采用非平衡磁控溅射技术在M2工具钢表面沉积Cr Al N涂层,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪研究了Cr Al N涂层不同温度氧化后的表面和截面形貌、成分、相结构、硬度和弹性模量。结果表明,Cr Al N涂层在高温环境下氧化生成的Al_2O_3和Cr_2O_...采用非平衡磁控溅射技术在M2工具钢表面沉积Cr Al N涂层,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪研究了Cr Al N涂层不同温度氧化后的表面和截面形貌、成分、相结构、硬度和弹性模量。结果表明,Cr Al N涂层在高温环境下氧化生成的Al_2O_3和Cr_2O_3致密氧化层可以有效阻止氧进一步向内扩散,涂层在900℃氧化2 h后的氧化层深度仅0.2μm。Cr Al N涂层900℃氧化后仍基本保持氧化前的力学性能。展开更多
文摘采用非平衡磁控溅射技术在M2工具钢表面沉积Cr Al N涂层,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪研究了Cr Al N涂层不同温度氧化后的表面和截面形貌、成分、相结构、硬度和弹性模量。结果表明,Cr Al N涂层在高温环境下氧化生成的Al_2O_3和Cr_2O_3致密氧化层可以有效阻止氧进一步向内扩散,涂层在900℃氧化2 h后的氧化层深度仅0.2μm。Cr Al N涂层900℃氧化后仍基本保持氧化前的力学性能。
