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DB—5型光栅扫描电子束曝光机真空系统 被引量：1
1
作者 庄炳河 《微细加工技术》 1991年第1期46-50,共5页
本文介绍了我国自行研制的第一台生产实用型光栅扫描电子束曝光机的真空系统,包括系统设计、分子泵与离子泵的应用、全系统泵阀的可编程自动控制,以及为改善系统性能采取的一些措施。
关键词 光栅扫描 电子束 曝光机 真空系统
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LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用研究
2
作者 周开宇 庄炳河 吴永卫 《微细加工技术》 1992年第3期15-20,共6页
本文报告了LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用特性,叙述了一些有重要意义的实验结果。
关键词 曝光机 电子束光刻 LaB阴极 应用
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大型空压机因网压波动而停机的解决措施
3
作者 何忠礼 吴军礼 庄炳河 《东莞理工学院学报》 1999年第2期22-24,共3页
本文分析了大型进口空压机因电网电压波动而停机问题的原因，提供了解决措施，并运用这一方法成功地解决了其它大型动力设备的非正常停机问题，产生了明显的经济效益。
关键词 空压机 网压波动 生产线 彩色显像管
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