、能耗低、耐腐蚀等优点。因其泵腔内无油或其他工作介质,可以提供相对洁净的真空环境,目前已经成为微电子、半导体、精密加工、新能源装备等行业首选的真空获得设备。本文简述了干式真空泵在半导体制备及新能源装备制造行业中的应用场景,举例说明了部分干式真空泵的产品特性,总结了国内干式真空泵行业发展空间及面临的挑战。
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关键词
干式真空泵
半导体制备
LCD
光伏发电
锂电池制造
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Keywords
dry vacuum pump
semiconductor preparation
LCD
photovoltaic power
lithium battery manufacturing
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分类号
TB752
[一般工业技术—真空技术]
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题名真空定向凝固炉的发展与展望
被引量：3
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作者
宋静思
赵帅
晋伟达
王勃
张哲魁
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机构
沈阳真空技术研究所
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出处
《真空》
CAS
2017年第6期66-73,共8页
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文摘
介绍了已经工业化应用真空定向凝固/单晶(DS/SD)炉的发展历程,同时重点分析了基于HRS与LMC两种方法定向凝固/单晶炉的不同技术特点。阐述未来真空定向凝固/单晶(DS/SD)炉可能的发展方向。
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关键词
定向凝固
单晶叶片
高温合金
HRS
LMC
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Keywords
directional solidification
single crystal blade
super alloy
HRS
LMC
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分类号
TG249.4
[金属学及工艺—铸造]
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题名真空热处理设备PLC温控系统设计
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作者
程建
陈鼎
莫凡
晋伟达
周鑫
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机构
沈阳真空技术研究所
新世界(沈阳)房地产开发有限公司
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出处
《真空》
CAS
2017年第6期55-57,共3页
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文摘
真空热处理设备应用越来越广泛,一般都需要外购温控表控制温度。本文设计了PLC温控系统,在设备自带PLC中利用PID模块设计控温系统,无需外购温控表,大大减少设备成本并降低故障发生。同时,把温控程序与真空设备原有程序放在一个软件系统里编程,可减少通讯线路,系统运行稳定,反应迅速。
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关键词
真空热处理
PID
温控系统
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Keywords
vacuum heat treatment
PID
temperature control system
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分类号
TP311.52
[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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题名真空技术在先进陶瓷制备中的应用
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作者
刘诗梦
赵环宇
王杰
乔忠路
晋伟达
张仁柱
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机构
沈阳真空技术研究所有限公司
沈阳汇真真空技术有限公司
沈阳化工大学材料科学与工程学院
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出处
《真空》
CAS
2024年第4期85-91,共7页
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基金
辽宁省自然科学基金联合基金资助项目(2023-BSBA-271)。
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文摘
先进陶瓷材料具有高硬度、高模量、耐高温、耐腐蚀等结构特性以及优异的热学、光学和电学等功能特性,因此在航天航空、信息技术、国防军工、生物医疗与新能源等领域得到越来越多的应用。高性能先进陶瓷材料需求的增加推动了制备工艺的发展,在陶瓷成型与烧结技术中引入真空技术可以通过改善陶瓷致密度、成分均匀性与晶粒尺寸分布等因素促进其性能的提升。本文着重对真空技术在不同成型与烧结方法中的应用进行了分析归纳,探讨了不同制备方法的特征及真空气氛对于陶瓷性能提升的作用机理,最后对未来的研究方向进行了展望。
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关键词
先进陶瓷
真空技术
成型
烧结
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Keywords
advanced ceramic
vacuum technology
forming
sintering
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分类号
TB32
[一般工业技术—材料科学与工程]
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