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题名TCAD在“半导体工艺”课程中应用的教学探讨
被引量：3
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作者
戚玉婕
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机构
扬州职业大学
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出处
《扬州教育学院学报》
2013年第3期85-88,共4页
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文摘
分析了TCAD技术的主要功能,探讨其在"半导体工艺"课程教学中的应用。并以半导体工艺中的蚀刻为例,利用TCAD技术中ATHENA工艺仿真模块,对比了湿法蚀刻和干法蚀刻的特点。
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关键词
TCAD
ATHENA
半导体工艺
蚀刻
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Keywords
TCAD
ATHENA
Semiconductor Technology
etching
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分类号
TN305-4
[电子电信—物理电子学]
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题名智能车光电传感器和摄像头的选择
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作者
戚玉婕
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机构
扬州职业大学
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出处
《扬州职业大学学报》
2011年第4期23-26,共4页
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文摘
智能车设计综合了光学传感器、硬件电路和软件算法等多方面跨领域的知识技巧。本文针对黑白赛道智能车的赛道光学识别模块,系统地介绍了红外反射式光电传感器、激光传感器和可见光摄像头的实现原理及硬件电路;同时结合实际比较了其优缺点。
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关键词
红外反射式传感器
激光传感器
摄像头
智能车设计
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Keywords
infrared photoelectric sensor
laser sensor
camera
intelligent car designing
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响
被引量：3
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作者
戚玉婕
车录锋
孙腾
王跃林
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机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
中国科学院研究生院
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期26-30,共5页
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基金
国家高技术研究与发展计划(863计划)资助项目(2008AA042201)
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文摘
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应。首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建立了带有延时的系统模型,进一步结合实际PCB板的测量,分析了不同反馈补偿参数下的阶跃响应和幅频响应曲线。实验结果表明,合适的反馈补偿参数能有效地降低系统Q值,改善动态响应。最后得出了该电容式加速度计在闭环系统下的较优比例微分参数的选择策略。
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关键词
电容式加速度计
反馈补偿参数
Q值
微机械系统
MATLAB
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Keywords
capacitive accelerometer
feedback compensation parameter
Q factor
micro- electro-mechanical system （MEMS）
MATLAB
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
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