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GaAs半导体薄膜电沉积的研究 被引量:1
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作者 杨春晖 +4 位作者 韩岩 杨兆明 韩爱珍 叶水驰 高元凯 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期110-113,共4页
利用改进试验装置 ,及在简单盐溶液中加入添加剂的方法 ,电沉积制备出 Ga As薄膜。扫描电镜和 X射线衍射仪测试结果表明 ,薄膜成分更接近化学计量比 1∶ 1,各次试验数值分散性小 ,厚薄均匀。
关键词 GaAs薄膜 电沉积 添加剂 半导体薄膜
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Ga_xAl_(1-x)As三元化合物共沉积研究
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作者 杨春晖 +1 位作者 韩岩 韩爱珍 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第3期224-226,共3页
在简单盐溶液中添加络合剂——柠檬酸,电共沉积GaxAl1-xAs三元化合物。用能谱分析仪进行成分分析,获得化学计量比接近Ga0.7Al0.3As的三元化合物半导体材料。
关键词 GaAlAs化合物 电沉积 络合剂 半导体材料
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