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重复图案晶片自动检测新方法 被引量：5
1
作者 吴黎明 崔山领 +1 位作者 王立萍 刘润予 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期925-930,共6页
针对具有重复图案阵列的IC晶片结构特征,提出了一种基于旋转不变子空间技术(ESPRIT)算法的自比较模板匹配缺陷检测方法。应用ESPRIT算法精确计算出重复图案中结构块的大小,然后将图像中所有结构块对应位置的像素值平均,计算出标准结构... 针对具有重复图案阵列的IC晶片结构特征,提出了一种基于旋转不变子空间技术(ESPRIT)算法的自比较模板匹配缺陷检测方法。应用ESPRIT算法精确计算出重复图案中结构块的大小,然后将图像中所有结构块对应位置的像素值平均,计算出标准结构块。再根据显微镜视野大小扩展标准结构块形成标准模板,通过比对实现缺陷检测。实验结果表明:采用ESPRIT算法求取结构块大小,具有较高的速度和精度,能够满足IC检测实时性要求。算法的计算复杂度为O(N3/2),精度可达到0.04 pixel。 展开更多
关键词 IC晶片 自比较模板匹配 自动检测 ESPRIT算法
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一种IC晶片导线特征检测方法的研究
2
作者 崔山领 吴黎明 肖乐萍 《计算机测量与控制》 CSCD 2008年第4期470-472,共3页
针对IC晶片导线特征检测中的难点,介绍一种基于图像处理技术的导线特征分析和缺陷检测方法,把由局部缺陷引起的线路短路、开路故障分析归结为多条平行线宽和线距的分析,先通过Hough变换实现导线边缘的直线拟合和线宽、线距的亚像素测量... 针对IC晶片导线特征检测中的难点,介绍一种基于图像处理技术的导线特征分析和缺陷检测方法,把由局部缺陷引起的线路短路、开路故障分析归结为多条平行线宽和线距的分析,先通过Hough变换实现导线边缘的直线拟合和线宽、线距的亚像素测量,再根据测量结果建立起导线边缘标准模型,并把边缘图像的二维信号转换为一维信号进行分析,最终实现导线特征的分析和缺陷的定位;仿真和实际运用结果表明该方法使IC晶片导线特征分析简单化,并使缺陷分析定位变得更加方便灵活。 展开更多
关键词 IC晶片 LOG算子 HOUGH变换 导线特征
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试卷识别中的手写体识别
3
作者 王倩文 崔山领 徐靖 《电子世界》 2016年第21期166-166,共1页
传统阅卷方式要耗费大量的人力和物力、耗时长,管理也不方便。随着科技的发展,自动化阅卷需求日益增多。自动化阅卷系统强烈依赖于图像处理技术,整个系统主要包括图像采集、图像倾斜校正、版面分析、图像分割、在线阅卷和成绩录入等模块... 传统阅卷方式要耗费大量的人力和物力、耗时长,管理也不方便。随着科技的发展,自动化阅卷需求日益增多。自动化阅卷系统强烈依赖于图像处理技术,整个系统主要包括图像采集、图像倾斜校正、版面分析、图像分割、在线阅卷和成绩录入等模块,是一个庞大而复杂的系统。本文针对自动化阅卷系统中的一个重要环节在线阅卷模块中涉及的手写体识别,提出基于卷积神经网络的解决方案。 展开更多
关键词 手写体识别 卷积神经网络 字符识别 自动阅卷
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