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基于匀光管的极紫外消相干和光强均匀化仿真研究
1
作者
李慧
谭芳蕊
+2 位作者
尹
皓
玉
马钺洋
吴晓斌
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期133-144,共12页
自由电子激光光源(free electron laser,FEL)可发出波长为13.5 nm的极紫外(extreme ultra-violet,EUV)辐射,在EUV光刻领域能够发挥重要作用.但FEL自身的高相干特性以及类高斯光强轮廓分布特征,会对成像带来不利影响,无法满足EUV光刻领...
自由电子激光光源(free electron laser,FEL)可发出波长为13.5 nm的极紫外(extreme ultra-violet,EUV)辐射,在EUV光刻领域能够发挥重要作用.但FEL自身的高相干特性以及类高斯光强轮廓分布特征,会对成像带来不利影响,无法满足EUV光刻领域成像应用需求.本文通过计算模拟的方法,设计了一种匹配FEL应用的、用于EUV波段去相干和光强均匀化的新型匀光管结构.模拟结果显示,针对波长为13.5 nm、直径200μm、发散度20 mrad的FEL-EUV高斯光束,采用新型匀光管结构,与常规匀光管结构相比,在同等长度和内径时,具有更显著的去相干能力和光场均匀化作用.当新型匀光管内径为1 mm、总长度不低于0.6 m、倾斜角度为10 mrad时,高相干光场完全被扰乱,实现低相干光输出.并可获得均匀照明光场,光强分布不均匀性数值从常规圆柱型匀光管的28.38降低至0.97.同时,相应能量传输效率为37.6%,最大传输效率达到44.58%.结果表明,新型匀光管结构能够满足EUV辐射去相干应用需求,同时可提高照明视场光强分布均匀性,在EUV光刻领域及其他成像应用具有很大应用前景.
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关键词
极紫外光源
自由电子激光
匀光管
相位
光强均匀性
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职称材料
光纤激光中光纤熔丝损伤研究进展
2
作者
田佳丁
肖起榕
+4 位作者
李丹
张政
尹
皓
玉
闫平
巩马理
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第15期81-105,共25页
光纤熔丝损伤是一种发生在正在传光的光纤中的链式损伤效应,从1987年首次被发现至今,已在几乎所有类型的光纤中被观察到。它具有类似燃烧的导火索的外观,可以在条件合适时自发发生,并沿着光纤正在传光的反方向快速传播至整个系统,不可...
光纤熔丝损伤是一种发生在正在传光的光纤中的链式损伤效应,从1987年首次被发现至今,已在几乎所有类型的光纤中被观察到。它具有类似燃烧的导火索的外观,可以在条件合适时自发发生,并沿着光纤正在传光的反方向快速传播至整个系统,不可逆地毁坏其经过的光纤组件,因而对光纤系统,特别是高功率光纤激光器,构成严重威胁。本文结合作者团队对于光纤熔丝损伤效应十余年的观测和研究,全面回顾了有关光纤熔丝损伤效应的历史和最新研究进展,介绍了目前已知的光纤熔丝损伤关键物理过程、预防和阻断方法,以及光纤熔丝损伤本身的应用,并展望了未来相关研究的热点方向和重点问题。
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关键词
激光光学
光纤熔丝损伤
高功率光纤激光
损伤预防监测和阻断传播
光纤内微腔
光纤传感
原文传递
题名
基于匀光管的极紫外消相干和光强均匀化仿真研究
1
作者
李慧
谭芳蕊
尹
皓
玉
马钺洋
吴晓斌
机构
中国科学院微电子研究所
中国科学院大学
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期133-144,共12页
基金
国家自然科学基金(批准号:62071464)
中国科学院前瞻战略科技先导项目(A类先导项目)资助的课题。
文摘
自由电子激光光源(free electron laser,FEL)可发出波长为13.5 nm的极紫外(extreme ultra-violet,EUV)辐射,在EUV光刻领域能够发挥重要作用.但FEL自身的高相干特性以及类高斯光强轮廓分布特征,会对成像带来不利影响,无法满足EUV光刻领域成像应用需求.本文通过计算模拟的方法,设计了一种匹配FEL应用的、用于EUV波段去相干和光强均匀化的新型匀光管结构.模拟结果显示,针对波长为13.5 nm、直径200μm、发散度20 mrad的FEL-EUV高斯光束,采用新型匀光管结构,与常规匀光管结构相比,在同等长度和内径时,具有更显著的去相干能力和光场均匀化作用.当新型匀光管内径为1 mm、总长度不低于0.6 m、倾斜角度为10 mrad时,高相干光场完全被扰乱,实现低相干光输出.并可获得均匀照明光场,光强分布不均匀性数值从常规圆柱型匀光管的28.38降低至0.97.同时,相应能量传输效率为37.6%,最大传输效率达到44.58%.结果表明,新型匀光管结构能够满足EUV辐射去相干应用需求,同时可提高照明视场光强分布均匀性,在EUV光刻领域及其他成像应用具有很大应用前景.
关键词
极紫外光源
自由电子激光
匀光管
相位
光强均匀性
Keywords
extreme ultraviolet source
free electron laser
light pipe
phase
intensity uniformity
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
光纤激光中光纤熔丝损伤研究进展
2
作者
田佳丁
肖起榕
李丹
张政
尹
皓
玉
闫平
巩马理
机构
清华大学精密仪器系光子测控技术教育部重点实验室
清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第15期81-105,共25页
基金
国家自然科学基金(61675114,62075113,61875103)。
文摘
光纤熔丝损伤是一种发生在正在传光的光纤中的链式损伤效应,从1987年首次被发现至今,已在几乎所有类型的光纤中被观察到。它具有类似燃烧的导火索的外观,可以在条件合适时自发发生,并沿着光纤正在传光的反方向快速传播至整个系统,不可逆地毁坏其经过的光纤组件,因而对光纤系统,特别是高功率光纤激光器,构成严重威胁。本文结合作者团队对于光纤熔丝损伤效应十余年的观测和研究,全面回顾了有关光纤熔丝损伤效应的历史和最新研究进展,介绍了目前已知的光纤熔丝损伤关键物理过程、预防和阻断方法,以及光纤熔丝损伤本身的应用,并展望了未来相关研究的热点方向和重点问题。
关键词
激光光学
光纤熔丝损伤
高功率光纤激光
损伤预防监测和阻断传播
光纤内微腔
光纤传感
Keywords
laser optics
fiber fuse damage effect
high-power fiber laser
damage prevention and monitoring and propagation termination
in-fiber microcavities
fiber sensing
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于匀光管的极紫外消相干和光强均匀化仿真研究
李慧
谭芳蕊
尹
皓
玉
马钺洋
吴晓斌
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
光纤激光中光纤熔丝损伤研究进展
田佳丁
肖起榕
李丹
张政
尹
皓
玉
闫平
巩马理
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
0
原文传递
已选择
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