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一种宽频带RF MEMS开关的设计研究
被引量：
4
1
作者
王雄师
张斌珍
+1 位作者
段俊萍
徐
苏
坪
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期341-344,共4页
针对现阶段常用的射频微机电系统(RF MEMS)开关频带窄和稳定性差这个特点,本文提出了一种结型梁RF MEMS开关,该微结构采用了的共面波导线的传输线形式以便于与其他器件串并联,使用结型梁增强了开关的稳定性。首先就RF MEMS开关模型的设...
针对现阶段常用的射频微机电系统(RF MEMS)开关频带窄和稳定性差这个特点,本文提出了一种结型梁RF MEMS开关,该微结构采用了的共面波导线的传输线形式以便于与其他器件串并联,使用结型梁增强了开关的稳定性。首先就RF MEMS开关模型的设计及工作原理进行介绍,然后利用有限元分析软件ANSYS对其驱动电压进行分析,并进一步利用HFSS高频仿真软件,针对结型梁结构的RF MEMS开关进行射频性能的分析优化,得到了在频带宽为45 GHz,在15~60 GHz插入损耗小于0.15dB,隔离度高达52dB的RF MEMS开关,最后验证了其在较高加速度冲击条件下依然具有较高的稳定性,适用于恶劣环境。
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关键词
RF
MEMS开关
驱动电压
插入损耗
隔离度
宽频带
高稳定性
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职称材料
一种微型电磁式振动能量收集器的设计研究
被引量：
3
2
作者
王雄师
张斌珍
+1 位作者
段俊萍
徐
苏
坪
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第8期815-820,共6页
针对现阶段常用的能量收集器收集效率低和寿命短这个特点,本文提出了一种微型能量收集器,该微结构与收集系统相结合提高了能量收集效率,优化结构参数延长了寿命。本文首先就电磁式振动能量收集器设计的一般原理进行分析,利用ANSYS Workb...
针对现阶段常用的能量收集器收集效率低和寿命短这个特点,本文提出了一种微型能量收集器,该微结构与收集系统相结合提高了能量收集效率,优化结构参数延长了寿命。本文首先就电磁式振动能量收集器设计的一般原理进行分析,利用ANSYS Workbench有限元仿真软件,针对不同梁结构的能量收集器进行静力学和模态分析,并进一步研究四梁能量收集器的梁长、宽及高对最大位移和频率的影响,最后利用ncode-Designlife针对四梁结构寿命特性分析,得到较高加速度冲击条件下寿命可达3.092×10^(18)次的微型能量收集器。
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关键词
微型能量收集器
低频
模态分析
疲劳分析
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职称材料
毫米波腔体滤波器谐振腔平整度误差研究
被引量：
3
3
作者
南雪莉
张斌珍
+1 位作者
赵龙
徐
苏
坪
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期341-344,共4页
平整度误差引起的寄生量变化对毫米波滤波器的自谐振频率及品质因数有重大影响,为获得低插损、高品质因数的滤波器结构,针对滤波器制作中存在的平整度误差,该文开展了一系列的研究。通过对基于SU-8胶的毫米波腔体滤波器电铸工艺实验的...
平整度误差引起的寄生量变化对毫米波滤波器的自谐振频率及品质因数有重大影响,为获得低插损、高品质因数的滤波器结构,针对滤波器制作中存在的平整度误差,该文开展了一系列的研究。通过对基于SU-8胶的毫米波腔体滤波器电铸工艺实验的反复探索,制定出一套能减小毫米波滤波器谐振腔平整度误差的最优电铸方案,即利用脉冲小电流进行电铸。实验结果表明,利用50mA小电流密度电铸能快速获得平整致密高质量的滤波器谐振腔,其铸层表面平整度误差小于2μm;制作精度高,且能实现快速制作。可见,小电流脉冲电铸得到的铸层平整、致密,可有效减小毫米波滤波器的寄生效应,提高系统的精度及灵敏度。
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关键词
毫米波腔体滤波器
谐振腔平整度
电铸铜
脉冲电铸
小电流
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职称材料
基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作(英文)
4
作者
王伟
贾志浩
+3 位作者
段俊萍
崔建利
徐
苏
坪
张斌珍
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期19-23,共5页
集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外...
