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题名PECVD氮化硅薄膜制备工艺研究
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作者
施秉旭
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机构
德州职业技术学院
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出处
《电子世界》
CAS
2021年第14期27-28,共2页
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基金
2019年度德州市市级研发计划项目(951-PECVD制备氮化硅薄膜工艺研究)
山东省教育科学“十三五”规划2020年度课题项目(2020QZC007)。
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文摘
氮化硅具有良好的介电特性(介电常数低、损耗低)、高绝缘性,高致密性的氮化硅对杂质离子有很好的阻挡能力。PECVD法工艺复杂,沉积过程的控制因素较多,沉积条件对介质薄膜的结构与性能有直接的影响。在PECVD淀积过程中必须对多个参数进行控制,因此,优化沉积条件是十分重要的。氧化硅薄膜通常采用PVD和CVD技术来制备。目前,在PECVD系统中,通过反应,获得了氧化硅薄膜。薄膜的沉积是在具有等离子体热系统中进行的,液体源经固定温度加热后,通过管道系统进入沉积室。
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关键词
氮化硅薄膜
PECVD
氧化硅薄膜
制备工艺研究
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分类号
TN3
[电子电信—物理电子学]
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题名PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施
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作者
施秉旭
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机构
德州职业技术学院
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出处
《电子世界》
CAS
2021年第15期150-151,共2页
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基金
2019年度德州市市级研发计划项目(951-PECVD制备氮化硅薄膜工艺研究)
山东省教育科学“十三五”规划2020年度课题项目(2020QZC007)。
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文摘
在太阳能电池片的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料装机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施。氮化硅薄膜具备较好的阻隔钠离子、掩蔽金属以及水蒸气散发的功能,可以加强在硅片上进行光的投射,降低反射,由此加强硅片的光电转化效果。镀膜工艺是制备高效晶体硅太阳能电池的重要步骤之一,通过PECVD镀膜制作较高效率的晶体硅太阳能电池片,这对大范围运用太阳能发电具备及其关键的含义。
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关键词
晶体硅太阳能电池
太阳能电池片
太阳能发电
光电转化
氮化硅薄膜
机械精度
镀膜工艺
钠离子
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分类号
TM9
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名基于单片机的太阳能电池板自动跟踪系统的设计
被引量：5
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作者
施秉旭
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机构
德州职业技术学院
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出处
《电子技术与软件工程》
2016年第3期262-262,共1页
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文摘
在能源被过度消耗的今天,太阳能以其环保和取之不尽的特点作为新型能源得到了全球广泛的关注,其前景非常广阔。但是,使用太阳能也有着一定的局限性。太阳昼夜交替,太阳能只能是间歇使用;太阳位置和太阳光的强度随时间的变化而变化,固定接收太阳能的电池板装置接收的太阳能转化成电能的效率也是有着一定变化的,有时效率是非常低下的。所以,及时准确地确定太阳的位置是非常有必要的。近年来,基于单片机技术,以自动跟踪太阳光运转为目的的新型系统被科学界的研究所关注。这种新型系统能够在整个跟踪太阳光的过程中,自动地调整太阳能电池板朝向和记忆太阳不同时间的不同坐标位置,而且还能够自己更正。它的好处是有着成本低的简单结构,不需要人工调节。无人值守时,能够根据天气变化改变电池板朝向,从而能有效地提升太阳能的吸收转化率和使用率。
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关键词
单片机
光电检测电路
太阳跟踪定位
时钟电路
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分类号
TM914.4
[电气工程—电力电子与电力传动]
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