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矩形口径离轴非球面镜的加工与检测 被引量：2
1
作者 丁蛟腾 许亮 +2 位作者 马臻 陈钦芳 安有慧 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期607-610,共4页
介绍了240mm×180mm矩形口径离轴双曲面反射镜的加工与检测。提出了一种通过配块把矩形镜拼接成母镜来实现离轴镜加工的方法。完成了最佳比较球面和最大非球面度等工艺参数的计算。抛光阶段的非球面检测采用零位补偿法,其中零位补... 介绍了240mm×180mm矩形口径离轴双曲面反射镜的加工与检测。提出了一种通过配块把矩形镜拼接成母镜来实现离轴镜加工的方法。完成了最佳比较球面和最大非球面度等工艺参数的计算。抛光阶段的非球面检测采用零位补偿法,其中零位补偿器是补偿检验中的关键元件。该离轴双曲面镜的最终面形RMS达到了0.02λ,满足了设计要求。 展开更多
关键词 离轴非球面 拼接 非球面抛光 零位补偿法
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