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基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究
1
作者 李翔 姜小蛟 +3 位作者 战春鸣 刘昂 孙宁 李加平 《真空》 CAS 2024年第4期6-11,共6页
晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以... 晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以及对应排布方案,以温度均匀性为优化目标,获取最优设计方案。经不同方案验证,该模型的精度在98%以上,可显著提升加热盘设计效率,为人工智能在加热盘设计领域的应用提供可能性。此外,基于传热学理论,提出了一种加热盘控温能力的设计方法,通过一维计算的方式,为加热盘控温能力的优化设计起到了指导作用。 展开更多
关键词 半导体 真空镀膜设备 晶圆加热盘 水冷 回归模型 控温能力
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分子泵体积流率检测标准方法的探讨
2
作者 乔忠路 王玲玲 +3 位作者 李智慧 刘诗梦 宋青竹 战春鸣 《真空》 CAS 2024年第4期58-64,共7页
全面论述了分子泵的发展、体积流率检测方法及应用等内容。介绍了分子泵体积流率测量的国内外标准,重点探讨了流量法和小孔法两种体积流率测试方法,以FF-160/620C分子泵为对象,分别用这两种方法测量了其在特定压力下的体积流率,详细介... 全面论述了分子泵的发展、体积流率检测方法及应用等内容。介绍了分子泵体积流率测量的国内外标准,重点探讨了流量法和小孔法两种体积流率测试方法,以FF-160/620C分子泵为对象,分别用这两种方法测量了其在特定压力下的体积流率,详细介绍了测量原理、流程、结果及不确定度。结果表明,在流量计满足要求的情况下,流量法更具优势。最后介绍了分子泵在特殊工况下如强磁、耐腐蚀等环境下的测量方法和意义。 展开更多
关键词 分子泵 体积流率 流量法 小孔法
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干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势
3
作者 张丕显 张以忱 +1 位作者 战春鸣 晋伟达 《真空》 CAS 2024年第3期1-8,共8页
干式真空泵作为一种机械真空泵,具有抽速范围宽、抽气腔内无油、元件无摩擦、能耗低、耐腐蚀等优点。因其泵腔内无油或其他工作介质,可以提供相对洁净的真空环境,目前已经成为微电子、半导体、精密加工、新能源装备等行业首选的真空获... 干式真空泵作为一种机械真空泵,具有抽速范围宽、抽气腔内无油、元件无摩擦、能耗低、耐腐蚀等优点。因其泵腔内无油或其他工作介质,可以提供相对洁净的真空环境,目前已经成为微电子、半导体、精密加工、新能源装备等行业首选的真空获得设备。本文简述了干式真空泵在半导体制备及新能源装备制造行业中的应用场景,举例说明了部分干式真空泵的产品特性,总结了国内干式真空泵行业发展空间及面临的挑战。 展开更多
关键词 干式真空泵 半导体制备 LCD 光伏发电 锂电池制造
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不同田径教学内容对学生情境兴趣激发的实验研究 被引量：1
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作者 战春鸣 《当代体育科技》 2019年第2期120-121,共2页
田径运动作为我国校园体育中最重要的一部分内容,而多数学校田径运动在体育教学中的教学效果也并不突出,并且学生对田径的兴趣也处于一个下降的趋势。所以,若是想改变这种困境就要从田径的教学内容开始改变,以学生自身的兴趣作为教学的... 田径运动作为我国校园体育中最重要的一部分内容,而多数学校田径运动在体育教学中的教学效果也并不突出,并且学生对田径的兴趣也处于一个下降的趋势。所以,若是想改变这种困境就要从田径的教学内容开始改变,以学生自身的兴趣作为教学的起点,引入新式并且符合学生自身性格特性以及兴趣的运动方式,以此充分激发学生对田径的学习兴趣。因此以下笔者将对某校的田径教学运用实验研究的方式,对不同的田径教学内容对学生的情境兴趣激发会产生什么影响展开研究。 展开更多
关键词 田径 教学内容 情境兴趣 激发影响 实验研究
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浅析短跑项目动作内涵与运动学原理
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作者 战春鸣 《文体用品与科技》 2018年第18期174-175,共2页
本文在以百米短跑迅速发展为背景，在大量阅读短跑相关文献资料与田径方面有关运动学专著的基础上，结合百米项目具体运动特征，对短跑运动项目的动作内涵和短跑运动项目的运动学原理进行分析讨论。旨在为田径短跑运动的理论研究，以及... 本文在以百米短跑迅速发展为背景，在大量阅读短跑相关文献资料与田径方面有关运动学专著的基础上，结合百米项目具体运动特征，对短跑运动项目的动作内涵和短跑运动项目的运动学原理进行分析讨论。旨在为田径短跑运动的理论研究，以及教练员和远动员在训练和比赛实践中提供参照与借鉴。 展开更多
关键词 短跑 动作内涵 运动学原理
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冬奥运时期我国冰雪运动可持续发展战略研究 被引量：2
6
作者 战春鸣 《体育风尚》 2020年第3期224-224,共1页
在对奥运会期间中国冰雪运动可持续发展的国内外环境进行系统分析的基础上,建立了中国冰雪运动可持续发展的价值标准,揭示了我国冰雪运动可持续发展的价值标准。问题和发展战略的实质,然后进行研发。战略目标的制定,以及奥运会的发展,... 在对奥运会期间中国冰雪运动可持续发展的国内外环境进行系统分析的基础上,建立了中国冰雪运动可持续发展的价值标准,揭示了我国冰雪运动可持续发展的价值标准。问题和发展战略的实质,然后进行研发。战略目标的制定,以及奥运会的发展,是继中国冰雪运动标准的可持续发展之后。 展开更多
关键词 冬季项目 冬奥会 雪上运动 可持续发展
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