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生长温度对ZnO薄膜性能的影响 被引量:11
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作者 苏宏波 江南 +4 位作者 蒲勇 王立 李方 文卿 江风益 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1221-1224,共4页
采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3(0001)衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.结果表明,随着生长温度的升高,ZnO薄膜的c轴晶格常数逐... 采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3(0001)衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.结果表明,随着生长温度的升高,ZnO薄膜的c轴晶格常数逐渐增大,a轴晶格常数逐渐变小,同时带隙相应逐渐增大. 展开更多
关键词 ZNO MOCVD X射线双晶衍射 光致发光 应变
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退火温度对ZnO薄膜结构和发光性能的影响 被引量:10
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作者 温战华 王立 +5 位作者 方文卿 蒲勇 罗小平 郑畅达 江南 江风益 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期498-501,共4页
采用常压金属有机物化学气相淀积法在(0001)Al2O3衬底上生长出高质量ZnO单晶膜,在空气中进行了710~860℃不同温度的退火处理.用X射线双晶衍射、光致发光法研究了退火温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.ZnO(002)面X射线双晶ω扫... 采用常压金属有机物化学气相淀积法在(0001)Al2O3衬底上生长出高质量ZnO单晶膜,在空气中进行了710~860℃不同温度的退火处理.用X射线双晶衍射、光致发光法研究了退火温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.ZnO(002)面X射线双晶ω扫描曲线的半高宽(FWHM)随退火温度的升高变小,770℃后基本保持不变,ZnO(102)面双晶。扫描曲线的FWHM一直变小.770℃退火后ZnO样品X射线ω-2θ扫描曲线中出现ZnO2(200)衍射峰.同时,光致发光测试表明,随着退火温度升高,带边发光强度减弱,与深能级有关的绿带发光出现并逐渐增强.通过ICP刻蚀,去除退火后样品的表面层,ω-2θ扫描曲线中ZnO2(200)衍射峰和PL谱中绿带发光均消失,表明ZnO2相和深能级缺陷在样品表面. 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积 氧化锌 X射线双晶衍射 光致发光谱
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衬底温度对常压MOCVD生长的ZnO单晶膜的性能影响 被引量:9
3
作者 熊传兵 方文卿 +4 位作者 蒲勇 江南 王立 莫春兰 江风益 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1628-1633,共6页
以 H2 O作氧源 ,Zn(C2 H5) 2 作 Zn源 ,N2 作载气 ,在 5 0 m m Al2 O3(0 0 0 1)衬底上采用常压 MOCVD技术生长出高质量的 Zn O单晶薄膜 .用 X射线双晶衍射、原子力显微镜和光致发光技术对样品进行了综合表征 ,报道了 Zn O单晶膜的 (10 ... 以 H2 O作氧源 ,Zn(C2 H5) 2 作 Zn源 ,N2 作载气 ,在 5 0 m m Al2 O3(0 0 0 1)衬底上采用常压 MOCVD技术生长出高质量的 Zn O单晶薄膜 .用 X射线双晶衍射、原子力显微镜和光致发光技术对样品进行了综合表征 ,报道了 Zn O单晶膜的 (10 2 )非对称衍射结果 .研究结果表明 ,在 5 0 0~ 70 0℃范围内随生长温度升高 ,Zn O薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽增宽 ,表面粗糙度减小 ,晶粒尺寸增大 ,在衬底温度为 6 0 0℃时生长的 Zn O膜的深能级发射最弱 . 展开更多
关键词 MOCVD ZNO X射线双晶衍射 原子力显微镜 光致发光
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ZnO/AlN/Si(111)薄膜的外延生长和性能研究 被引量:8