集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1 200μm,微柱侧壁与基底呈89°。
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关键词
探针
坐标测量机
折射率补偿
微机电系统
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职称材料
题名
一种宽频带RF MEMS开关的设计研究
被引量：
4
1
作者
王雄师
张斌珍
段俊萍
徐
苏
坪
机构
中北大学电子测试技术重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期341-344,共4页
基金
国家自然科学基金项目(61401405)
国家自然科学基金项目(51475438)
+1 种基金
山西省基础研究项目(2014011021-4)
山西省回国留学人员科研资助项目(2014-055)
文摘
针对现阶段常用的射频微机电系统(RF MEMS)开关频带窄和稳定性差这个特点,本文提出了一种结型梁RF MEMS开关,该微结构采用了的共面波导线的传输线形式以便于与其他器件串并联,使用结型梁增强了开关的稳定性。首先就RF MEMS开关模型的设计及工作原理进行介绍,然后利用有限元分析软件ANSYS对其驱动电压进行分析,并进一步利用HFSS高频仿真软件,针对结型梁结构的RF MEMS开关进行射频性能的分析优化,得到了在频带宽为45 GHz,在15~60 GHz插入损耗小于0.15dB,隔离度高达52dB的RF MEMS开关,最后验证了其在较高加速度冲击条件下依然具有较高的稳定性,适用于恶劣环境。
关键词
RF
MEMS开关
驱动电压
插入损耗
隔离度
宽频带
高稳定性
Keywords
RF MEMS switch
Driving voltage
Insertion loss
Isolation
Broadband
High stability
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种微型电磁式振动能量收集器的设计研究
被引量：
3
2
作者
王雄师
张斌珍
段俊萍
徐
苏
坪
机构
中北大学电子测试技术重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第8期815-820,共6页
文摘
针对现阶段常用的能量收集器收集效率低和寿命短这个特点,本文提出了一种微型能量收集器,该微结构与收集系统相结合提高了能量收集效率,优化结构参数延长了寿命。本文首先就电磁式振动能量收集器设计的一般原理进行分析,利用ANSYS Workbench有限元仿真软件,针对不同梁结构的能量收集器进行静力学和模态分析,并进一步研究四梁能量收集器的梁长、宽及高对最大位移和频率的影响,最后利用ncode-Designlife针对四梁结构寿命特性分析,得到较高加速度冲击条件下寿命可达3.092×10^(18)次的微型能量收集器。
关键词
微型能量收集器
低频
模态分析
疲劳分析
Keywords
Micro energy harvester
Low frequency
Modal analysis
Fatigue analysis
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
TN245
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职称材料
题名
毫米波腔体滤波器谐振腔平整度误差研究
被引量：
3
3
作者
南雪莉
张斌珍
赵龙
徐
苏
坪
机构
中北大学电子测试技术重点实验室
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期341-344,共4页
基金
国家自然基金资助项目(51475438)
国家自然基金资助项目(61401405)
文摘
平整度误差引起的寄生量变化对毫米波滤波器的自谐振频率及品质因数有重大影响,为获得低插损、高品质因数的滤波器结构,针对滤波器制作中存在的平整度误差,该文开展了一系列的研究。通过对基于SU-8胶的毫米波腔体滤波器电铸工艺实验的反复探索,制定出一套能减小毫米波滤波器谐振腔平整度误差的最优电铸方案,即利用脉冲小电流进行电铸。实验结果表明,利用50mA小电流密度电铸能快速获得平整致密高质量的滤波器谐振腔,其铸层表面平整度误差小于2μm;制作精度高,且能实现快速制作。可见,小电流脉冲电铸得到的铸层平整、致密,可有效减小毫米波滤波器的寄生效应,提高系统的精度及灵敏度。
关键词
毫米波腔体滤波器
谐振腔平整度
电铸铜
脉冲电铸
小电流
Keywords
millimeter wave cavity filter
resonantcavity flatness
electroforming copper
pulse electroforming
low current
分类号
TN385 [电子电信—物理电子学]
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作(英文)
4
作者
王伟
贾志浩
段俊萍
崔建利
徐
苏
坪
张斌珍
机构
中北大学电子测试技术重点实验室
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期19-23,共5页
基金
surpported by National Science Foundation of China(61401405,51475438)
Basic Research Priorities Program of Shanxi(2014011021-4)
Program for New Century Excellent Talents in University(130951862)
文摘
集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1 200μm,微柱侧壁与基底呈89°。
关键词
探针
坐标测量机
折射率补偿
微机电系统
Keywords
probe
coordinate measuring machine
refractive index compensation
MEMS
分类号
TH721 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种宽频带RF MEMS开关的设计研究
王雄师
张斌珍
段俊萍
徐
苏
坪
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
4
下载PDF
职称材料
2
一种微型电磁式振动能量收集器的设计研究
王雄师
张斌珍
段俊萍
徐
苏
坪
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017
3
下载PDF
职称材料
3
毫米波腔体滤波器谐振腔平整度误差研究
南雪莉
张斌珍
赵龙
徐
苏
坪
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
下载PDF
职称材料
4
基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作(英文)
王伟
贾志浩
段俊萍
崔建利
徐
苏
坪
张斌珍
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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职称材料
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