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滚转角测量方法的研究 被引量:8
1
作者 殷纯永 谢广平 +1 位作者 戴高良 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第10期86-91,共6页
采用直角坐标系统的机床或测量机共有21项结构误差,其中18项误差可以用现成的干涉仪测量,另外3项滚转角误差没有现成的仪器测量。提出了一种动态测量滚转角误差的方法,基于偏振面旋转角的测量,用半波片作传感元件,自动读出法... 采用直角坐标系统的机床或测量机共有21项结构误差,其中18项误差可以用现成的干涉仪测量,另外3项滚转角误差没有现成的仪器测量。提出了一种动态测量滚转角误差的方法,基于偏振面旋转角的测量,用半波片作传感元件,自动读出法给出测量结果。文中介绍了3个关键的问题:法拉第盒的设计、反馈方法消除旋光漂移以及进一步提高分辨率的方法。实验结果表明,这种方法具有良好的线性,分辨率为0.1″,漂移量为0.15(″)/h。 展开更多
关键词 滚转角 磁光调制 测量 机床 加工精度
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双折射双频激光器输出光偏振特性的实验研究 被引量:6
2
作者 张书练 +1 位作者 殷纯永 郭继华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第5期548-551,共4页
报道了双折射双频激光器输出光偏振特性的实验研究。实验发现双折射双频激光器两端输出的线偏振光的偏振方向并不一致,而相互有一定的旋转角度。实验也再次证明了激光器输出的是正交线偏振光,而不是晶体本征模的椭圆化了的偏振光。
关键词 双折射双频 激光器 偏振 输出光 实验
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双折射双频激光器偏振特性的分析 被引量:6
3
作者 郭继华 神帅 +3 位作者 蒋建华 张书练 殷纯永 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期32-36,共5页
用激光原理和晶体光学原理分析了腔内加旋光晶体的激光器输出光的偏振特性。实验和分析表明:激光器输出两束不同频率的垂直线偏振光;激光器两端输出光的偏振面有一夹角α,且此夹角与晶轴和传光方向的夹角θ有关。理论计算结果与在双... 用激光原理和晶体光学原理分析了腔内加旋光晶体的激光器输出光的偏振特性。实验和分析表明:激光器输出两束不同频率的垂直线偏振光;激光器两端输出光的偏振面有一夹角α,且此夹角与晶轴和传光方向的夹角θ有关。理论计算结果与在双折射双频激光器的实验结果符合很好。 展开更多
关键词 偏振特性 激光器 旋光晶体 氦氖激光器
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用双频激光干涉仪实时修正阿贝误差的方法和实验 被引量:2
4
作者 谢广平 +1 位作者 王泽民 殷纯永 《制造技术与机床》 CSCD 1994年第10期8-10,共3页
讨论了对机床及某些测量仪器的阿贝误差进行实时修正的方法、原理和组成,同时介绍了验证该方法的实验装置及实测结果,在2.5m的行程内,将最大19.4μm的阿贝误差修正到1.3μm。
关键词 实时修正 几何误差 违阿贝结构
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一种实现高精度稳定Zeeman激光频差的方法 被引量:3
5
作者 郭继华 殷纯永 《激光技术》 EI CAS CSCD 1996年第2期95-98,共4页
为了使双频激光干涉仪的高精度和可靠性能够在当前急需解决的大尺寸高精度同轴度、直线度测量方面有效的发挥出来,有必要在双频激光干涉仪的信号处理方面采用比相技术,为此,需要稳定Zeeman激光的频差。本文提出一种基于809... 为了使双频激光干涉仪的高精度和可靠性能够在当前急需解决的大尺寸高精度同轴度、直线度测量方面有效的发挥出来,有必要在双频激光干涉仪的信号处理方面采用比相技术,为此,需要稳定Zeeman激光的频差。本文提出一种基于8098单片机系统的智能化稳频差方案,不但保证了频差的稳定性,而且每次开机还能自动搜寻频差极值,从而保证了光频的复现性。系统经过实验验证,频差变化小于5kHz/5h,工作稳定可靠,可以满足比相的要求。 展开更多
关键词 Zeeman激光 频差 稳频 双频激光干涉仪