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作者 郑畅达 王立 +3 位作者 方文卿 蒲勇 江南 江风益 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期463-466,共4页
用常压金属化学气相沉积法(MOCVD)在Si(111)衬底上制备了马赛克结构ZnO单晶薄膜。引入低温Al N缓冲层以阻止衬底氧化、缓解热失配和晶格失配。薄膜双晶X射线衍射2θ/ω联动扫描只出现了Si(111)、ZnO(000l)及Al N(000l)的衍射峰。ZnO/Al ... 用常压金属化学气相沉积法(MOCVD)在Si(111)衬底上制备了马赛克结构ZnO单晶薄膜。引入低温Al N缓冲层以阻止衬底氧化、缓解热失配和晶格失配。薄膜双晶X射线衍射2θ/ω联动扫描只出现了Si(111)、ZnO(000l)及Al N(000l)的衍射峰。ZnO/Al N/Si(111)薄膜C方向晶格常量为0.5195nm,表明在面方向处于张应力状态;其对称(0002)面和斜对称(1012)面的双晶X射线衍ω摇摆曲线半峰全宽分别为460″和1105″;干涉显微镜观察其表面有微裂纹,裂纹密度为20cm-1;3μm×3μm范围的原子力显微镜均方根粗糙度为1.5nm;激光实时监测曲线表明薄膜为准二维生长,生长速率4.3μm/h。低温10K光致发光光谱观察到了薄膜的自由激子、束缚激子发射及它们的声子伴线。所有结果表明,采用金属化学气相沉积法并引入Al N为缓冲层能有效提高Si(111)衬底上ZnO薄膜的质量。 展开更多
关键词 薄膜光学 ZnO/AlN/Si薄膜生长 常压金属化学气相沉积法 在线监测 结构性能 光致发光
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Ag掺杂ZnO的第一性原理计算 被引量:7
5
作者 万齐欣 熊志华 +4 位作者 饶建平 江南 乐淑萍 王古平 江风益 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期696-700,共5页
采用基于密度泛函理论的第一性原理赝势法对Ag掺杂ZnO的几何结构、杂质形成能和电子结构进行了比较系统的研究.研究表明,掺Ag导致晶格膨胀;在ZnO晶格中,杂质Ag最可能以替代Zn位出现,此时将形成一个深受主能级.文中的计算结果与其他研究... 采用基于密度泛函理论的第一性原理赝势法对Ag掺杂ZnO的几何结构、杂质形成能和电子结构进行了比较系统的研究.研究表明,掺Ag导致晶格膨胀;在ZnO晶格中,杂质Ag最可能以替代Zn位出现,此时将形成一个深受主能级.文中的计算结果与其他研究者的实验结果相吻合. 展开更多
关键词 ZNO AG 第一性原理 电子结构
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AlGaN基深紫外发光二极管研究进展 被引量:9
6
作者 吴峰 江南 陈长清 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第11期2079-2097,共19页
深紫外光源在杀菌消毒、生化检测、紫外固化、紫外通信等方面具有巨大的应用前景,基于AlGaN半导体的深紫外发光二极管(LED)因具有无毒、体积小、能耗低、寿命长、波长可调等优势,得到了广泛的关注和研究。经过近二十年的研究开发,AlGaN... 深紫外光源在杀菌消毒、生化检测、紫外固化、紫外通信等方面具有巨大的应用前景,基于AlGaN半导体的深紫外发光二极管(LED)因具有无毒、体积小、能耗低、寿命长、波长可调等优势,得到了广泛的关注和研究。经过近二十年的研究开发,AlGaN基深紫外LED无论是发光效率和器件寿命都得到了巨大的提升,已逐步开始商业化。然而,相对于GaN基蓝光LED,目前AlGaN基深紫外LED的效率仍旧非常低,还有很大的提升空间。本文首先介绍了深紫外LED的发展现状,并分析了导致器件效率低的原因。然后,分别从内量子效率、光提取效率以及电光转换效率三个方面对目前AlGaN基深紫外LED的研究状况进行了系统的回顾,总结了目前提高发光效率的各种手段和方法。最后对AlGaN基深紫外LED的未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 ALGAN 深紫外LED 内量子效率 光提取效率 电光转换效率
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常压化学气相沉积法在Ag/Si(111)模板上生长ZnO薄膜及其性能研究 被引量:6
7
作者 邵碧琳 江风益 +3 位作者 江南 王立 方文卿 蒲勇 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1115-1118,共4页
