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题名Pyrex玻璃的ICP刻蚀技术研究
被引量：4
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作者
江平
侯占强
彭智丹
肖定邦
吴学忠
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机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
炮兵学院南京分院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期556-558,共3页
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基金
国家自然科学基金项目资助(50375154)
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文摘
以SF6/Ar为刻蚀气体,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀Pyrex玻璃,研究气体流量、射频功率对刻蚀速率及刻蚀面粗糙度的影响。采用正交实验方法找出优化的实验参数,得到Pyrex玻璃刻蚀速率为106.8nm/min,表面粗糙度为Ra=5.483nm,实验发现增加自偏压是提高刻蚀速率、减小刻蚀面粗糙度的有效方法。
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关键词
ICP刻蚀
MEMS
Pyrex玻璃
实验设计
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Keywords
ICP etching
MEMS
Pyrex glass
design of experiment
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名战场激光武器的警戒与防护
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作者
钟宜兴
彭智丹
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机构
南京航天航空大学
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出处
《测试技术学报》
2004年第z6期127-130,共4页
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文摘
概述了激光武器的性质、特点,目前世界各国激光武器的现状;分析了激光武器的战场威胁和对现代战争的影响;介绍了激光武器的现状和种类;重点阐述了对战场激光武器的警戒与防护.
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关键词
激光武器
警戒
防护
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分类号
TB9-55
[一般工业技术—计量学]
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题名南京推进科研诚信建设路径初探
被引量：2
- 3
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作者
肖自强
彭智丹
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机构
南京科技发展战略研究院
南京市科技局
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出处
《江苏科技信息》
2021年第2期28-30,共3页
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文摘
科研诚信建设是国家创新驱动发展战略的重要部分,是把科技自立自强作为国家发展战略支撑的必要保障。文章对比了国外科研诚信发展历程,指出我国国家层面科研诚信建设经历了探索、建设和完善3个阶段,制度建设、工作机制已趋完备,建议南京从完善制度规范、创新工作机制、推进新型监管、改革评价评估体系、推进信息化建设、加强科研诚信教育、严肃查处失信案件等7个方面推进科研诚信建设。
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关键词
科研诚信
路径
新型监管
体制机制
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Keywords
scientific research integrity
path
new-type supervision
system and mechanism
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分类号
G237.5
[文化科学]
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题名军事院校任职教育之特色办学研究
被引量：1
- 4
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作者
彭智丹
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机构
炮兵学院南京分院
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出处
《中国科教创新导刊》
2010年第1期6-6,共1页
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文摘
文章阐述了军事院校任职教育进行特色办学的重要意义和应采取的措施,重点论述了军事任职教育院校在教育教学中应把握的四个主要方面,即：课程设置的人文性,教学内容的针对性,教学方法的启发性和教学手段的先进性。
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关键词
军事院校
任职教育
特色办学
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分类号
G642
[文化科学—高等教育学]
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