利用能谱仪(energy dispersive spectrometer,EDS)及蒙特卡罗方法(Monte Carlo method)确定金(Au)镀层厚度。使用不同加速电压对试样表面进行EDS成分分析,选取镀层元素含量在80%~99%的加速电压进行蒙特卡罗模拟计算,可以快速获得镀膜...利用能谱仪(energy dispersive spectrometer,EDS)及蒙特卡罗方法(Monte Carlo method)确定金(Au)镀层厚度。使用不同加速电压对试样表面进行EDS成分分析,选取镀层元素含量在80%~99%的加速电压进行蒙特卡罗模拟计算,可以快速获得镀膜厚度。同时,为了验证蒙特卡罗方法的可靠性,对样品进行FIB制样和SEM厚度测试。两者结果基本一致。该方法适用于20~1000 nm金(Au)镀层厚度的测量。展开更多