在Si衬底上利用磁控溅射的方法沉积1.5 nm厚度的Ag膜用以阻挡Si衬底被氧化。采用常压金属有机化学气相沉积法(MOVCD),在Ag/Si(111)衬底上成功地生长出马赛克结构的ZnO薄膜。用光学显微镜观察表面形貌,结果显示有带晶向特征的微裂纹,裂... 在Si衬底上利用磁控溅射的方法沉积1.5 nm厚度的Ag膜用以阻挡Si衬底被氧化。采用常压金属有机化学气相沉积法(MOVCD),在Ag/Si(111)衬底上成功地生长出马赛克结构的ZnO薄膜。用光学显微镜观察表面形貌,结果显示有带晶向特征的微裂纹,裂纹密度为100 cm-1。依据X射线晶体衍射的结果,薄膜结晶质量良好,呈C轴高度择优取向。用双晶X射线衍射得到(002)面的ω扫描半峰宽为1.37°。温度10 K时光致发光谱(PL)观察到自由激子、束缚激子发射及它们的声子伴线。结果表明,金属有机化学气相沉积法方法在Si(111)衬底上制备ZnO薄膜时,Ag是一种有效的缓冲层。 展开更多
关键词 薄膜光学 氧化锌 AG SI衬底 金属有机化学气相沉积法
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N_2O为氧源金属有机化学气相沉积生长ZnO薄膜的光学性能研究 被引量:5
8
作者 苏宏波 江南 +3 位作者 王立 蒲勇 方文卿 江风益 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1112-1114,共3页
采用常压金属有机化学气相沉积(AP-MOCVD)技术、三步生长法,分别以H2O和N2O为氧源,DEZn为Zn源,N2作载气,在c-Al2O3衬底上生长出了晶体质量较好的ZnO薄膜。用X射线双晶衍射(DCXRD)和光致发光谱对ZnO薄膜的结晶性能和光学性质进行表征。... 采用常压金属有机化学气相沉积(AP-MOCVD)技术、三步生长法,分别以H2O和N2O为氧源,DEZn为Zn源,N2作载气,在c-Al2O3衬底上生长出了晶体质量较好的ZnO薄膜。用X射线双晶衍射(DCXRD)和光致发光谱对ZnO薄膜的结晶性能和光学性质进行表征。结果显示,ZnO倾斜对称面(10-12)的ω扫描半峰全宽为350″,表明ZnO薄膜结晶性能良好;低温10 K光致发光谱结果表明,N2O为氧源生长的ZnO膜和H2O为氧源生长的ZnO膜的发光特性明显不同,没有观察到与氢有关的中性施主束缚激子对应的3.331 eV双电子卫星峰(TES)。这一结果表明,用N2O为氧源生长的ZnO薄膜中不易引进氢杂质。 展开更多
关键词 薄膜光学 双电子卫星峰 光致发光 常压有机金属化学气相沉积 ZNO N2O
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EOC技术在台州广电网络的应用 被引量:6
9
作者 江南 《中国有线电视》 2008年第5期474-476,共3页
介绍HFC网络双向改造中的EOC技术背景、现状,对主要的EOC技术进行比较,分析各自适用的网络环境。最后介绍HomePlug AV技术方案在台州广电网络中的应用情况和注意事项。
关键词 EOC 双向改造 HOMEPLUG AV
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常压MOCVD生长Ga_2O_3薄膜及其分析 被引量:4
10
作者 江南 王立 +5 位作者 方文卿 蒲勇 李璠 郑畅达 刘卫华 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期417-420,共4页
以去离子水(H2O)和三甲基镓(TMGa)为源材料,用常压MOCVD方法在蓝宝石(0001)面上生长出β-Ga2O3薄膜。用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)以及二次离子质谱(SIMS)实验表征Ga2O3外延膜的质量。在X射线衍射谱中有一个强的Ga2O3(1-02)面... 以去离子水(H2O)和三甲基镓(TMGa)为源材料,用常压MOCVD方法在蓝宝石(0001)面上生长出β-Ga2O3薄膜。用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)以及二次离子质谱(SIMS)实验表征Ga2O3外延膜的质量。在X射线衍射谱中有一个强的Ga2O3(1-02)面衍射峰,其半峰全宽(FWHM)为0.25°,表明该Ga2O3外延膜是(1-02)择优取向。在二次离子质谱中除了C、H、O和Ga原子外,没有观测到其他原子。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 氧化镓 原子力显微镜 X射线衍射 二次离子质谱
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ZnO/GaN/Al_2O_3的X射线双晶衍射研究 被引量:3
11
作者 江南 王立 +2 位作者 方文卿 蒲勇 江风益 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2004年第4期427-431,共5页
