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在集成电路量产中减少氧化膜CMP(化学机械研磨)的缺陷(英文) 被引量:1
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作者 映斌 +1 位作者 斐尧 衣冠军 《电子工业专用设备》 2003年第4期21-24,共4页
在超大规模集成电路的生产中,减少氧化膜CMP中的各种缺陷一直是工程师们的工作焦点之一。实际上这些缺陷的尺寸、形状、深度等能为我们寻找它们的根源提供许多有益的信息。例如:在肉眼下可见的长、直、深的划伤可能与研磨垫修整器有关;... 在超大规模集成电路的生产中,减少氧化膜CMP中的各种缺陷一直是工程师们的工作焦点之一。实际上这些缺陷的尺寸、形状、深度等能为我们寻找它们的根源提供许多有益的信息。例如:在肉眼下可见的长、直、深的划伤可能与研磨垫修整器有关;只有在先进的检测设备下才可见的轻微、连续的划伤与与研磨剂有关。对常见缺陷进行分类,并提供一些可见的缺陷产生机制,同时也讨论了如何通过日常检测来监视真正产品上的缺陷。 展开更多
关键词 氧化膜CHP 缺陷 划伤 超大规模集成电路
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积极推进经济增长方式转变
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作者 冯卫华 《求知》 1996年第2期3-4,6,共3页
积极推进经济增长方式转变,把提高经济效益作为经济工作的中心,这是党中央作出的重大决策,也是天津加快发展的根本出路。(一)实行经济增长方式的转变,首先需要更新发展观念。传统的经济增长观念和工作方式已经远远不能适应形势发展的需要。
关键词 经济增长方式转变 天津 产业 经济效益 全面节约 国有企业改革 企业组织结构 企业结构 科教兴市 转变经济增长方式 高新技术 科学技术
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关于《天津市肥料管理条例(草案)》的说明——2009年9月23日在天津市第十五届人民代表大会常务委员会第十二次会议上
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作者 《天津市人民代表大会常务委员会公报》 2009年第6期62-64,共3页
主任、各位副主任、秘书长、各位委员:我受市人民政府委托,就《天津市肥料管理条例(草案)》(以下简称《条例(草案)》)作如下说明。该《条例(草案)》已经市人民政府常务会议讨论通过,请予审议。
关键词 十二次 肥料管理 肥料产品 副主任 登记制度 常务会议 地方性法规 地方立法 生产记录 上位法
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天津实现增长方式转变的思路
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作者 冯卫华 《天津经济》 1995年第6期6-9,共4页
《中共中央关于制定国民经济和社会发展“九五”计划和2010年远景目标的建议》,突出强调了实行经济体制和经济增长方式两个具有全局意义的根本性转变,对天津来说,加快转变经济增长方式,尤其具有必要性和紧迫性。其一,天津是老工商... 《中共中央关于制定国民经济和社会发展“九五”计划和2010年远景目标的建议》,突出强调了实行经济体制和经济增长方式两个具有全局意义的根本性转变,对天津来说,加快转变经济增长方式,尤其具有必要性和紧迫性。其一,天津是老工商业城市,基础强,底子厚,有庞大的存量资产,配套的工业体系,较强的科技实力,高素质的产业队伍,天津要加快发展必须发挥优势,盘活存量,把经济发展的重点放在挖潜,改造,充实,提高上来;其二,天津是原材料自配水平低,产成品大量外销,“两头在外”的加工型工业,在市场竞争日趋激烈的新形势下,天津工业的前途在于吃技术饭,走以质取胜的路子,朝着高技术含量,高附加值,高外向度,高效益方向发展,舍此别无它途;其三,天津要在世纪之交的15年中实现加快发展,在资金,能源,原材料等方面有较大的供需矛盾,靠高投入,高消耗支撑经济增长的路子再也不能走下去了,必须在显著提高经济整体素质和效益中求发展;其四,随着改革的深入,在经济和社会生活中许多深层次的矛盾和问题日渐显露,解决这些矛盾和问题,也需要转变经济增长方式;提高经济效益来创造稳定,宽松的环境,总之,天津要成为北方的工业基地和经济中心,不仅需要增加总量规模,而且必须更新发展思路,尽快实现经济增长方式从粗放型向集约型的转变。 展开更多
关键词 天津 经济发展 经济增长方式 发展战略
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加强京津合作 获得发展共赢——京津党校合作发展论坛之二
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作者 于广琳 《求知》 2009年第7期19-20,共2页
在此次京津两市党校合作发展论坛中,天津市委党校第74期进修一班的学员,就天津滨海新区的海洋经济发展和推动天津区县发展等问题,展开了广泛深入的讨论。现将论坛中两位有代表性的学员发言摘登如下,以飨读者。
关键词 发展论坛 合作 京津 党校 天津滨海新区 共赢 海洋经济发展 学员
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实行上缴利税递增包干有利于我市乡镇企业发展
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作者 《天津经济》 1992年第1期37-39,36,共4页
关键词 乡镇企业 利润 税收 企业
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重点工作实现新突破
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作者 《农村工作通讯》 2009年第18期31-31,共1页
近年来,天津市始终围绕新农村建设的目标要求和核心问题,坚持以“三农”重点工作带动农村经济社会全面发展,加快改革,促进发展。上半年郊区生产总值达到1092.16亿元,同比增长24.4%;区县财政收入完成341亿元,同比增长33.9%;农... 近年来,天津市始终围绕新农村建设的目标要求和核心问题,坚持以“三农”重点工作带动农村经济社会全面发展,加快改革,促进发展。上半年郊区生产总值达到1092.16亿元,同比增长24.4%;区县财政收入完成341亿元,同比增长33.9%;农民人均现金收入达到6827元,同比增长11.3%。 展开更多
关键词 社会全面发展 新农村建设 农村经济 “三农” 生产总值 财政收入 同比增长 现金收入
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