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长距离同轴度测量方法及实验 被引量:2
6
作者 方仲彦 +1 位作者 殷纯永 郭继华 《计量学报》 CSCD 北大核心 1997年第2期85-89,共5页
本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统,该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜,一个作为测量元件,另一个作为补偿元件。采用比相技术处理测量信号,因而测量元件可以暂时移出光路,能够进行同轴度的测量。系统的光学设... 本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统,该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜,一个作为测量元件,另一个作为补偿元件。采用比相技术处理测量信号,因而测量元件可以暂时移出光路,能够进行同轴度的测量。系统的光学设计使激光光束的平漂和角漂不影响测量结果,对激光的漂移有自适应性。两束干涉光基本符合共光路原则,因而对大气湍流、空气扰动的影响具有更强的适应性,可用于长距离直线度、同轴度的测量。该系统与HP5528双频激光干涉仪在27m的长导轨上进行了测量直线度的比对实验及挡光实验。比对实验结果表明,该系统在测量精度及稳定性上不低于HP5528。挡光实验表明,该系统挡光后,数据能够自动恢复,可用于同轴度的测量。 展开更多
关键词 直线度测量 同轴度测量 自适应 双频激干涉仪
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磁光调制器的热分析 被引量:2
7
作者 方仲彦 +1 位作者 殷纯永 陈文 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期33-37,55,共6页
本文用有限元法对磁光调制器的热特性和温度分布进行了计算分析,与实验测量结果比较,二者符合良好。基于理论计算,对旋光准直仪中的磁光调制器进行了改进,使开机后的预热时间缩短了60%,磁光介质的温升降低了30%。
关键词 磁光调制器 热分析 调制器
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自适应双频激光准直系统的原理及实验
8
作者 方仲彦 +1 位作者 殷纯永 郭继华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第10期1456-1459,共4页
介绍了一种新型自适应双频激光准直系统,该系统利用了两个完全对称的渥拉斯顿棱镜,一个作为测量元件,另一个作为补偿元件。对测量信号的处理,采用比相技术,测量元件可以暂时移出光路,因而能够进行同轴度的测量。两束干涉光基本符... 介绍了一种新型自适应双频激光准直系统,该系统利用了两个完全对称的渥拉斯顿棱镜,一个作为测量元件,另一个作为补偿元件。对测量信号的处理,采用比相技术,测量元件可以暂时移出光路,因而能够进行同轴度的测量。两束干涉光基本符合共光路原则,适应于长距离的准直测量。系统的光学设计使激光光束的平漂和角漂不影响测量结果,对激光的漂移有自适应性。本文对其自适应性进行了理论分析并进行了实验验证。 展开更多
关键词 准直测量 自适应 激光准直系统
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自适应原则在激光准直仪中的应用
9
作者 郭继华 殷纯永 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期21-23,共3页
介绍了根据光学自适应原则设计的外差自适应激光准直系统。包括确定主要噪声因子以及对主要噪声因子实现光学自适应设计。该光学系统可以自动消除由于光束平移和角漂对测量产生的误差。同时允许在测量过程中将测量元件移出光路之外,因... 介绍了根据光学自适应原则设计的外差自适应激光准直系统。包括确定主要噪声因子以及对主要噪声因子实现光学自适应设计。该光学系统可以自动消除由于光束平移和角漂对测量产生的误差。同时允许在测量过程中将测量元件移出光路之外,因此可以用于同轴度测量。实验表明:该系统比其它准直仪具有更高的分辨率和稳定性。与HP公司双频激光准直仪相比具有相同的分辨率和稳定性,而没有近程死区,实现了状态测量,具有广泛的应用范围。 展开更多
关键词 自适应原则 直线度 激光准直仪 准直仪
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