以H2O作氧源,Zn(C2H5)2作Zn源,N2作载气,以GaN/Al2O3为衬底采用常压MOCVD技术生长了高质量的ZnO单晶膜。用X射线双晶衍射技术测得其对称衍射(0002)面ω扫描半峰宽(FWHM)为404arcsec,表明所生长的ZnO膜具有相当一致的C轴取向;其对称衍射(... 以H2O作氧源,Zn(C2H5)2作Zn源,N2作载气,以GaN/Al2O3为衬底采用常压MOCVD技术生长了高质量的ZnO单晶膜。用X射线双晶衍射技术测得其对称衍射(0002)面ω扫描半峰宽(FWHM)为404arcsec,表明所生长的ZnO膜具有相当一致的C轴取向;其对称衍射(0004)面ω-2θ扫描半峰宽为358arcsec,表明所生长的ZnO单晶膜性能良好;同时,该ZnO薄膜的非对称衍射(1012)面ω扫描半峰宽为420arcsec,表明所生长的ZnO膜的位错密度为108cm-2,与具有器件质量的GaN材料相当。 展开更多
关键词 MOCVD ZNO GAN X射线双晶衍射
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退火对常压MOCVD法生长的高结晶性能ZnO薄膜发光特性的影响 被引量:4
12
作者 陈玉凤 温战华 +3 位作者 王立 江南 方文卿 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期611-616,共6页
研究了氧气退火和氮气退火对ZnO薄膜发光特性的影响。ZnO膜是采用常压金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石(0001)衬底上生长的。原生样品1有一很强的紫外峰及较强的绿光峰(525 nm附近);原生样品2有很强的紫外峰,深能级发光几乎观察... 研究了氧气退火和氮气退火对ZnO薄膜发光特性的影响。ZnO膜是采用常压金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石(0001)衬底上生长的。原生样品1有一很强的紫外峰及较强的绿光峰(525 nm附近);原生样品2有很强的紫外峰,深能级发光几乎观察不到。然后从不同原生膜上取两块小样品,分别在氧气和氮气中退火,退火温度是400,500,600,700,800℃。结果表明,在700℃以下退火,退火气氛对ZnO膜的深能级发光影响较大;超过700℃后,退火温度对ZnO薄膜的发光影响大,但退火气氛影响不太明显。通过退火对ZnO薄膜发光特性的影响,讨论了ZnO膜中525 nm附近绿光峰的起源。 展开更多
关键词 退火 薄膜 ZnO 金属有机化学气相沉积 绿光
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常压MOCVD生长ZnO/GaN/Al_2O_3薄膜及其性能 被引量:2
13
作者 江南 王立 +6 位作者 方文卿 蒲勇 莫春兰 熊传兵 郑畅达 刘卫华 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期772-776,共5页
以去离子水(H2O)和二乙基锌(DEZn)为源材料,生长温度是680℃时,利用常压MOCVD在GaN/A l2O3模板上成功生长了ZnO单晶薄膜,用原子力显微镜(AFM)、X射线双晶衍射(DCXRD)、光致发光谱(PL)对ZnO薄膜的表面形貌、结晶学性质、光学性质作了综... 以去离子水(H2O)和二乙基锌(DEZn)为源材料,生长温度是680℃时,利用常压MOCVD在GaN/A l2O3模板上成功生长了ZnO单晶薄膜,用原子力显微镜(AFM)、X射线双晶衍射(DCXRD)、光致发光谱(PL)对ZnO薄膜的表面形貌、结晶学性质、光学性质作了综合研究。双晶衍射表明,ZnO非对称(101-2)面ω扫描的半峰全宽(FWHM)仅为420 arcsec,估算所生长ZnO膜的位错密度大约为108/cm2量级,这与具有器件质量的GaN材料的位错密度相当。在ZnO薄膜的低温15 K光荧光谱中,观察到很强的自由激子和束缚激子发射以及自由激子与束缚激子的多级声子伴线。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 GaN/Al2O 原子力显微镜 X射线双晶衍射 光致发光
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MOCVD方法在Ti/Si(111)模板上生长ZnO薄膜的研究 被引量:3
14
作者 李冬梅 李璠 +5 位作者 苏宏波 王立 江南 蒲勇 方文卿 江风益 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期63-65,70,共4页
本文采用常压MOCVD方法在Ti/S i(111)模板上生长了氧化锌(ZnO)薄膜,使用二乙基锌为Zn源,去离子水为O源。S i衬底上的Ti薄层采用电子束蒸发台蒸发,然后低温生长缓冲层并在高温下进行重结晶,接着在680℃进行ZnO薄膜的生长。采用粉末衍射... 本文采用常压MOCVD方法在Ti/S i(111)模板上生长了氧化锌(ZnO)薄膜,使用二乙基锌为Zn源,去离子水为O源。S i衬底上的Ti薄层采用电子束蒸发台蒸发,然后低温生长缓冲层并在高温下进行重结晶,接着在680℃进行ZnO薄膜的生长。采用粉末衍射法、双晶X射线衍射及光致发光技术研究了材料的取向、结晶性能及发光性能。结果表明,本文制备了高度择优取向和良好发光性能的ZnO薄膜。 展开更多
