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氮化铝陶瓷微波窗片的钎焊封接与极高频(EHF)下透波性能研究
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作者 付勇敢 蒋友福 +3 位作者 张昕飞 林盼盼 芦伟 汪卫华 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2024年第3期525-531,共7页
AlN陶瓷常用作高功率微波窗材料,为了实现AlN陶瓷与铜基底的有效连接,选用自行配置的Ag-28Cu-3Ti三元活性钎料进行钎焊实验,并且对钎焊后的样品进行无损检测、气密性检测、微观形貌表征、介电性能表征以及力学性能表征。结果表明,焊接... AlN陶瓷常用作高功率微波窗材料,为了实现AlN陶瓷与铜基底的有效连接,选用自行配置的Ag-28Cu-3Ti三元活性钎料进行钎焊实验,并且对钎焊后的样品进行无损检测、气密性检测、微观形貌表征、介电性能表征以及力学性能表征。结果表明,焊接样品无明显虚焊、裂纹、气泡等,氦漏率为3.76×10^(–8)Pa·m^(3)·s^(−1);微观表征显示钎焊接头界面组成为AlN/TiN/CuTi/Cu+Ag/Cu,且发现了Ti元素的局部偏析。钎焊后,微波窗的介电性能和介电损耗均满足要求,综合介电损耗和驻波系数的测试结果,其最佳使用频率为98.8 GHz~108.0 GHz。并且AlN封接件平均抗剪切强度为185.7 MPa,满足强度要求。 展开更多
关键词 钎焊密封 AlN 驻波系数 介质损耗 准光腔
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