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用于真空在线测量的离轴非球面结构反射差分光谱仪设计与实现
被引量：
1
1
作者
徐
臻
圆
傅星
+3 位作者
张一帆
谢鹏飞
胡春光
胡小唐
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1960-1966,共7页
基于旋转补偿器的反射差分光谱（RC—RDS）技术是具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法，其全光谱快速测量性能，特别适合在线检测。为满足真空在线测量的应用需求，综合考虑使用空间、工作距离、光束直径、光谱宽度和通光率等限...
基于旋转补偿器的反射差分光谱（RC—RDS）技术是具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法，其全光谱快速测量性能，特别适合在线检测。为满足真空在线测量的应用需求，综合考虑使用空间、工作距离、光束直径、光谱宽度和通光率等限制因素，提出了基于离轴抛物（OAP）反射镜的光学测头设计方案，构建的测试样机实现了有效工作距离大于50cm、光斑直径小于6．5mm和光谱范围涵盖280～825nm等性能。实验研究了超高真空环境Cu（110）样品在退火处理中的RDS，仪器详细记录了信号随温度的演变过程，测量精度优于3×10-4，表明新方案满足真空环境下表面高灵敏光学测试的需求。
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关键词
反射差分光谱(RDS)技术
表面光学表征
真空在线测量
离轴抛物(OAP)反射镜
原文传递
基于差分反射光谱的真空环境有机薄膜生长在线监测方法
2
作者
姚姚
胡春光
+3 位作者
徐
臻
圆
张雷
傅星
胡小唐
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1320-1324,共5页
有机薄膜器件是微电子和光电子领域的重点研究方向。薄膜制备过程的在线监测作为研究成膜机理和优化工艺参数最直接的测量手段,对薄膜器件的高质量制备具有重要意义。为实现真空环境有机薄膜制备过程的实时在线监测,提出了一种基于差分...
有机薄膜器件是微电子和光电子领域的重点研究方向。薄膜制备过程的在线监测作为研究成膜机理和优化工艺参数最直接的测量手段,对薄膜器件的高质量制备具有重要意义。为实现真空环境有机薄膜制备过程的实时在线监测,提出了一种基于差分反射光谱术的高精度测量方法。采用离轴抛物面反射镜、光学平板和光纤等基本光学元器件构建紧凑型光路系统,运用差分算法分析光谱信号,具有较高的测量性能。测试了不同实验环境下光谱信号的波动,得出在控温条件下,系统的长时间测量重复性优于2‰。还研究了并五苯分子通过分子束外延制膜法在Au基底成膜初始阶段的生长过程。通过与膜厚仪和原子力显微镜测试结果比对,光谱信号精确反映出超薄膜在生长中引起的细微光学演变,其测量精度优于亚单分子层。实验结果表明,该差分反射光谱测量系统具有宽光谱（300～820nm）、高稳定性（重复性优于2×10^-3）、高测量精度（亚单分子层）等特点,并有效地抑制了光路装配误差、光学器件缺陷和环境干扰等对光信号的影响,作为一种高精度表面表征方法,适合于薄膜制备过程的实时在线监测。
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关键词
表面光学表征
差分反射光谱技术
在线测量
有机薄膜生长
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职称材料
题名
用于真空在线测量的离轴非球面结构反射差分光谱仪设计与实现
被引量：
1
1
作者
徐
臻
圆
傅星
张一帆
谢鹏飞
胡春光
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
密歇根大学机械工程系
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1960-1966,共7页
基金
国家自然科学基金(61008028)
全国博士学位论文作者专项资金(201140)
天津市应用基础及前沿技术研究计划JCJBJC25700)资助项目
文摘
基于旋转补偿器的反射差分光谱（RC—RDS）技术是具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法，其全光谱快速测量性能，特别适合在线检测。为满足真空在线测量的应用需求，综合考虑使用空间、工作距离、光束直径、光谱宽度和通光率等限制因素，提出了基于离轴抛物（OAP）反射镜的光学测头设计方案，构建的测试样机实现了有效工作距离大于50cm、光斑直径小于6．5mm和光谱范围涵盖280～825nm等性能。实验研究了超高真空环境Cu（110）样品在退火处理中的RDS，仪器详细记录了信号随温度的演变过程，测量精度优于3×10-4，表明新方案满足真空环境下表面高灵敏光学测试的需求。
关键词
反射差分光谱(RDS)技术
表面光学表征
真空在线测量
离轴抛物(OAP)反射镜
Keywords
reflectance difference spectroscopy （RDS）
surface optical characterization
in-situ vacuum application
off-axis parabolic （OAP） mirror
分类号
TH744.2 [机械工程—光学工程]
O433.1 [机械工程—仪器科学与技术]
原文传递
题名
基于差分反射光谱的真空环境有机薄膜生长在线监测方法
2
作者
姚姚
胡春光
徐
臻
圆
张雷
傅星
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1320-1324,共5页
基金
国家自然科学基金项目(61008028)
全国博士学位论文作者专项资金项目(201140)
天津市应用基础及前沿技术研究计划项目(11JCJBJC25700)资助
文摘
有机薄膜器件是微电子和光电子领域的重点研究方向。薄膜制备过程的在线监测作为研究成膜机理和优化工艺参数最直接的测量手段,对薄膜器件的高质量制备具有重要意义。为实现真空环境有机薄膜制备过程的实时在线监测,提出了一种基于差分反射光谱术的高精度测量方法。采用离轴抛物面反射镜、光学平板和光纤等基本光学元器件构建紧凑型光路系统,运用差分算法分析光谱信号,具有较高的测量性能。测试了不同实验环境下光谱信号的波动,得出在控温条件下,系统的长时间测量重复性优于2‰。还研究了并五苯分子通过分子束外延制膜法在Au基底成膜初始阶段的生长过程。通过与膜厚仪和原子力显微镜测试结果比对,光谱信号精确反映出超薄膜在生长中引起的细微光学演变,其测量精度优于亚单分子层。实验结果表明,该差分反射光谱测量系统具有宽光谱（300～820nm）、高稳定性（重复性优于2×10^-3）、高测量精度（亚单分子层）等特点,并有效地抑制了光路装配误差、光学器件缺陷和环境干扰等对光信号的影响,作为一种高精度表面表征方法,适合于薄膜制备过程的实时在线监测。
关键词
表面光学表征
差分反射光谱技术
在线测量
有机薄膜生长
Keywords
Surface optical characterization
Differential reflectance spectroscopy
In-situ measurement
Organic thin films growth
分类号
O433.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于真空在线测量的离轴非球面结构反射差分光谱仪设计与实现
徐
臻
圆
傅星
张一帆
谢鹏飞
胡春光
胡小唐
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
原文传递
2
基于差分反射光谱的真空环境有机薄膜生长在线监测方法
姚姚
胡春光
徐
臻
圆
张雷
傅星
胡小唐
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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职称材料
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