关键词 氧化锌 金属Ti SI衬底 金属有机化学气相沉积
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法国、德国铁路客运站考察与思考 被引量:3
15
作者 江南 《铁道运输与经济》 北大核心 2009年第3期12-15,共4页
在介绍法国、德国铁路客运站考察情况的基础上,对欧洲国家铁路客运站经营管理中以市场为导向的运营机制、强大的信息处理平台、灵活的票价政策、完善的营销机制、自助式的服务理念、商业化的运作方式等共性问题进行了分析与思考,并对武... 在介绍法国、德国铁路客运站考察情况的基础上,对欧洲国家铁路客运站经营管理中以市场为导向的运营机制、强大的信息处理平台、灵活的票价政策、完善的营销机制、自助式的服务理念、商业化的运作方式等共性问题进行了分析与思考,并对武汉铁路局客运专线的开通运营提出相关建议。 展开更多
关键词 铁路 客运站 旅客运输 考察
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职业本科教育的学理阐释、发展困境及路径策略研究
16
作者 熊文林 易苗 江南 《湖北开放大学学报》 2023年第6期23-29,共7页
职业本科教育是理论、实践和技术三重逻辑的叠加,是高等性和职业性的有机整体,是变与不变的辩证统一。职业本科教育制度建设中存在着数量偏少、内容宽泛、不够系统等问题,学校也存在着升格政策受限、培养定位不清、办学条件匮乏等困境... 职业本科教育是理论、实践和技术三重逻辑的叠加,是高等性和职业性的有机整体,是变与不变的辩证统一。职业本科教育制度建设中存在着数量偏少、内容宽泛、不够系统等问题,学校也存在着升格政策受限、培养定位不清、办学条件匮乏等困境。基于此,一是要从打破传统桎梏、厘清内涵特征、明确路径指向三个方面着手统一思想认识,确立职业本科教育发展路径;二是要从完善招生制度、研制标准体系、探索学位制度、建立评价体系四个方面完善制度标准,明确职业本科教育质量遵循;三是要从服务管理转变更新、专业建设迭代升级、师资能力提升适配、优质资源提质增效四个方面强调学校主责,提升职业本科教育办学内涵;四是要从统筹发展、内外兼修、力争发声三个方面打造职业本科学校示范标杆,引领职业本科教育良性发展。 展开更多
关键词 职业本科教育 学理阐释 发展困境 路径策略
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Cascaded deep ultraviolet light-emitting diode via tunnel junction 被引量:4
17
作者 Huabin Yu Zhongjie Ren +8 位作者 Muhammad Hunain Memon Shi Fang Danhao Wang Zhongling Liu Haochen Zhang Feng Wu Jiangnan Dai Changqing Chen Haiding Sun 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第8期95-99,共5页
The Al Ga N-based deep ultraviolet(DUV)light-emitting diode(LED)is an alternative DUV light source to replace traditional mercury-based lamps.However,the state-of-the-art DUV LEDs currently exhibit poor wall-plug effi... The Al Ga N-based deep ultraviolet(DUV)light-emitting diode(LED)is an alternative DUV light source to replace traditional mercury-based lamps.However,the state-of-the-art DUV LEDs currently exhibit poor wall-plug efficiency and low light output power,which seriously hinder their commercialization.In this work,we design and report a tunnel-junctioncascaded(TJC)DUV LED,which enables multiple radiative recombinations within the active regions.Therefore,the light output power of the TJC-DUV LEDs is more than doubled compared to the conventional DUV LED.Correspondingly,the wall-plug efficiency of the TJC-DUV LED is also significantly boosted by 25%at 60 m A. 展开更多
关键词 deep ultraviolet LED tunnel junction wall-plug efficiency ALGAN
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高纵横比单层MoS_(2)纳米-微米带的可控合成及其在高性能光电晶体管中的应用
18
作者 蹇鹏承 谭仕周 +7 位作者 郑志华 刘伟杰 赵永明 许丹 王鹏 江南 吴峰 陈长清 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期3941-3948,共8页
本文报道了一种快速、可控合成单层MoS_(2)纳米-微米带的方法:通过在蓝宝石衬底上旋涂Na_(2)MoO_(4)和NaOH的混合溶液后一步化学气相沉积硫化的方式进行生长.其中,通过改变NaOH的浓度,对气-液-固生长过程中的反应物液滴流动性进行调控,... 本文报道了一种快速、可控合成单层MoS_(2)纳米-微米带的方法:通过在蓝宝石衬底上旋涂Na_(2)MoO_(4)和NaOH的混合溶液后一步化学气相沉积硫化的方式进行生长.其中,通过改变NaOH的浓度,对气-液-固生长过程中的反应物液滴流动性进行调控,我们实现了对所获得的MoS_(2)的形貌和取向的调控;同时,通过改变生长时间,可以实现对MoS_(2)层数的调控.利用这种方法,我们获得了最窄宽度仅为200 nm,纵横比超过100的单层MoS_(2)纳米-微米带,且表征证明其具有很高的晶体质量.同时,我们还用该MoS_(2)纳米带作为沟道材料,制备了光电晶体管,测试表明其具有高达9×10^(5)的电流开/关比、超过10^(5)的光暗电流比以及高达8.6 A W^(-1)的响应度,展现了其在电子和光电子器件中的应用潜力. 展开更多
关键词 MoS_(2)ribbons controllable synthesis chemical vapor deposition high-performance phototransistors
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缓冲层厚度对Ti/Si模板上生长ZnO薄膜的影响 被引量:1
19
作者 李璠 李冬梅 +4 位作者 江南 王立 蒲勇 方文卿 江风益 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2007年第2期181-185,共5页
采用常压MOCVD法,以二乙基锌和去离子水为源,在不同厚度的ZnO缓冲层上生长了一组ZnO薄膜。分别采用X射线衍射(XRD)、干涉显微镜和光致发光谱(PL)对样品的结晶性能、表面形貌和发光性能进行分析,结果表明,随着缓冲层的引入,ZnO外延膜的... 采用常压MOCVD法,以二乙基锌和去离子水为源,在不同厚度的ZnO缓冲层上生长了一组ZnO薄膜。分别采用X射线衍射(XRD)、干涉显微镜和光致发光谱(PL)对样品的结晶性能、表面形貌和发光性能进行分析,结果表明,随着缓冲层的引入,ZnO外延膜的质量得到很大提高,缓冲层的厚度对外延ZnO薄膜的质量有很大的影响,当缓冲层厚度为60 nm时,ZnO薄膜的结晶性能最好,表现出高度的择优取向,(002)面的ω摇摆曲线半峰全宽仅为1.72°,其表面平整,表现出二维生长的趋势,室温光致发光谱中只有与自由激子复合有关的近紫外发光峰,几乎观察不到与缺陷有关的深能级发光。 展开更多
关键词 ZNO 缓冲层 Ti/Si模板 MOCVD
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常压MOCVD生长的ZnO薄膜的电学性能 被引量:1
20
作者 周鹏 王立 +3 位作者 方文卿 蒲勇 江南 江风益 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期502-507,共6页
利用常压MOCVD法在蓝宝石(0001)衬底上沉积了非故意掺杂 ZnO单晶薄膜.用 Van der Pauw法测量了其从15K到室温的载流子浓度和霍耳迁移率,并用双层结构单施主模型对载流子浓度和迁移率进行了拟合分析.研究表明:ZnO薄膜浅施主能级为20 4meV... 利用常压MOCVD法在蓝宝石(0001)衬底上沉积了非故意掺杂 ZnO单晶薄膜.用 Van der Pauw法测量了其从15K到室温的载流子浓度和霍耳迁移率,并用双层结构单施主模型对载流子浓度和迁移率进行了拟合分析.研究表明:ZnO薄膜浅施主能级为20 4meV,温度较低时,以电离杂质散射为主,温度较高时,以极性光学波散射为主. 展开更多
关键词 ZnO MOCVD 迁移率 载流子浓度
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